研磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种研磨装置，其包含承载盘、至少一个被研磨物、砂轮盘及多个研磨齿。至少一个被研磨物连接承载盘。砂轮盘相对承载盘位移且具有中心。多个研磨齿连接砂轮盘且接触研磨被研磨物。各研磨齿包含近端与远端，近端具有近端宽度，而远端具有远端宽度。近端与砂轮盘的中心相隔一近端距离，远端与砂轮盘的中心相隔一远端距离。近端距离小于远端距离，且近端宽度大于远端宽度。借此，本实用新型专利技术的研磨装置，利用研磨齿内宽外窄的特殊形状来补偿研磨齿的近端磨耗量较远端大的差异，不但能降低研磨比值，还可有效缩小研磨后晶圆的总厚度变异。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种研磨装置，特别是涉及改善研磨齿形状以降低研磨比值的研磨装置。
技术介绍
在晶圆制造加工业或精密磨削工业当中，研磨加工是相当重要的步骤之一，而在研磨加工程序中所使用的砂轮座的研磨平衡还关系着加工物件研磨的精确度。一般常用的砂轮座在使用上是结合研磨齿以组成砂轮组，并将此砂轮组通过砂轮转轴连接砂轮转动马达以进行研磨操作，其研磨齿对应于砂轮座的中心且设置成放射状。然而，由于此种研磨齿的位移方向与研磨齿的研磨侧面的延伸方向相互垂直，被研磨物的碎屑容易累积在研磨齿相对于位移方向的研磨侧边而堆积，进而造成排屑不顺，因此其研磨的品质普遍不高。此外，被研磨的碎屑容易因积存于研磨齿侧面而导致积热的现象发生，会大幅降低研磨能力与使用寿命的缺失。另一种常用的砂轮座在使用上也结合研磨齿以组成砂轮组，并将砂轮组通过砂轮转轴连接砂轮转动马达以进行研磨操作，其研磨齿具有特定的研磨角度。此种结构虽然利于碎屑的排除，但往往因磨耗的不平衡而导致研磨齿的近端与远端磨耗量有所不同，不但会增加研磨比值而降低研磨的效能和品质，而且会造成总厚度变异(Total Thickness Variation,TTV)过大的现象而无法满足制造者的需求。由上述可知，目前市场上缺乏一种可平衡研磨齿的磨耗量、降低研磨比值且可缩小研磨后的总厚度变异的研磨装置，故相关业者均在寻求其解决之
道。
技术实现思路
因此，本技术的目的在于提供一种研磨装置，其利用研磨齿内宽外窄的特殊形状来补偿研磨齿的近端磨耗量较远端大的差异，可有效降地低研磨比值且能缩小研磨后晶圆的总厚度变异，进而降低破片率。再者，通过漩涡状的研磨齿排列结合研磨齿本身内宽外窄的形状，能使研磨装置在研磨的过程中顺利地排屑。另外，本研磨装置可以同时研磨多个被研磨物，可大幅提高产量。本技术的一实施方式为一种研磨装置，其包含承载盘、至少一个被研磨物、砂轮盘以及多个研磨齿。至少一个被研磨物连接承载盘。砂轮盘相对承载盘位移且具有中心。多个研磨齿连接砂轮盘，且多个研磨齿接触研磨被研磨物。另外，研磨齿包含近端与远端，近端具有近端宽度，而远端具有远端宽度。近端与砂轮盘的中心相隔一近端距离，远端则与砂轮盘的中心相隔一远端距离。近端距离小于远端距离，且近端宽度大于远端宽度。借此，本技术的研磨装置通过研磨齿内宽外窄的特殊形状来补偿研磨齿的近端磨耗量较远端大的差异，可有效降地低研磨比值且能大幅缩小研磨后晶圆的总厚度变异，进而降低破片率。此外，通过放射状结合漩涡状的研磨齿排列，同时搭配研磨齿本身的特殊形状，可使研磨装置在研磨的过程中顺利地排屑。依据前述实施方式的其他实施例如下：前述各研磨齿可包含第一侧边与第二侧边，第一侧边对应第二侧边。近端与远端呈平面状或弧面状，第一侧边与第二侧边也可呈平面状或弧面状。第一侧边的边长小于等于第二侧边的边长，且第一侧边的边长大于近端宽度。再者，前述承载盘与砂轮盘可呈圆形，多个研磨齿呈漩涡状排列，而被研磨物可呈圆形、椭圆形、四方形、三角形或其他多边形。前述承载盘可朝顺时针方向或逆时针方向旋转，砂轮盘可朝顺时针方向或逆时针方向旋转。承载盘的盘面与砂轮盘的盘面彼此平行。
