【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及适于KrF和ArF、F2准分子激光用抗蚀剂、适于X射线、电子束、EUV(超紫外光)用化学增幅型抗蚀剂原料等的包含新型酸解离性酯化合物的(甲基)丙烯酸酯化合物、(甲基)丙烯酸类共聚物和包含其的感光性树脂组合物。
技术介绍
面向作为存储设备的闪存的大容量化、移动电话、智能手机的高分辨率照相机的图像传感器等的市场的扩大,因此,对于半导体器件有进一步微细化的强烈要求。在这样的各种电子设备制造中,广泛利用光刻法。光刻通过使光源短波长化来推进微细化。作为光源,使用KrF准分子激光以后的短波长光源时,通常使用化学增幅型抗蚀剂,为其组成一般包含主剂的功能性树脂和光致产酸剂、进而包含多种添加剂的溶液。其中,对于作为主剂的功能性树脂,重要的是均衡性良好地具备蚀刻耐性、基板密合性、对使用的光源的透明性、显影速度等各特性,从而决定了抗蚀性能。KrF准分子激光用光致抗蚀剂中使用的功能性树脂一般为以乙烯基化合物、丙烯酸酯等作为重复单元的高分子。例如,KrF准分子激光光刻用抗蚀剂中,提出了羟基苯乙烯系树脂(专利文献1);ArF准分子激光光刻用抗蚀剂中,提出了以(甲基)丙烯酸金刚烷酯作为基本骨架的丙烯酸类树脂(专利文献2~6),逐渐确定了其基本骨架。然而,没有以单一重复单元进行使用的情况。作为理由,这是由于,对于单一的重复单元无法满足蚀刻耐性等全部的特性。实际上,具备多种即2种以上具有用于提高各特性的官能团的重复单元来制成共聚物从而形成功能性树脂,进而在该功能性树脂中添加光致产酸剂等使其溶解于溶剂制成感光性树脂组合物使用。另外,对于用作光致抗蚀剂等的热固化性组合物,已知还 ...
【技术保护点】
一种(甲基)丙烯酸酯化合物,其如通式(1)所示,式(1)中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳数2~4的直链或支链状的亚烷基,R3表示任选相同或不同的下述式(2)、(3)、(20)或(30)所示的基团,式(2)中,R4任选相同或不同,分别独立地表示甲基、乙基、羟基或卤素基团,n1表示1~4,n2表示0~2,式(3)中,R5任选存在或不存在,存在时表示亚甲基(‑CH2‑)或氧杂(‑O‑),R6有多个时,它们任选相同或不同,分别独立地表示羟基、卤素基团、腈基、羧酸基、碳数1~4的羧酸烷基或碳数1~4的烷氧基,n3表示0~2,式(20)中,R14、R15和R16任选相同或不同,分别独立地表示碳数1~13的环状、直链或支链状的烷基,R15和R16任选键合而形成环结构,式(30)中,R7表示碳数1~10的环状、直链或支链状的烷基,或包含氧原子的碳数1~10的环状、直链或支链状的烷基。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.01.31 JP 2014-016875;2014.01.31 JP 2014-016871.一种(甲基)丙烯酸酯化合物,其如通式(1)所示,式(1)中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳数2~4的直链或支链状的亚烷基,R3表示任选相同或不同的下述式(2)、(3)、(20)或(30)所示的基团,式(2)中,R4任选相同或不同,分别独立地表示甲基、乙基、羟基或卤素基团,n1表示1~4,n2表示0~2,式(3)中,R5任选存在或不存在,存在时表示亚甲基(-CH2-)或氧杂(-O-),R6有多个时,它们任选相同或不同,分别独立地表示羟基、卤素基团、腈基、羧酸基、碳数1~4的羧酸烷基或碳数1~4的烷氧基,n3表示0~2,式(20)中,R14、R15和R16任选相同或不同,分别独立地表示碳数1~13的环状、直链或支链状的烷基,R15和R16任选键合而形成环结构,式(30)中,R7表示碳数1~10的环状、直链或支链状的烷基,或包含氧原子的碳数1~10的环状、直链或支链状的烷基。2.一种通式(1)的(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法,其特征在于,其为权利要求1所述的R3如通式(2)或(3)所示的(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法,使通式(4)所示的酸酐与通式(5)所示的具有羟基的(甲基)丙烯酸酯衍生物在有机碱存在下反应,生成通式(6)所示的具有二羧酸基的(甲基)丙烯酸酯衍生物,然后在不分离通式(6)的(甲基)丙烯酸酯衍生物的情况下直接与通式(7)和/或(8)所示的内酯化合物反应,式(5)中,R1、R2与通式(1)相同,式(6)中,R1、R2与通式(1)相同,式(7)中,R4、n1和n2与通式(2)相同,R17为卤素基团,式(8)中,R5、R6和n3与通式(3)相同,R8为卤素基团。3.一种通式(1)的(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法,其特征在于,其为权利要求1所述的R3如通式(2)或(3)所示的(甲基)丙烯酸酯化合物的制造方法,在酸催化剂存在下,使通式(6)所示的具有二羧酸基的(甲基)丙烯酸酯衍生物与通式(9)和/或(10)所示的内酯化合物反应,式(9)中,R4、n1和n2与通式(2)相同,R9为羟基,式(10)中,R5、R6和n3与通式(3)相同,R10为羟基。4.一种(甲基)丙烯酸类共聚物,其在重复单元中包含通式(11),所述(甲基)丙烯酸类共聚物是将权利要求1所述的(甲基)丙烯酸酯化合物聚合而得到的,式(11)中,R1和R2与所述通式(1)相同,R3如所述通式(2)或(3)所示。5.根据权利要求4所述的(甲基)丙烯酸类共聚物,其特征在于,除了通式(11)的重复单元之外,在重复单元中还包含选自通式(12)~(14)中的至少一种,式(12)中,R21表示氢或甲基,R22表示碳数1~4的烷基,R23表示碳数5~20的环亚烷基或脂环式亚烷基,式(13)中,R31表示氢或甲基,R32~R33任选相同或不同,分别独立地表示碳数1~4的烷基,R34表示碳数1~4的烷基或碳数5~20的环烷基、脂环式烷基,式(14)中,R71~R73任选相同或不同,表示碳数1~4的烷基或碳数5~20的环烷基、脂环式烷基,R...
【专利技术属性】
技术研发人员:田中博康,早川祥一,棚木宏幸,古川喜久夫,堀越裕,
申请(专利权)人:三菱瓦斯化学株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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