用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板制造技术

一种用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板，包括外框和位于外框中的若干分隔板，外框和分隔板将掩膜板分隔成若干个格子，每个格子有四条边，每个格子内有若干个长条结构的镀膜区域，所述分隔板为离散式结构，以使得所述每个格子的四条边中，至少有一条具有缺口，格子的四个顶点全部或者部分开放，可以容纳顶角有凸角的基片，本发明专利技术所述掩膜板中，格子的四周存在可以容纳镊子等工具的空隙，便于平稳地放入，取出或者调整基片。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种镀膜用的掩膜板，特别涉及一种用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板。
技术介绍
薄膜太阳能电池通常由多层具有不同功能的材料薄膜组成。目前的薄膜太阳能电池种类繁多，常见的包括有机太阳能电池，无机太阳能电池(非晶硅，碲化镉，铜铟硒，砷化镓等等)以及有机-无机杂化太阳能电池(钙钛矿等等)。薄膜的制备可以采用溶液法(例如旋涂)或者气相沉积法(例如真空蒸镀，磁控溅射等)。一般来说，金属材料(例如作为电极的铝，银和作为电子传输层的钙)多采用气相沉积法镀膜。气相沉积法中通常需要使用掩模板，掩膜板由多个分隔开的格子组成。每个格子内可放置一块玻璃基片。格子内的镀膜区域为若干个并排的长条。每个长条对应一个电极。其中一个电极(通常为最边缘的一个)的极性与其它几个相反。其它部分则被掩膜板底座遮挡。薄膜太阳能电池的掩膜板的格子尺寸是固定的，并且与某特定大小基片的尺寸相匹配。但是玻璃基片的制作和切割工艺存在诸多不确定因素，尤其是有些时候需要由人工完成最后的切割步骤。因此人工掰断的过程中也有可能产生凸出的尖角，从而导致基片无法放入格子中。如果因此导致经过多部工艺处理过的基片无法继续使用，便会造成基片和材料的浪费。掩膜板的格子尺寸是固定的并且与基片的尺寸相匹配。但是基片的尺寸有时存在误差，因此在基片放入取出的时候可能卡在格子里而不好调整。由于格子的四周都是封闭式环绕的，此时很难借助镊子等工具来调整基片的位置。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板，可便于基片在格子中的调整。为了实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板，包括外框1和位于外框1中的若干分隔板2，外框1和分隔板2将掩膜板分隔成若干个格子3，每个格子3有四条边4，每个格子3内有若干个长条结构的镀膜区域5，所述分隔板2为离散式结构，以使得所述每个格子3的四条边4中，至少有一条具有缺口。所述分隔板2为单段结构，即，在一条边4上仅有一段分隔板2。所述的一段分隔板2位于相应的边4的中间位置。所述分隔板2为两段结构，即，在一条边4上有两段分隔板2。所述两段分隔板2之间的空隙，位于相应的边4的正中间位置。所述分隔板2为多段结构，即，在一条边4上有多段分隔板2。所述分隔板2为单段和多段复合结构，即，一部分分隔板2为单段结构，在一条边4上有一段分隔板2；另一部分分隔板2为多段结构，在一条边4上有多段分隔板2。所述分隔板2互不连接，且与外框1也不连接。所述每个格子3的至少一个顶点位置有缺口，以容纳顶角有凸角的基片。所述格子3内除镀膜区域5外，其它部分被掩模板遮挡。与现有技术相比，格子的四条边由分隔板和外框固定，因此不会影响格子和基片的匹配，同时格子的四条边也足以固定住基片。格子的顶点开放，可以容纳顶角有凸角的基片。格子的四周存在可以容纳镊子等工具的空隙，便于平稳地放入，取出或者调整基片。附图说明图1为传统的掩模板结构示意图。图2为本专利技术所述掩模板的一个具有6×6共36个格子的范例的示意图。图3为本专利技术所述掩模板的另一个范例的示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例详细说明本专利技术的实施方式。传统的掩模板如图1所示，分隔板2之间相互连接，且外框1和分隔板2也是连接的，由此形成的格子3是四周封闭的，基片在格子3中被完全限制，不便于调整。本专利技术所述用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板的一种结构如图2所示，包括外框1和分隔板2。外框1和分隔板2把掩模板分割成6×6总共36个正方形的格子3，每个格子3可放置一块基片。每个格子有四条边4，边4的位置由外框1或者分隔板2确定。格子每条边4的分隔板2为一段，长度大约为边长的30％。分隔板2位于格子每条边4的中点附近。正方形格子3的四个顶点开放，可以容纳四角有凸角的基片。分隔板2之间或者分隔板2与外框1之间的顶点存在空隙，可以容纳镊子等工具，便于平稳地放入、取出或者调整基片。本专利技术所述用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板的另一种结构如图3所示，包括外框1和分隔板2。外框1和分隔板2把掩模板分割成6×6总共36个正方形格子3，每个格子3可放置一块基片。格子3每边4的分隔板2为两段，每段长度大约为边长的30％。两段分隔板2分别位于每条边4中点的左右两边。两段分隔板2都不接触正方形格子3的顶点。正方形格子3的四个顶点开放，可以容纳四角有凸角的基片。两段分隔板2之间存在空隙，可以容纳镊子等工具。镊子施加于基片的受力点位于基片两条对边4的中点，因此受力平衡，方便平稳地放入、取出或者调整基片。本专利技术掩膜板的其它结构形式，在一个掩模板中，分隔板2可以有多种形式，可以进行单段和多段的组合，可以将格子3的顶点部分或者全部开放，以适应不同的基片形式。以上所述仅为本专利技术的一个实施范例而已，并不用于限制本专利技术。对于本领域的专业技术人员来说，本专利技术可以有各种更改和变化。凡在本专利技术的
精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板，包括外框(1)和位于外框(1)中的若干分隔板(2)，外框(1)和分隔板(2)将掩膜板分隔成若干个格子(3)，每个格子(3)有四条边(4)，每个格子(3)内有若干个长条结构的镀膜区域(5)，其特征在于，所述分隔板(2)为离散式结构，以使得所述每个格子(3)的四条边(4)中，至少有一条具有缺口。

【技术特征摘要】
1.一种用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板，包括外框(1)和位于外框(1)中的若干分隔板(2)，外框(1)和分隔板(2)将掩膜板分隔成若干个格子(3)，每个格子(3)有四条边(4)，每个格子(3)内有若干个长条结构的镀膜区域(5)，其特征在于，所述分隔板(2)为离散式结构，以使得所述每个格子(3)的四条边(4)中，至少有一条具有缺口。2.根据权利要求1所述用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板，其特征在于，所述分隔板(2)为单段结构，即，在一条边(4)上仅有一段分隔板(2)。3.根据权利要求2所述用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板，其特征在于，所述的一段分隔板(2)位于相应的边(4)的中间位置。4.根据权利要求1所述用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板，其特征在于，所述分隔板(2)为两段结构，即，在一条边(4)上有两段分隔板(2)。5.根据权利要求4所述用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板，其特征在于，所述两段分隔板(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨洋，王一丹，秦校军，赵志国，邬俊波，
申请(专利权)人：中国华能集团公司，中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11