【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体材料领域，特别是涉及一种蓝宝石衬底抛光装置。
技术介绍
蓝宝石又称为白宝石，它具有很好的导热性、极好的电气特性，因此被广泛应用于工业、国防、科研及民用领域，随着LED的迅猛发展，蓝宝石晶片成为多行急需的耗材，由于蓝宝石硬度极高、脆性大、化学性质稳定，给材料加工，尤其是蓝宝石衬底的抛光带来很多麻烦，为应对光电技术对产品衬底表面提出的超光滑、无损伤的要求，必须对其衬底进行抛光处理；由于蓝宝石衬底的直径大小不一，在衬底打磨的过程中一般需要安装多个抛光板，另外抛光板在下压过程中存在易损坏蓝宝石衬底的缺陷。
技术实现思路
本技术的目的在于为解决现有技术的不足提供一种蓝宝石衬底抛光装置，其可以打磨多种不同直径大小的蓝宝石衬底，提高了蓝宝石衬底的打磨效率，同时还解决了抛光板在下压过程中易损坏蓝宝石衬底的缺陷。本技术解决其技术问题所采取的技术方案是：蓝宝石衬底抛光装置，包括转动设置在机架下端的转轴，转轴的顶端部固定有抛光台，在抛光台的上表面固定有抛光垫，抛光垫的上方设有抛光机构，所述的抛光机构包括设置在机架上端的水平支架，水平支架上设置水平导轨，垂直支架导向滑动设置于水平导轨上，在水平支架上设置有与垂直支架连接的横向驱动装置，垂直支架上设置纵向导轨，纵向导轨上滑动设置有滑座，所述滑座向下连接有抛光板，在垂直支架上还设置有与滑座连接的纵向驱动装置。所述滑座通过连接杆向下连接有配重块，配重块的下端凹槽内嵌置有抛光板，在抛光板的上端面与凹槽的底端面之间连接有缓冲块。所述的横向驱动装置包括设置在水平支架两端的水平带轮，两水平带轮之间绕置有同步带，所述同步带与垂直支...
【技术保护点】
蓝宝石衬底抛光装置，包括转动设置在机架（1）下端的转轴（16），转轴（16）的顶端部固定有抛光台（8），在抛光台（8）的上表面固定有抛光垫（15），抛光垫（15）的上方设有抛光机构，其特征在于：所述的抛光机构包括设置在机架（1）上端的水平支架（11），水平支架（11）上设置水平导轨，垂直支架（9）导向滑动设置于水平导轨上，在水平支架（11）上设置有与垂直支架（9）连接的横向驱动装置，垂直支架（9）上设置纵向导轨（10），纵向导轨（10）上滑动设置有滑座（3），所述滑座（3）向下连接有抛光板（7），在垂直支架（9）上还设置有与滑座（3）连接的纵向驱动装置。
【技术特征摘要】
1.蓝宝石衬底抛光装置，包括转动设置在机架（1）下端的转轴（16），转轴（16）的顶端部固定有抛光台（8），在抛光台（8）的上表面固定有抛光垫（15），抛光垫（15）的上方设有抛光机构，其特征在于：所述的抛光机构包括设置在机架（1）上端的水平支架（11），水平支架（11）上设置水平导轨，垂直支架（9）导向滑动设置于水平导轨上，在水平支架（11）上设置有与垂直支架（9）连接的横向驱动装置，垂直支架（9）上设置纵向导轨（10），纵向导轨（10）上滑动设置有滑座（3），所述滑座（3）向下连接有抛光板（7），在垂直支架（9）上还设置有与...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱宁，刘增伟，魏行行，
申请(专利权)人：元鸿山东光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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