【技术实现步骤摘要】
201610198547
【技术保护点】
一种基于碳化硅衬底的石墨烯场效应晶体管阵列的制备方法,其特征是包括以下步骤:A、在感应加热高温炉中获得表面光滑的SiC衬底,在SiC衬底表面外延生长单层石墨烯;B、通过阴离子聚合制备双嵌段共聚物苯乙烯‑甲基丙烯酸甲酯,转移双嵌段共聚物到单层石墨烯表面作为掩膜,刻蚀双嵌段共聚物,甲基丙烯酸甲酯下方的单层石墨烯被完全刻蚀,剩余苯乙烯下方的单层石墨烯,去除残余的苯乙烯,得到石墨烯纳米带阵列;C、先在石墨烯纳米带表面沉积金属钇薄膜作为缓冲层,再在金属钇薄膜表面生长氧化铪薄膜作为栅氧介质层,得到氧化铪薄膜/金属钇/石墨烯纳米带/碳化硅结构;D、在氧化铪薄膜/金属钇/石墨烯纳米带/碳化硅的表面均匀旋涂光刻胶,将掩膜版上图形转移到光刻胶上,采用电子束曝光形成Ti/Au电极作为漏、源、栅电极,得到石墨烯场效应管阵列。
【技术特征摘要】
1.一种基于碳化硅衬底的石墨烯场效应晶体管阵列的制备方法,其特征是包括以下步骤:A、在感应加热高温炉中获得表面光滑的SiC衬底,在SiC衬底表面外延生长单层石墨烯;B、通过阴离子聚合制备双嵌段共聚物苯乙烯-甲基丙烯酸甲酯,转移双嵌段共聚物到单层石墨烯表面作为掩膜,刻蚀双嵌段共聚物,甲基丙烯酸甲酯下方的单层石墨烯被完全刻蚀,剩余苯乙烯下方的单层石墨烯,去除残余的苯乙烯,得到石墨烯纳米带阵列;C、先在石墨烯纳米带表面沉积金属钇薄膜作为缓冲层,再在金属钇薄膜表面生长氧化铪薄膜作为栅氧介质层,得到氧化铪薄膜/金属钇/石墨烯纳米带/碳化硅结构;D、在氧化铪薄膜/金属钇/石墨烯纳米带/碳化硅的表面均匀旋涂光刻胶,将掩膜版上图形转移到光刻胶上,采用电子束曝光形成Ti/Au电极作为漏、源、栅电极,得到石墨烯场效应管阵列。2.根据权利要求1所述基于碳化硅衬底的石墨烯场效应晶体管阵列的制备方法,其特征是:步骤B中,双嵌段共聚物苯乙烯-甲基丙烯酸甲酯的制备方法是:在250mL四氢呋喃溶液中用4mL、0.5mol/L的正丁基锂引发苯乙烯聚合,在-78℃条件下滴加苯乙烯单体40mL,继续反应1h后加入二苯基乙烯,再滴加甲基丙烯酸甲酯单体30mL反应1h,最后把反应后的溶液倒入乙醇中沉出,再过滤,烘干,分别...
【专利技术属性】
技术研发人员:王权,董金耀,张伟,柳国民,田飞,
申请(专利权)人:江苏大学,
类型:发明
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。