【技术实现步骤摘要】
201610275910
【技术保护点】
一种光学指纹识别装置的形成方法，其特征在于，包括：提供硅基板；提供透光基板、图像传感器芯片，键合透光基板与图像传感器芯片，通过渐变通光量光刻方法于透光基板上形成透镜阵列，所述透镜阵列对应于图像传感器芯片的感光阵列；将硅基板与透光基板键合，刻蚀硅基板形成对应于透镜阵列的通孔阵列以暴露出所述透镜阵列，并且于相邻透镜之间形成硅光栏。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵立新，陈俭，夏欢，
申请(专利权)人：格科微电子上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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