用于检查物体的系统技术方案

本实用新型专利技术涉及用于检查物体的系统。系统用于检查物体，该系统包括：感测模块，其包括多个收集路径，每个收集路径可包括摄像头和限定收集路径的偏振特性的分析器；控制器，其被配置为设置独立于彼此的多个收集路径的偏振特性；分束器；物镜；照明模块，其被配置为(a)将明场光束以第一角度范围导向物体的区域；(b)将第一暗场光束以第二角度范围导向物体的区域；(c)将第二暗场光束以第三角度范围导向物体的区域；(d)将出自明场光束、第一暗场光束和第二暗场光束中的至少一个光束的至少一个镜面反射导向感测模块。

【技术实现步骤摘要】
相关申请本申请要求于2014年12月18日提交的第62/093,462号和62/093,468号的美国临时专利以及来自于2015年2月24日提交的临时专利号为62/119,846的美国临时专利的优先权，所有上述专利通过引用并入本文。
本技术涉及但不限于用于检查物体的系统。
技术介绍
在包括诸如其铜信号线具有梯形状轮廓的PCB层的具有成角度的表面的部分的不平坦的物体中，现有技术的方法未被布置为从所有表面角度收集镜面反射。此外，分析反射偏振状态的已知方法中的一些仅在入射角度显著不同于法角时有效。因此，平行于成像轴和垂直于所检查的平板的明场或同轴光是不可用的。更进一步，一些检查方法需要额外的设置过程以设置优化的偏振器/分析器定向。还进一步，方法中的一些需要多个图像的捕获，每个图像具有不同的偏振器/分析器定向。因此，在检查不平坦的物品的背景中，存在对提供系统和方法的需要，其实现来自宽范围的表面角度的镜面反射的收集，并使得入射角不是法角，但相当接近Brewster角。此外，这些方法将得益于用不同的偏振定向同时在一个通道中捕获多个图像的能力。
技术实现思路
根据本技术的各个实施例，可提供系统和方法。方法可包括由控制器设置检查系统的多个收集路径的偏振特性，其中，每个收集路径可包括摄像头和限定收集路径的偏振特性的分析器；由照明模块(a)将明场光束以第一角度范围导向物体，(b)将第一暗场光束以第二角度范围导向该物体，以及(c)将第二暗场光束以第三角度范围导向该物体；将出自明场光束、第一暗场光束和第二暗场光束中的至少一个光束的至少一个镜面反射导向感测模块；以及由感测模块的多个收集路径的摄像头生成检测信号。方法可包括(a)当物体的区域可包括具有第一定向的区时将明场光束的镜面反射导向感测模块；(b)当物体的区域可包括具有第二定向的区时将第一暗场光束的镜面反射导向感测模块；以及(c)当物体的区域可包括具有第三定向的区时，将第二暗场光束的镜面反射导向感测模块；其中，第一定向、第二定向和第三定向彼此不同。方法可包括设置多个收集路径的偏振特性，使得在给定的时间点期间，第一收集路径的偏振特性与第二收集路径的偏振特性不同。照明模块可包括或可不包括任何偏振器。照明模块可包括至少一个偏振器，其可与明场光束、第一暗场光束和第二暗场光束中的至少一个光束相关联。照明模块可包括明场光源，其可被阻挡元件跟随；其中，方法可包括阻止明场光束照射在分束器的第三区域上。方法可包括由照明模块用第二明场光束照亮分束器的第二区域；由分束器的第二区域将第二明场光束导向物镜的第二区域；由物镜的第二区域将第二明场光束导向物体以便以不同于第一角度范围和第二角度范围的第三角度范围照射在物体上。方法可包括由照明模块用第三明场光束照亮分束器的第四区域；由分束器的第四区域将第三明场光束导向物镜的第四区域；以及由物镜的第四区域将第三明场光束导向物体。方法可包括由照明模块用第四明场光束照亮分束器的第五区域；由分束器的第五区域将第四明场光束导向物镜的第五区域；以及由物镜的第五区域将第四明场光束导向物体。摄像头可以在第二附加的透镜之后。照明模块可包括可被定位在照明模块的明场光源的焦平面处的阻挡元件。照明模块可包括暗场光源和反射镜；并且其中，方法可包括由反射镜并从暗场光源接收暗场光束以及将暗场光束导向物体。反射镜可被定位在物镜和物体之间。暗场照明模块的光轴可被定向到照明模块的光轴。方法可包括由照明模块控制第二暗场光束的相位和偏振，以及用第二暗场光束照亮物体。本技术还包括以下方面：1)一种用于检查物体的系统，所述系统包括：感测模块，其包括多个收集路径，每个收集路径包括摄像头和限定所述收集路径的偏振特性的分析器；控制器，其被配置为独立于彼此地设置所述多个收集路径的偏振特性；分束器；物镜；照明模块，其被配置为(a)将第一明场光束以第一角度范围导向所述物体的区域；(b)将第一暗场光束以第二角度范围导向所述物体的所述区域；(c)将第二暗场光束以第三角度范围导向所述物体的所述区域；(d)将出自所述第一明场光束、所述第一暗场光束和所述第二暗场光束中的至少一个光束的至少一个镜面反射导向所述感测模块。2)根据1)所述的系统，其中所述照明模块被配置为：a.当所述物体的所述区域包括具有第一定向的区时，将所述第一明场光束的镜面反射导向所述感测模块；b.当所述物体的所述区域包括具有第二定向的区时，将所述第一暗场光束的镜面反射导向所述感测模块；以及c.当所述物体的所述区域包括具有第三定向的区时，将所述第二暗场光束的镜面反射导向所述感测模块；其中，所述第一定向、所述第二定向和所述第三定向彼此不同。3)根据1)所述的系统，其中，所述控制器被配置为设置所述多个收集路径的偏振特性，使得在给定的时间点期间，第一收集路径的偏振特性与第二收集路径的偏振特性不同。4)根据1)所述的系统，其中，所述照明模块不包括任何偏振器。5)根据1)所述的系统，其中，所述照明模块包括至少一个偏振器，所述至少一个偏振器与所述第一明场光束、所述第一暗场光束和所述第二暗场光束中的至少一个光束相关联。6)根据1)所述的系统，其中，所述照明模块包括明场光源，所述明场光源之后是阻挡元件，所述阻挡元件被配置为阻止所述第一明场光束照射在所述分束器的第三区域上。7)根据1)所述的系统，其中，所述照明模块还被配置为用第二明场光束照亮所述分束器的第二区域；其中，所述分束器的第二区域被配置为将所述第二明场光束导向所述物镜的第二区域；其中，所述物镜的第二区域被配置为将所述第二明场光束导向所述物体以便以不同于所述第一角度范围和所述第二角度范围的第三角度范围照射在所述物体上。8)根据7)所述的系统，其中，所述照明模块还被配置为用第三明场光束照亮所述分束器的第四区域；其中，所述分束器的第四区域被配置为将所述第三明场光束导向所述 物镜的第四区域；其中，所述物镜的第四区域被配置为将所述第三明场光束导向所述物体。9)根据8)所述的系统，其中，所述照明模块还被配置为用第四明场光束照亮所述分束器的第五区域；其中，所述分束器的第五区域被配置为将所述第四明场光束导向所述物镜的第五区域；其中，所述物镜的第五区域被配置为将所述第四明场光束导向所述物体。10)根据9)所述的系统，其中，所述系统包括被定位在所述摄像头和所述分束器之间的附加的透镜。11)根据9)所述的系统，其中，所述照明模块包括被定位在所述照明模块的明场光源的焦平面处的阻挡元件。12)根据9)所述的系统，其中，所述照明模块包括暗场光源和反射镜；并且其中，所述反射镜被配置为从所述暗场光源接收所述第一暗场光束并将所述第一暗场光束导向所述物体。13)根据12)所述的系统，其中，所述反射镜被定位在所述物镜和所述物体之间。14)根据9)所述的系统，其中，所述照明模块还被配置为(a)控制第二暗场光束的相位和偏振，以及(b)用所述第二暗场光束照亮所述物体。附图说明从以下结合了附图的详细描述，本技术将得到更充分的理解和认识，在附图中：图1示出根据本技术的实施例的检查系统；图2示出根据本技术的实施例的检查系统；图3示出根据本技术的实施例的检查系统；图4示出根据本技术的实施例的检查系统；图5示出根据本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检查物体的系统，所述系统包括：感测模块，其包括多个收集路径，每个收集路径包括摄像头和限定所述收集路径的偏振特性的分析器；控制器，其被配置为独立于彼此地设置所述多个收集路径的偏振特性；分束器；物镜；照明模块，其被配置为(a)将第一明场光束以第一角度范围导向所述物体的区域；(b)将第一暗场光束以第二角度范围导向所述物体的所述区域；(c)将第二暗场光束以第三角度范围导向所述物体的所述区域；(d)将出自所述第一明场光束、所述第一暗场光束和所述第二暗场光束中的至少一个光束的至少一个镜面反射导向所述感测模块。