另外，前述研磨装置可包含承载转动马达与砂轮转动马达，其中承载转动马达转动承载盘，且承载转动马达可控制承载盘以承载转速旋转。至于砂轮转动马达则可转动砂轮盘，且砂轮转动马达可控制砂轮盘以砂轮转速旋转。此外，前述各研磨齿与对应的虚拟放射线相交一研磨角度，此虚拟放射线与砂轮盘的中心相交且与相对应研磨齿相交，研磨角度大于0度且小于90度。本技术的另一实施方式为一种研磨装置，其包含承载座、多个被研磨物、砂轮座以及多个研磨齿。其中承载座包含承载盘与承载转轴，承载盘连接承载转轴，且承载盘以承载转轴为中心旋转。多个被研磨物定位于承载盘上。而砂轮座包含砂轮盘与砂轮转轴，砂轮盘连接砂轮转轴，且砂轮盘以砂轮转轴为中心旋转。此外，多个研磨齿定位于砂轮盘上，且各研磨齿接触研磨被研磨物。各研磨齿包含近端与远端，近端具有近端宽度，远端具有远端宽度。近端与砂轮盘的中心相隔一近端距离，而远端与砂轮盘的中心相隔一远端距离。近端距离小于远端距离，且近端宽度大于远端宽度。借此，本技术的研磨装置可以同时研磨多个被研磨物，不但能大幅提高产量，还能增加经济效应并降低生产成本。另外，通过研磨齿内宽外窄的特殊形状可补偿研磨齿的近端磨耗量较远端大的差异，可大幅降地低研磨比值且能有效缩小研磨后被研磨物的总厚度变异，而且当被研磨物为晶圆时，还可大幅降低破片率。依据前述实施方式的其他实施例如下：前述各研磨齿可包含第一侧边与第二侧边，第一侧边对应第二侧边。近端与远端呈平面状或弧面状，第一侧边与第二侧边也可呈平面状或弧面状。第一侧边的边长小于等于第二侧边的边长，且第一侧边的边长大于近端宽度。再者，前述承载盘与砂轮盘可呈圆形，多个研磨齿呈漩涡状排列，而各被研磨物可呈圆形、椭圆形、四方形、三角形或其他多边形。前述承载盘可朝顺时针方向或逆时针方向旋转，砂轮盘可朝顺时针方向或逆时针方向旋转。承载转轴与砂轮转轴彼此平行且承载盘的盘面与砂轮盘的盘面彼此平行，而且承载转轴与承载盘的盘面相互垂直。另外，前述研磨装置可包含承载转动马达与砂轮转动马达，其中承载转动马
达连接承载转轴而转动承载盘，且承载转动马达可控制承载盘以承载转速旋转。至于砂轮转动马达则连接砂轮转轴而转动砂轮盘，且砂轮转动马达可控制砂轮盘以砂轮转速旋转。此外，前述各研磨齿与对应的虚拟放射线相交一研磨角度，此虚拟放射线与砂轮盘的中心相交且与相对应研磨齿相交，研磨角度大于0度且小于90度。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：本技术的研磨装置，利用研磨齿内宽外窄的特殊形状来补偿研磨齿的近端磨耗量较远端大的差异，不但能降低研磨比值，还可有效缩小研磨后晶圆的总厚度变异。附图说明图1绘示本技术的一实施例的研磨装置的立体示意图。图2A绘示图1的砂轮盘的俯视图。图2B绘示图2A的砂轮盘的剖视图。图2C绘示图2A的研磨齿的示意图。图3绘示图1的承载盘与砂轮盘交相研磨的俯视图。图4绘示本技术的另一实施例的砂轮盘与研磨齿的俯视图。图5A至图5C绘示本技术的其他各种实施例的研磨齿的示意图。图6绘示本技术的另一实施例的研磨装置的立体示意图。图7是绘示254毫米的砂轮盘径的研磨比值对应研磨齿齿形的数据图。图8是绘示304毫米的砂轮盘径的研磨比值对应研磨齿齿形的数据图。具体实施方式以下将参照图式说明本技术的多个实施例。为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细
