移载装置以及移载装置的控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够可靠地抑制移动部无意中的飞出的移载装置。该移载装置(40)具备能够相对于基座部(41)移动的移动部(42)，移动部(42)以从基座部(41)突出的状态移载物品(FP)，并具备移动限制部(43)，该移动限制部(43)能够在将移动部(42)限制于基准位置(P1)的第1状态、与允许移动部(42)从基准位置(P1)向第1方向(D1)以及与第1方向(D1)相反的第2方向(D2)中的任一方移动并且限制移动部(42)向另一方移动的第2状态之间进行切换。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及移载装置以及移载装置的控制方法。
技术介绍
对于在设置于顶棚的轨道上行驶的桥式行驶车而言，公知有连结有移载物品的移载装置的结构。该移载装置具备与桥式行驶车连结的主体部、以及能够相对于该主体部向桥式行驶车的行驶方向的侧方移动的移动部。在该移载装置中，例如形成为利用带机构、齿轮机构等驱动机构使移动部移动并向主体部的侧方突出，并以该状态移载物品的结构。另外，在移载物品之后，利用驱动机构使移动部向主体部侧返回。在这种移载装置中，若带断开、齿轮的卡合脱离，则存在移动部从主体部无意中向侧方飞出，并与其他桥式行驶车、支柱等周围的构造物干扰的担忧。与此相对，例如专利文献1所示，为了防止移动部无意中的飞出，而提出了一种在桥式行驶车的行驶过程中使移动部与主体部卡合，在停止桥式行驶车并移载物品的情况下解除移动部与主体部的卡合并使移动部向主体部的侧方移动的卡合装置。专利文献1：国际公开第2011/148459号然而，在上述结构中，例如在使移动部向主体部的侧方移动之后，向主体部侧返回时带断开、齿轮的卡合脱离的情况下，存在移动部向相反的一侧飞出，并与其他桥式行驶车干扰的担忧。
技术实现思路
鉴于如上情况，本专利技术的目的在于提供能够可靠地抑制移动部无意中的飞出的移载装置以及移载装置的控制方法。在本专利技术中，提出一种移载装置，其具备能够相对于主体部移动的移动部，移动部以从主体部突出的状态移载物品，该移载装置具备移动
限制部，该移动限制部能够在将移动部限制于基准位置的第1状态、与允许移动部从基准位置向第1方向以及与第1方向相反的第2方向中的任一方移动并且限制移动部向另一方移动的第2状态之间进行切换。另外，优选，移动限制部形成为除了第1状态以及第2状态之外，还能够切换为在规定范围内允许移动部向第1方向以及第2方向移动的第3状态。另外，优选，移动限制部具备旋转体并根据旋转体的旋转位置至少切换第1状态与第2状态，其中，该旋转体具有在设置于移动部的卡合部的移动方向上与卡合部抵接的止挡部。另外，优选，旋转体在止挡部的外侧具备在规定范围内允许卡合部的移动的外侧止挡部。另外，优选，移动限制部具备伴随着旋转体的旋转而旋转的指标部、检测指标部的传感器部、以及基于来自传感器部的检测结果控制旋转体的旋转位置的控制部。另外，优选，传感器部沿指标部的旋转方向配置有多个，控制部基于来自多个传感器部的检测结果控制旋转体的旋转位置。另外，优选，主体部与桥式行驶车连结，移动部具备能够保持物品的夹持部、以及使夹持部升降的升降驱动部。另外，优选，第1方向以及第2方向也可以为水平方向中的与桥式行驶车的行驶方向交叉的方向。另外，在本专利技术的移载装置的控制方法中，是具备能够相对于主体部移动的移动部并且移动部以从主体部突出的状态移载物品的移载装置的控制方法，该移载装置的控制方法的特征在于：利用移动限制部在将移动部限制于基准位置的第1状态、与允许移动部从基准位置向第1方向以及与第1方向相反的第2方向的任一方移动并且限制移动部向另一方移动的第2状态之间进行切换。根据本专利技术，由于能够利用移动限制部在将移动部限制于基准位置的第1状态、允许移动部从基准位置向第1方向以及与第1方向相反的第2方向中的任一方移动并且限制移动部向另一方移动的第2状态之间进行切换，所以在使移动部向第1方向移动之后为了向基准位置返回而向第2方向移动的情况下，利用移动限制部抑制向第2方向飞出。由此，可靠地抑制移动部无意中的飞出。另外，移动限制部形成为除了第1状态以及第2状态之外，还能够切换为在规定范围内允许移动部向第1方向以及第2方向移动的第3状态，在移动限制部处于第3状态的情况下，能够在规定范围内微调移动
