本实用新型专利技术公开了一种定位装置，其用于承接并定位玻璃基板，其设有用于收容所述玻璃基板的收容槽。本实用新型专利技术实施例提供定位装置的上表面具有收容槽，使得收容于收容槽内的玻璃基板不会因为定位装置的加速或减速而使玻璃基板相对于定位装置发生漂移，因此，玻璃基板能够良好的定位于定位装置上，避免由于玻璃基板相对定位装置发生漂移而造成玻璃基板破碎等问题。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及面板制造领域，尤其涉及一种用于承载并定位玻璃基板的定位装置。
技术介绍
近年来，随着高分辨率智能手机的盛行以及智能手机屏幕平均尺寸的持续增大，基于低温多晶娃(Low Temperature Po Iy-Si I icon，LTPS)技术的面板需求将持续走高。在上述面板制造过程中，当需要在硬化退回炉设备内对玻璃基板进行快速热退火(RapidThermal Annealing，RTA)工艺时，该工艺的主要作用为使玻璃基板的内部组织达到或接近平衡状态，进而获得良好的工艺性能和使用性能。在进行RTA工艺过程中，现有技术的一种实现方式为将玻璃基板放置于由石英材料制成的基板载台上，基板载台则放置于一个传送装置上，玻璃基板在传送装置的带动下经过硬化退火炉内各个处理区来进行RTA工艺。然而，在玻璃基板的传送过程中，承接玻璃基板的基板载台可能有加速和减速的过程，同时由于玻璃基板与基板载台之间的相对摩擦力有可能小于玻璃基板自身惯性力，这就导致玻璃基板会在基板载台上发生漂移，造成玻璃基板碎片等异常情况。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述问题，提供一种能够保证玻璃基板在传送过程中能够被良好定位的定位装置。为实现上述目的，本技术提供了一种定位装置，其用于承接并定位玻璃基板，其设有用于收容所述玻璃基板的收容槽。进一步的，所述收容槽具有圆弧形的底面。进一步的，所述收容槽的长度大于所述玻璃基板的长度。进一步的，所述收容槽的宽度大于所述玻璃基板的宽度。进一步的，所述收容槽的深度由其四周区域向中间区域逐渐变大。进一步的，所述收容槽的最大深度为2至3毫米。进一步的，所述收容槽的最大深度位于收容槽的中间区域。进一步的，所述定位装置位于硬化退火炉内的传送装置上。与现有技术相比，本技术实施例提供定位装置的上表面具有收容槽，使得收容于收容槽内的玻璃基板不会因为定位装置的加速或减速而使玻璃基板相对于定位装置发生漂移，因此，玻璃基板能够良好的定位于定位装置上，避免由于玻璃基板相对定位装置发生漂移而造成玻璃基板破碎等问题。【附图说明】此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中:图1为本技术优选实施例提供的用于承载并定位玻璃基板的定位装置的立体视图；图2为图1所示的定位装置与玻璃基板配合的截面示意图。【具体实施方式】为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术具体实施例及相应的附图对本技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1及图2所示，本技术较佳实施例提供了一种应用于硬化退火炉(未图示)内的定位装置I，该定位装置I用于定位需要进行快速热退火工艺的玻璃基板3。需要说明的，硬化退火炉内具有可以传送定位装置I的循环式传送装置(未图示)，传送装置可以对定位装置I及玻璃基板3进行连续传送处理，即在线式(in-line)处理。具体的，该传送装置可以为一导轨结构。在本技术较佳实施例中，上述定位装置I即为承载玻璃基板3的基板载台。定位装置I具有一个长度方向及一个宽度方向。当玻璃基板3需要进行快速热退火工艺时，玻璃基板3可以放置于定位装置I上，且传送装置的传送方向可以为定位装置I的宽度方向或长度方向一致。在传送装置的带动下，玻璃基板3随定位装置I一同进入硬化退火炉内进行传送且同时加热，当完成快速热退火后，玻璃基板3连同定位装置I被传送出硬化退货炉。具体地，如图1所示，定位装置I大致呈矩形平板状，其由石英材料制成。定位装置I的上表面上设有用于收容所述玻璃基板3的收容槽11，该收容槽11由上述定位装置I的上表面10向下凹陷形成。该收容槽11的底面111呈圆弧形，因此，收容槽11的深度由其四周区域向中间区域逐渐变大，即中间区域较四周区域深，收容槽11的中心区域有一个最大深度，且最大深度值为2至3毫米。当然，上述最大深度值不会超过定位装置I的厚度。显然，由于收容槽11的存在，定位装置I的中间区域比四周区域薄，使得定位装置I中间区域的散热效果较定位装置I四周区域的散热效果好。另外，需要说明的是，收容槽11的长度大于玻璃基板3的长度，且收容槽11的宽度大于玻璃基板3的宽度，因此，玻璃基板3能够整体收容于收容槽11内，使得玻璃基板3与定位装置I之间的摩擦力增大，以使玻璃基板3定位于定位装置I上。如此，玻璃基板3与定位装置I在移动过程中，玻璃基板3不会因为定位装置I的加速或减速而使玻璃基板3在定位装置I上发生漂移，避免出现玻璃基板3破碎等其它问题。综上所述，由于定位装置I的上表面具有收容槽11，使得收容于收容槽11内的玻璃基板3不会因为定位装置I的加速或减速而使玻璃基板3相对于定位装置I发生漂移，因此，玻璃基板3能够良好的定位于定位装置I上，避免由于玻璃基板相对定位装置发生漂移造成玻璃基板破碎等问题。以上所述的具体实例，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的具体实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。【主权项】1.一种定位装置，其用于承接并定位玻璃基板，其特征在于:其设有用于收容所述玻璃基板的收容槽，所述收容槽具有圆弧形的底面，所述收容槽的深度由其四周区域向中间区域逐渐变大。2.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述收容槽的长度大于所述玻璃基板的长度。3.如权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述收容槽的宽度大于所述玻璃基板的宽度。4.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述收容槽的最大深度为2至3毫米。5.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述收容槽的最大深度位于收容槽的中间区域。6.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述定位装置位于硬化退火炉内的传送装置上。【专利摘要】本技术公开了一种定位装置，其用于承接并定位玻璃基板，其设有用于收容所述玻璃基板的收容槽。本技术实施例提供定位装置的上表面具有收容槽，使得收容于收容槽内的玻璃基板不会因为定位装置的加速或减速而使玻璃基板相对于定位装置发生漂移，因此，玻璃基板能够良好的定位于定位装置上，避免由于玻璃基板相对定位装置发生漂移而造成玻璃基板破碎等问题。【IPC分类】H01L21/68, H01L21/677【公开号】CN205335238【申请号】CN201520996914【专利技术人】王鹏飞 【申请人】昆山国显光电有限公司【公开日】2016年6月22日【申请日】2015年12月3日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种定位装置，其用于承接并定位玻璃基板，其特征在于：其设有用于收容所述玻璃基板的收容槽，所述收容槽具有圆弧形的底面，所述收容槽的深度由其四周区域向中间区域逐渐变大。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏飞，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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