【技术特征摘要】
2014.12.18 US 62/093,462;2014.12.18 US 62/093,468;1.一种用于检查物体的系统，所述系统包括：感测模块，其包括多个收集路径，每个收集路径包括摄像头和限定所述收集路径的偏振特性的分析器；控制器，其被配置为独立于彼此地设置所述多个收集路径的偏振特性；分束器；物镜；照明模块，其被配置为(a)将第一明场光束以第一角度范围导向所述物体的区域；(b)将第一暗场光束以第二角度范围导向所述物体的所述区域；(c)将第二暗场光束以第三角度范围导向所述物体的所述区域；(d)将出自所述第一明场光束、所述第一暗场光束和所述第二暗场光束中的至少一个光束的至少一个镜面反射导向所述感测模块。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述照明模块被配置为：a.当所述物体的所述区域包括具有第一定向的区时，将所述第一明场光束的镜面反射导向所述感测模块；b.当所述物体的所述区域包括具有第二定向的区时，将所述第一暗场光束的镜面反射导向所述感测模块；以及c.当所述物体的所述区域包括具有第三定向的区时，将所述第二暗场光束的镜面反射导向所述感测模块；其中，所述第一定向、所述第二定向和所述第三定向彼此不同。3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器被配置为设置所述多个收集路径的偏振特性，使得在给定的时间点期间，第一收集路径的偏振特性与第二收集路径的偏振特性不同。4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述照明模块不包括任何偏 振器。5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述照明模块包括至少一个偏振器，所述至少一个偏振器与所述第一明场光束、所述第一暗场光束和所述第二暗场光束中的至少一个光束相关联。6.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：诺姆·戈登，伊泰·科恩，埃米尔·特卓里，
申请(专利权)人：康代影像科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32