一种冷场扫描电镜用多功能样品台制造技术

本实用新型专利技术提供一种冷场扫描电镜用多功能样品台，属于冷场发射电镜用样品台领域。该样品台包括主体、样品槽、长螺钉、黄铜垫片、固定头，其中其中样品通过长螺钉的旋转固定在样品槽内；样品槽内能铺设黄铜垫片。本实用新型专利技术实现了样品台同时承载较多数量的样品，同时对同批次样品的形状，尺寸，形状无统一要求，一次可以放置多个尺寸，形状均不相同的样品，从而提高了实验效率，简化了制样过程。同时亦可用于普通扫描电镜，适用广泛。本样品台既可用于观察非磁性材料，也可以用来观察磁性材料，操作简单方便，安全可靠，有效拓宽了冷场扫描电镜的应用范围。

【技术实现步骤摘要】
201620194696

【技术保护点】
一种冷场扫描电镜用多功能样品台，其特征在于包括：样品台包括主体(1)、样品槽(2)、长螺钉(3)、黄铜垫片(4)、固定头(5)；其中主体(1)上有两个或多个样品槽(2)，样品槽(2)槽壁上有螺孔，螺孔内有能旋转进出的长螺钉(3)；样品通过长螺钉(3)的旋转固定在样品槽(2)内；固定头(5)与样品台底座以螺纹相接；样品槽(2)内能铺设黄铜垫片(4)。

【技术特征摘要】
1.一种冷场扫描电镜用多功能样品台，其特征在于包括：样品
台包括主体(1)、样品槽(2)、长螺钉(3)、黄铜垫片(4)、固定头
(5)；
其中主体(1)上有两个或多个样品槽(2)，样品槽(2)槽壁上
有螺孔，螺孔内有能旋转进出的长螺钉(3)；
样品通过长螺钉(3)的旋转固定在样品槽(2)内；
固定头(5)与样品台底座以螺纹相接；
样品槽(2)内能铺设黄铜垫片(4)。
2.根据权利要求1所述的一种冷场扫描电镜用多功能样品台，
其特征在于：所述样品槽(2)槽壁每隔3-6mm距离设置一个螺孔。
3.根据权利要求1所述的一种冷场扫描电镜用多功能样品台，
其特征在于：所述黄铜垫片(4)宽度为样品槽(2)宽度，黄铜垫片
(4)厚度规格不同，厚度范围大于等于1mm，不同厚度间隔1mm。
...

【专利技术属性】
技术研发人员：程锦，冯根生，杨占兵，宋波，王福明，
申请(专利权)人：北京科技大学，
类型：新型
国别省市：北京;11