节不应用以限制本技术。也就是说，在本技术部分实施例中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些现有惯用的结构与元件在图式中将以简单示意的方式绘示；并且重复的元件将可能使用相同的编号表示。再者，本技术所述的研磨比值代表研磨齿500磨耗的平均厚度除以单位研磨量的百分比。请一并参阅图1至图3，图1绘示本技术的一实施例的研磨装置100的立体示意图。图2A绘示图1的砂轮盘410的俯视图。图2B绘示图2A的砂轮盘410的剖视图。图2C绘示图2A的研磨本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种研磨装置，其特征在于，所述研磨装置包含：承载盘；至少一个被研磨物，其连接所述承载盘；砂轮盘，其相对所述承载盘位移且具有中心；以及多个研磨齿，其连接所述砂轮盘，所述多个研磨齿接触研磨所述被研磨物，各所述研磨齿包含近端与远端，所述近端具有近端宽度，所述远端具有远端宽度，所述近端与所述中心相隔一近端距离，所述远端与所述中心相隔一远端距离，所述近端距离小于所述远端距离，且所述近端宽度大于所述远端宽度。

【技术特征摘要】
1.一种研磨装置，其特征在于，所述研磨装置包含：承载盘；至少一个被研磨物，其连接所述承载盘；砂轮盘，其相对所述承载盘位移且具有中心；以及多个研磨齿，其连接所述砂轮盘，所述多个研磨齿接触研磨所述被研磨物，各所述研磨齿包含近端与远端，所述近端具有近端宽度，所述远端具有远端宽度，所述近端与所述中心相隔一近端距离，所述远端与所述中心相隔一远端距离，所述近端距离小于所述远端距离，且所述近端宽度大于所述远端宽度。2.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，各所述研磨齿还包含第一侧边与第二侧边，所述第一侧边对应所述第二侧边，所述近端与所述远端呈平面状或弧面状，所述第一侧边与所述第二侧边呈平面状或弧面状，所述第一侧边的边长小于等于所述第二侧边的边长，且所述第一侧边的边长大于所述近端宽度。3.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述承载盘与所述砂轮盘呈圆形，所述多个研磨齿呈漩涡状排列，所述被研磨物呈圆形、椭圆形、四方形或三角形。4.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述承载盘以顺时针方向或逆时针方向旋转，所述砂轮盘以顺时针方向或逆时针方向旋转，所述承载盘的盘面与所述砂轮盘的盘面彼此平行。5.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨装置还包含：承载转动马达，其转动所述承载盘，所述承载转动马达控制所述承载盘以承载转速旋转；以及砂轮转动马达，其转动所述砂轮盘，所述砂轮转动马达控制所述砂轮盘以砂轮转速旋转。6.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，各所述研磨齿与对应的虚拟放射线相交一研磨角度，所述虚拟放射线与所述砂轮盘的所述中心相交且与其中一个所述研磨齿相交，所述研磨角度大于0度且小于90度。7.一种研磨装置，其特征在于，所述研磨装置包含：承载座，其包含承载盘与承载转轴，所述承载盘连接所述承载转轴，所述承载盘以所述承载转...

【专利技术属性】
技术研发人员：周景星，
申请(专利权)人：周景星，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71