部的位置。另外，移动限制部具备旋转体并根据旋转体的旋转位置至少切换第1状态与第2状态，其中，该旋转体具有在设置于移动部的卡合部的移动方向上与卡合部抵接的止挡部，从而仅通过使旋转体旋转，便能够容易地至少在第1状态与第2状态之间切换移动限制部。另外，旋转体在止挡部的外侧具备在规定范围内允许卡合部的移动的外侧止挡部，从而能够在外侧止挡部限制卡合部的移动。另外，移动限制部具备伴随着旋转体的旋转而旋转的指标部、检测指标部的传感器部、以及基于来自传感器部的检测结果控制旋转体的旋转位置的控制部，从而能够自动地进行移动限制部的切换。另外，传感器部沿指标部的旋转方向配置有多个，控制部基于来自多个传感器部的检测结果控制旋转体的旋转位置，从而能够利用传感器部以及控制部可靠地控制旋转体的旋转位置。另外，主体部与桥式行驶车连结，移动部具备能够保持物品的夹持部、以及使夹持部升降的升降驱动部，从而在桥式行驶车行驶的情况下、移动部向主体部的侧方移动的情况、移动部使夹持部升降的情况下、移动部向主体部侧返回的情况的任一种情况下，均能够可靠地抑制移动部无意中的飞出。另外，第1方向以及第2方向为水平方向中的与桥式行驶车的行驶方向交叉的方向，从而能够可靠地抑制移动部向与桥式行驶车的行驶方向交叉的方向无意中飞出。由此，在桥式行驶车分别在平行地延伸的轨道上行驶的情况下，能够抑制桥式行驶车彼此干扰。附图说明图1是表示处理室的顶棚部分的一个例子的图。图2是表示带机构的一个例子的图。图3是表示移载装置的动作状态的一个例子的图。图4是表示移动限制部的一个例子的立体图。图5是表示移动限制部的一个例子的侧视图。图6中，(a)是表示旋转体的一个例子的图，(b)是表示指标部以及传感器部的一个例子的图。图7中，(a)～(d)是用于对移动限制部的动作进行说明的图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。其中，本专利技术并不限定于此。另外，在附图中，为了对实施方式进行说明，通过将局部放大或者强调记载等而适宜变更比例尺进行表现。在以下各图中，使用XYZ坐标系对图中的方向进行说明。在该XYZ坐标系中，将与水平面平行的平面设为XY平面。在该XY平面中，将桥式行驶车20的行驶方向记载为Y方向，将与Y方向正交的方向记载为X方向。另外，将与XY平面垂直的方向记载为Z方向。将X方向、Y方向以及Z方向各自的图中的箭头的方向作为+方向，将与箭头的方向相反的方向作为－方向进行说明。另外，将绕X轴的旋转方向记载为θX方向，将绕Y轴的旋转方向记载为θY方向，将绕Z轴的旋转方向记载为θZ方向。图1是表示处理室1的顶棚部分的一个例子的图。处理室1例如为洁净室内部，并设置有未图示的半导体处理装置等。在处理室1的顶棚部分设置有顶棚部件4、第1支柱6以及第2支柱15。在顶棚部件4形成有顶棚面4a。顶棚面4a形成为与水平面平行。第1支柱6固定于顶棚部件4，并从顶棚面4a向下方(－Z方向)延伸。在第1支柱6的各群的－Z侧端部分别固定有第1支承部件8、9。第1支承部件8、9形成为在Y方向上具有长边。第1支承部件8、9经由第1支柱6固定于顶棚部件4。第1支承部件8、9的－Z侧的面(支承面)8a、9a配置为与顶棚面4a平行。在支承面8a、9a分别相邻设置有导轨10。导轨10是引导桥式行驶车20的轨道。导轨10具有行驶导轨11以及供电导轨12。导轨10的至少一部分例如沿第1支承部件8、9的长度方向(Y方向)设置。相邻的导轨10彼此配置为相互平行。此外，在图1中省略了设置于第1支承本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种移载装置，其具备能够相对于主体部移动的移动部，所述移动部以从所述主体部突出的状态移载物品，所述移载装置的特征在于，具备移动限制部，该移动限制部能够在将所述移动部限制于基准位置的第1状态、与允许所述移动部从所述基准位置向第1方向以及与所述第1方向相反的第2方向中的任一方移动并且限制所述移动部向另一方移动的第2状态之间进行切换。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.01.07 JP 2014-0009641.一种移载装置，其具备能够相对于主体部移动的移动部，所述移动部以从所述主体部突出的状态移载物品，所述移载装置的特征在于，具备移动限制部，该移动限制部能够在将所述移动部限制于基准位置的第1状态、与允许所述移动部从所述基准位置向第1方向以及与所述第1方向相反的第2方向中的任一方移动并且限制所述移动部向另一方移动的第2状态之间进行切换。2.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，所述移动限制部形成为除了所述第1状态以及所述第2状态之外，还能够切换为在规定范围内允许所述移动部向所述第1方向以及所述第2方向移动的第3状态。3.根据权利要求1或2所述的移载装置，其特征在于，所述移动限制部具备旋转体，并根据所述旋转体的旋转位置至少切换所述第1状态与所述第2状态，其中，所述旋转体具有在设置于所述移动部的卡合部的移动方向上与所述卡合部抵接的止挡部。4.根据权利要求3所述的移载装置，其特征在于，所述旋转体在所述止挡部的外侧具备在规定范围内允许所述卡合部的移动的外侧止挡部。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤纯一，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP