太赫兹近场探测器、光电导天线及其制作方法技术

本发明专利技术涉及一种太赫兹近场探测器和光电导天线，以及该光电导天线的制作方法。所述光电导天线包括衬底，粘合在衬底上的低温砷化镓波片层，粘合在低温砷化镓波片层上的偶极天线，偶极天线为低温砷化镓薄片，设置在偶极天线上的绝缘层，以及设置在绝缘层上的带孔金属板。带孔金属板能使背景噪声信号大幅衰减，提高近场探测的空间分辨率。

【技术实现步骤摘要】
201610349988

【技术保护点】
一种用于太赫兹近场探测的光电导天线，其特征在于，包括：衬底；低温砷化镓波片层，粘合在衬底上；偶极天线，为低温生长的砷化镓薄片并粘合在低温砷化镓波片层上；绝缘层，设置在偶极天线上；以及带孔金属板，设置在绝缘层上。

【技术特征摘要】
1.一种用于太赫兹近场探测的光电导天线，其特征在于，包括：衬底；低温砷化镓波片层，粘合在衬底上；偶极天线，为低温生长的砷化镓薄片并粘合在低温砷化镓波片层上；绝缘层，设置在偶极天线上；以及带孔金属板，设置在绝缘层上。2.根据权利要求1所述的用于太赫兹近场探测的光电导天线，其特征在于，所述衬底为蓝宝石衬底。3.根据权利要求1所述的用于太赫兹近场探测的光电导天线，其特征在于，所述低温砷化镓波片层为方形或者圆形。4.根据权利要求1所述的用于太赫兹近场探测的光电导天线，其特征在于，所述低温砷化镓波片层与衬底通过光学胶层粘接。5.根据权利要求1所述的用于太赫兹近场探测的光电导天线，其特征在于，所述偶极天线为两个对称排布的T型低温砷化镓薄片。6.根据权利要求5所述的用于太赫兹近场探测的光电导天线，其特征在于，所述带孔金属板为铝片，所述铝片上设有孔，所述孔的中心对准所述偶极天线的中心。7.根据权利要求1所述的用于太赫兹近场探测的光电导天线，其特征在于，所述绝缘层为二氧...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭世昌，潘奕，李辰，丁庆，
申请(专利权)人：深圳市太赫兹系统设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44