一种MEMS麦克风制造技术

技术编号:13530489 阅读:90 留言:0更新日期:2016-08-15 15:39
本实用新型专利技术涉及电子设备领域,尤其涉及一种MEMS麦克风。一种MEMS麦克风,所述MEMS麦克风包括:第一基板;第二基板,与所述第一基板固定连接,设置于所述第一基板上方,所述第二基板中设有贯穿所述第二基板的声孔;网孔层,贴覆于所述第二基板的上方,所述网孔层上设有多个网孔;传感器,与所述第二基板上的声孔连接,设置于所述第一基板与所述第二基板之间,所述传感器对声音进行识别;以及声音依次通过所述网孔、所述声孔进入所述传感器。

【技术实现步骤摘要】
201521127719

【技术保护点】
一种MEMS麦克风,其特征在于,所述MEMS麦克风包括:第一基板;第二基板,与所述第一基板固定连接,设置于所述第一基板上方,所述第二基板中设有贯穿所述第二基板的声孔;网孔层,贴覆于所述第二基板的上方,所述网孔层上设有多个网孔;传感器,与所述第二基板上的声孔连接,设置于所述第一基板与所述第二基板之间,所述传感器对声音进行识别;以及声音依次通过所述网孔、所述声孔进入所述传感器。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风,其特征在于,所述MEMS麦克风包括:
第一基板;
第二基板,与所述第一基板固定连接,设置于所述第一基板上方,
所述第二基板中设有贯穿所述第二基板的声孔;
网孔层,贴覆于所述第二基板的上方,所述网孔层上设有多个网
孔;
传感器,与所述第二基板上的声孔连接,设置于所述第一基板与
所述第二基板之间,所述传感器对声音进行识别;以及
声音依次通过所述网孔、所述声孔进入所述传感器。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,所述
MEMS麦克风还包括:
立柱;...

【专利技术属性】
技术研发人员:叶菁华
申请(专利权)人:钰太芯微电子科技上海有限公司钰太科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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