衬底运输设备制造技术

一种传送设备包括：框架；连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂的相应的臂的延伸和收缩的独立驱动轴线；线性轨，其限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂；以及公共驱动轴线，其被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂，其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度的另一驱动轴线。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术是2013年12月17日提交的临时专利申请第61/917,056号的非临时申请并要求其利益，该临时专利申请的全部内容通过引用合并于此。
所公开的实施例的方面总体涉及机器人系统，并且更具体地，涉及机器人运输设备。
技术介绍
例如在半导体制造工业中，可在具有并排衬底保持站的线性工具系统和/或集群工具系统中处理工件或半导体衬底。一般地，在具有并排衬底保持站的这些系统中，半导体制造商需要独立的径向机器人，其能够基本同时地或独立地从并排衬底保持站传送衬底或将衬底传送到并排衬底保持站。一般地，这通过提供两个传送臂来完成，传送臂之间具有间隔，该间隔与并排衬底保持站之间的间隔基本相同。这些传送臂可被安装在吊臂或线性滑动装置上。这些传送臂还可采用线性驱动器，用于将臂延伸至衬底保持站或从衬底保持站收缩臂。有利的是，提供配置有两个并排独立臂的单个机器人，每个臂被配置成在公共的旋转轴线上操作，同时具有沿各自的径向轴线的独立旋转电机致动。此外有利的是，提供配置有两个独立臂的单个机器人，每个臂被配置成在公共的旋转轴线上操作，同时具有沿公共的径向轴线的独立旋转电机致动。此外有利的是，为每个并排独立臂提供在与并排独立臂沿径向轴线的移动基本正交的方向上的移动，以便实现修正系统站误差的能力，同时还能够利用迅捷（on-the-fly）技术实现修正晶片放置的能力而不需利用传送机器人的θ轴线。附图说明在以下描述中结合附图解释所公开的实施例的前述方面和其他特征，其中：图1A-1D是根据所公开的实施例的方面的衬底处理设备的示意图；图1E和1F是根据所公开的实施例的方面的图1A-1D的衬底处理设备的一部分的示意图；图2A-2D是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图2E是根据所公开的实施例的方面的驱动部段的示意图；图2F-2J是根据所公开的实施例的方面的运输臂的示意图；图3A-3E是根据所公开的实施例的方面的图2A-2D中所示的衬底运输设备的一部分的示意图；图3F和3G是根据所公开的实施例的方面的驱动部段的示意图；图4A-4B是根据所公开的实施例的方面的图2A-2D中所示的衬底运输设备的一部分的示意图；图5A-5C是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图5D和5E是根据所公开的实施例的方面的图5A-5C中所示的衬底运输设备的一部分的示意图；图6A-6B是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图7A-7B是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图7C是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图8A-8B是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图9A-9F是根据所公开的实施例的方面的图8A-8B中所示的衬底运输设备的一部分的示意图；图10A-10B是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图11A-11D是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图12A-12C是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图13、14和15是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的一部分的示意图；图16A-16C是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图17A-17C是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图18是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图19是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；图20是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图；以及图21是根据所公开的实施例的方面的衬底运输设备的示意图。具体实施方式图1A-1D是根据所公开的实施例的方面的衬底处理设备的示意图。虽然将参照附图描述所公开的实施例的方面，但是应该理解，可用许多方式具体实现所公开的实施例的方面。此外，可使用任何合适尺寸、形状或类型的元件或材料。根据所公开实施例的一个方面示出了处理设备100A、100B、100C、100D，诸如例如，半导体工具站。虽然图中示出了半导体工具站，但是本文描述的所公开实施例的方面可应用于采用机器人操纵臂的任何工具站或应用。在一个方面，处理设备100A、100B、100C、100D被示出为具有集群工具布置（例如，具有连接到中心腔的衬底保持站），而在其他方面，处理设备可以是线性布置的工具，但是所公开实施例的方面可应用于任何合适的工具站。设备100A、100B、100C、100D大体包括大气前端101、至少一个真空装载锁102、102A、102B和真空后端103。至少一个真空装载锁102、102A、102B可以按任何合适的布置方式联接到前端101和/或后端103的任何合适的端口或开口。例如，在一个方面，一个或更多个装载锁102、102A、102B可按并排布置方式被布置在公共的水平平面中，如在图1B-1C中可见的。