【技术实现步骤摘要】
本技术涉及芯片制造领域，特别涉及一种微纳PSS制备用软膜。
技术介绍
发光二极管（LED）是一种电光转换、高效节能、绿色环保、寿命长等优点，在交通指示、户内外全色显示、液晶电视背光源等方面有着广泛的应用，尤其是用 LED 可以实现半导体固态照明，其有望成为新一代光源进入千家万户，引起人类照明史上的革命，其中蓝宝石衬底生长氮化镓外延的蓝光 LED 芯片上涂敷黄光荧光粉，蓝光激发荧光粉发出黄光，蓝光与黄光混合得到白光，从而用蓝光 LED 得到白光。氮化镓衬底材料常见有二种，即蓝宝石和碳化硅，碳化硅机械加工性能差，价格昂贵以及专利方面的问题使其应用得到限制，因此当前用于氮化镓外延生长的衬底主要是蓝宝石，氮化镓外延层与蓝宝石的晶格失配度相当大，残余内应力较大，所以在蓝宝石上生长氮化镓容易造成大量的缺陷，而这些缺陷大大降低发光器件发光效率 ；同时 GaN 与空气间存在较大的折射率的差异，光出射角度较小，很大部分被全反射回到 LED 芯片内部，降低了光的提取效率，增加散热难度，影响 LED 器件的可靠性。采用纳米级 PPS 衬底技术可大大降低氮化物材料的位错的密度，缓和外延生长时产生的残余内应力，提高内量子效率，光提取效率大大改善。在进行微纳PSS制备的过程中，在进行曝光处理时，需要将软膜与胶深度接触，而软膜一般采用树脂材质的，因此会导致胶对软膜造成污染，同时也降低了软膜的使用寿命，为了提高软膜的使用寿命，现研究出一种新的微纳PSS的制备方法，在进行曝光处理时，软膜只需与胶微接触即可实现被曝光区域未曝光区，因此针对该工艺的改进，需要研究一种新的软膜。
技术实现思路
本技术要...
【技术保护点】
一种微纳PSS制备用软膜，其特征在于：包括所述软膜包括一软膜主体，该软膜主体呈长方体状，在软膜主体的长轴方向的一侧设置有梳齿组；所述梳齿组由若干并列等距分布的梳齿共同构成，在相邻的两个梳齿所形成的凹槽的内壁上还设置有高反射金属层，且高反射金属层的两侧均设置有一延伸至凹槽侧壁的导角。
【技术特征摘要】
1.一种微纳PSS制备用软膜，其特征在于：包括所述软膜包括一软膜主体，该软膜主体呈长方体状，在软膜主体的长轴方向的一侧设置有梳齿组；所述梳齿组...
【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，孙智江，
申请(专利权)人：海迪科南通光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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