一种硅片研磨夹持装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅片研磨夹持装置，其特征在于：所述夹持装置包括下底板、上顶板、左连接块、右连接块、压合装置，压合装置包括中间压板、中心手柄，中心手柄包括丝杆和手柄头，待夹持硅片置于所述中间压板与所述下底板之间，所述上顶板上上顶板顶面设置有与所述上顶板固连的螺母，所述螺母与所述中心手柄上的丝杆配合运动。通过采用上述结构，旋转中心手柄带动与中心手柄相连的中间压板上下运动，从而实现设置在中间压板与下底板之间的待夹持硅片的夹紧或者松开。由于中心手柄与上顶板上的螺母采用丝杆螺母配合，从而在中心手柄旋转的过程中带动中间压板上下运动。

【技术实现步骤摘要】
201610310378

【技术保护点】
一种硅片研磨夹持装置，其特征在于：所述夹持装置包括下底板、位于所述下底板正上方的上顶板、位于所述上底板与所述上顶板之间的左连接块和右连接块、设置在所述上底板与所述上顶板之间的压合装置，所述左连接块和右连接块相对设置且位于下底板侧边上，所述压合装置包括设置在所述上底板与所述上顶板之间且与所述下底板平行的中间压板、与所述中间压板垂直并活动连接的中心手柄，所述中心手柄包括与所述中间压板相连的丝杆和设置在该丝杆远离中间压板的丝杆端部的手柄头，待夹持硅片置于所述中间压板与所述下底板之间，所述上顶板上上顶板顶面设置有与所述上顶板固连的螺母，所述螺母与所述中心手柄上的丝杆配合运动。

【技术特征摘要】
1.一种硅片研磨夹持装置，其特征在于：所述夹持装置包括下底板、位于所述下底板正上方的上顶板、位于所述上底板与所述上顶板之间的左连接块和右连接块、设置在所述上底板与所述上顶板之间的压合装置，所述左连接块和右连接块相对设置且位于下底板侧边上，所述压合装置包括设置在所述上底板与所述上顶板之间且与所述下底板平行的中间压板、与所述中间压板垂直并活动连接的中心手柄，所述中心手柄包括与所述中间压板相连的丝杆和设置在该丝杆远离中间压板的丝杆端部的手柄头，待夹持硅片置于所述中间压板与所述下底板之间，所述上顶板上上顶板顶面设置有与所述上顶板固连的螺母，所述螺母与所述中心手柄上的丝杆配合运动。2.如权利要求1所述一种硅片研磨夹持装置，其特征在于：所述中间压板与所述上顶板之间设置有下端固定在所述中间压板上的导向柱，所述导向柱的中心轴线平行于所述丝杆的中心轴线，该导向柱的上端穿过所述上顶板并超出上顶板顶面。3.如权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉成东，
申请(专利权)人：苏州市展进机电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32