在其他方面，一个或更多个装载锁102、102A、102B可按网格样式布置，使得至少两个装载锁102A、102B、102C、102D成行（例如，具有分隔开的水平平面）和成列（例如，具有分隔开的竖直平面）地布置，如图1E所示。在其他方面，一个或更多个装载锁可以是单个直列装载锁102，如图1A所示。在另一方面，至少一个装载锁102、102E可按层叠的直列布置方式布置，如图1F所示。应该理解，虽然装载锁被图示在运输腔125A、125B、125C、125D的端100E1或面100F1上，但在其他方面，一个或更多个装载锁可被布置在运输腔125A、125B、125C、125D的任何数量的侧100S1、100S2、端100E1、100E2或面100F1-100F8上。至少一个装载锁中的每个还可包括一个或更多个晶片/衬底安置平面WRP（图1F），其中，衬底被保持在相应装载锁的合适的支撑件上。在其他方面，工具站可具有任何合适的配置。前端101、至少一个装载锁102、102A、102B和后端103中的每个的部件可连接到控制器110，控制器110可以是任何控制构造（诸如例如，集群构造控制）的一部分。控制系统可以是具有主控制器、集群控制器和自主远程控制器的闭环控制器，诸如2011年3月8日授权的名称为“Scalable Motion Control System”的美国专利第7,904,182号中公开的那些，该美国专利的全部内容通过引用合并于此。在其他方面，可采用任何合适的控制器和/或控制系统。在一个方面，前端101大体包括装载端口模块105和微环境106，诸如例如，装备前端模块（EFEM）。装载端口模块105可以是Box Opener/Loader to Tool Standard（BOLTS）接口，其用于300mm装载端口、前开口或底开口箱/隔舱和匣盒，符合SEMI标准E15.1、E47.1、E62、E19.5或E1.9。在其他方面，装载端口模块可被配置成200mm晶片/衬底接口、450mm晶片/衬底接口或任何其他合适的衬底接口，诸如例如，更大或更小的半导体晶片/衬底、用于平板显示器的平坦面板、太阳能面板、分划板或任何其他合适的物体。虽然在图1A-1D中示出了三个装载端口模块105，但在其他方面中，任何合适数量的装载端口模块可被合并到前端101中。装载端口模块105可被配置成从架空运输系统、自动导引车、人导引车、轨导本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送设备，包括：框架；连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂延伸和收缩相应的臂的独立驱动轴线；线性轨，所述线性轨限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂；以及公共驱动轴线，所述公共驱动轴线被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂；其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度的另一驱动轴线。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.12.17 US 61/917056;2014.12.12 US 14/5687421.一种传送设备，包括：框架；连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂延伸和收缩相应的臂的独立驱动轴线；线性轨，所述线性轨限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂；以及公共驱动轴线，所述公共驱动轴线被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂；其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度的另一驱动轴线。2.如权利要求1所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线相对于延伸和收缩轴线成角度。3.如权利要求1所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得所述独立的自由度与所述末端执行器的安置平面共面。4.如权利要求1所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得所述独立的自由度与其他独立的自由度成角度。5.如权利要求1所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得所述独立的自由度平行于其他独立的自由度。6.如权利要求1所述的传送设备，还包括被配置成围绕公共轴线一致地移动所述多个臂的第二公共驱动轴线。7.如权利要求1所述的传送设备，其中，所述另一驱动轴线实现自动的工件对中。8.如权利要求1所述的传送设备，其中，所述另一驱动轴线实现用于工件保持站位置改变的独立工件放置调整。9.如权利要求1所述的传送设备，其中，所述多个臂是可伸缩臂。10.一种传送设备，包括：框架；连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于延伸和收缩相应的臂的独立驱动轴线，以将工件运输到运输腔中和从运输腔中运输工件；线性驱动轴线，其为至少一个臂限定另一自由度，所述另一自由度与所述末端执行器的安置平面共面；以及公共驱动轴线，所述公共驱动轴线被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂；其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度的另一驱动轴线。11.如权利要求10所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线相对于延伸和收缩轴线成角度。12.如权利要求10所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得所述独立的自由度与所述末端执行器的安置平面共面。13.如权利要求10所述的传送设备，其中，限定所述独立的自由度的另一驱动轴线被布置成，使得...

【专利技术属性】
技术研发人员：RT卡夫尼，U吉尔克里斯特，A克鲁皮舍夫，
申请(专利权)人：布鲁克斯自动化公司，
类型：发明
国别省市：美国;US