检查方法和检查系统技术方案

本发明专利技术涉及检查方法和检查系统，能够对层叠膜中的未贯通层叠膜的缺陷进行检查，该层叠膜是通过在金属层的两面层叠绝缘层而形成的。检查方法是对层叠膜的缺陷进行检查的检查方法，该层叠膜是通过在金属层的两面上层叠绝缘层而形成的，该检查方法包括电压施加步骤工序和检测步骤工序。在电压施加步骤工序中，一边向层叠膜的表面提供导电性液体，一边在对第一电极与第二电极之间施加电压，该第一电极与被提供该液体的层叠膜的表面相接触，该第二电极与从层叠膜的端部暴露的金属层的端部相接触。在检测步骤工序中，对被施加电压的第一与第二电极之间的通电状态进行检测。

【技术实现步骤摘要】
201610185921

【技术保护点】
一种检查方法，对层叠膜的缺陷进行检查，该层叠膜是在金属层的两面上层叠绝缘层而得到的，该检查方法的特征在于，包括：电压施加工序，一边向上述层叠膜的表面提供向上述绝缘层渗透的导电性液体，一边对第一电极与第二电极之间施加电压，其中，该第一电极与被提供该液体的上述层叠膜的表面相接触，该第二电极与从上述层叠膜的端部暴露的上述金属层的端部相接触；以及检测工序，检测被施加了上述电压的上述第一电极与上述第二电极之间的通电状态，其中，在上述液体渗透到上述绝缘层并到达上述金属层时，在上述第一电极与上述第二电极之间发生振荡，上述检查方法还包括：测量工序，检测从对上述层叠膜的表面开始提供上述液体起到发生上述振荡为止的时间；以及计算工序，参照表示缺陷的深度与检测时间之间的关系的关系表，根据检测得到的上述时间来计算上述绝缘层中存在的未贯通该绝缘层的缺陷的深度。

【技术特征摘要】
2011.12.26 JP 2011-2841851.一种检查方法，对层叠膜的缺陷进行检查，该层叠膜是在金属层的两面上层叠绝缘层而得到的，该检查方法的特征在于，包括：电压施加工序，一边向上述层叠膜的表面提供向上述绝缘层渗透的导电性液体，一边对第一电极与第二电极之间施加电压，其中，该第一电极与被提供该液体的上述层叠膜的表面相接触，该第二电极与从上述层叠膜的端部暴露的上述金属层的端部相接触；以及检测工序，检测被施加了上述电压的上述第一电极与上述第二电极之间的通电状态，其中，在上述液体渗透到上述绝缘层并到达上述金属层时，在上述第一电极与上述第二电极之间发生振荡，上述检查方法还包括：测量工序，检测从对上述层叠膜的表面开始提供上述液体起到发生上述振荡为止的时间；以及计算工序，参照表示缺陷的深度与检测时间之间的关系的关系表，根据检测得到的上述时间来计算上述绝缘层中存在的未贯通该绝缘层的缺陷的深度。2.根据权利要求1所述的检查方法，其特征在于，在上述检测工序中检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述层叠膜中存在贯通上述绝缘层到达上述金属层的缺陷。3.一种检查方法，对层叠膜的缺陷进行检查，该层叠膜是在金属层的两面上层叠绝缘层而得到的，该检查方法的特征在于，包括：电压施加工序，一边向上述层叠膜的表面提供向上述绝缘
\t层渗透的导电性液体，一边对第一电极与第二电极之间施加电压，其中，该第一电极与被提供该液体的上述层叠膜的表面相接触，该第二电极与从上述层叠膜的端部暴露的上述金属层的端部相接触；以及检测工序，检测被施加了上述电压的上述第一电极与上述第二电极之间的通电状态，其中，以防止发生振荡的方式对上述第一电极与上述第二电极之间施加上述电压，在上述检测工序中，在紧接对上述层叠膜开始提供上述液体之后检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述绝缘层中存在贯通上述绝缘层到达上述金属层的缺陷，另一方面，在紧接对上述层叠膜开始提供上述液体之后没有检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述绝缘层中存在未贯通上述绝缘层的缺陷。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的检查方法，其特征在于，上述第一电极包括用于保持上述液体的多孔质部件。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的检查方法，其特征在于，上述第二电极为用于夹持上述层叠膜的端部的具有V字状槽部的导电性...

【专利技术属性】
技术研发人员：切明健志，吉田清，三浦聪纪，木村爱佳，水田政智，
申请(专利权)人：日产自动车株式会社，汽车能源供应公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP