堆叠式导电互连电感器制造技术

一种集成电路装置包含支撑一对例如柱等导电互连件的第一衬底。所述装置还包含所述对导电互连件上的第二衬底。所述对导电互连件经布置以操作为第一3D螺线管电感器。所述装置进一步包含使所述对导电互连件彼此耦合的导电迹线。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480072085

【技术保护点】
一种集成电路装置，其包括：第一衬底，其支撑第一对导电互连件；第二衬底，其在所述第一对导电互连件上，所述第一对导电互连件经布置以操作为第一3D螺线管电感器的部分；及第一导电迹线，其使所述第一对导电互连件彼此耦合。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.01.14 US 14/155,1871.一种集成电路装置，其包括：第一衬底，其支撑第一对导电互连件；第二衬底，其在所述第一对导电互连件上，所述第一对导电互连件经布置以操作为第一3D螺线管电感器的部分；及第一导电迹线，其使所述第一对导电互连件彼此耦合。2.根据权利要求1所述的集成电路装置，其进一步包括：第二对导电互连件，其在所述第一衬底与所述第二衬底之间；第三对导电互连件，其由所述第二衬底支撑；及第三衬底，其堆叠在所述第二对导电互连件上。3.根据权利要求2所述的集成电路装置，其进一步包括：第二导电迹线，其使所述第三对导电互连件彼此耦合，其中所述第三对导电互连件经布置以操作为与所述第一3D螺线管电感器对准的第二3D螺线管电感器。4.根据权利要求2所述的集成电路装置，其进一步包括：第二导电迹线，其使所述第二对导电互连件彼此耦合，其中所述第二对导电互连件经布置以操作为第二3D螺线管电感器。5.根据权利要求2所述的集成电路装置，其进一步包括：第四对导电互连件，其布置在所述第二衬底与所述第三衬底之间且穿过多个通孔耦合到所述第二对导电互连件；第二导电迹线，其使所述第二对导电互连件的一端彼此耦合且还经过所述第四对导电互连件，所述第二对导电互连件及所述第四对导电互连件经布置以操作为具有大于所述第一3D螺线管电感器的高度的高度的第三3D螺线管电感器。6.根据权利要求2所述的集成电路装置，其中所述第三衬底包括玻璃。7.根据权利要求2所述的集成电路装置，其中金属-绝缘体-金属MIM电容器形成在
\t所述第三衬底的表面上。8.根据权利要求1所述的集成电路装置，其中所述第一对导电互连件包括一对柱。9.根据权利要求1所述的集成电路装置，其并入到以下各者中的至少一者中：音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航装置、通信装置、个人数字助理PDA、固定位置数据单元及计算机。10.一种集成电路装置，其包括：第一衬底，其支撑第一对导电互连件及第二对导电互连件；第二衬底，其堆叠在所述第一和第二对导电互连件上，所述第二衬底支撑第三对导电互连件及第四对导电互连件，所述第二衬底包含将所述第二对导电互连件耦合到所述第四对导电互连件的一对通孔；第三衬底，其堆叠在所述第三和第四对导电互连件上；第一导电迹线，其使所述第一对导电互连件彼此耦合以操作为第一堆叠式3D螺线管电感器；第二导电迹线，其使所述第三对导电互连件彼此耦合以操作为第二堆叠式3D螺线管电感器；及第三导电迹线，其使所述第二或第四对导电互连件中的一者彼此耦合以操作为第三堆叠式3D螺线管电感器。11.一种制造电感装置的后段工艺处理方法，其包括：在第一衬底上制造第一对导电互连件；将第二衬底放置在所述第一对导电互连件上，所述第一对导电互连件经布置以操作为第一3D螺线管电感器的部分；及制造第一导电迹线，其使所述第一对导电互连件彼此耦合。12.根据权利要求11所述的方法，其中在所述第一衬底上制造所述第一对导电互连件包括：在所述第一衬底上沉积第一导电层；在所述第一导电层上沉积第一光致抗蚀剂层；蚀刻所述第一光致抗蚀剂层以图案化所述第一导电层；剥离所述第一光致抗蚀剂层；在所述经图案化的第一导电层上沉积第一互连材料层；在所述沉积的第一互连材料层上沉积第二光致...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·D·金，马里奥·弗朗西斯科·韦莱兹，左诚杰，章汉·霍比·云，金郑海，马修·迈克尔·诺瓦克，
申请(专利权)人：高通股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US