一种多能量离子束在钢衬底上沉积非晶金刚石厚膜的方法技术

技术编号：13397771 阅读：66 留言：0更新日期：2016-07-23 18:45

使用多能量离子束在钢衬底上沉积厚度20μm以上非晶金刚石膜的方法，属于硬质耐磨涂层制备领域。本发明专利技术的目的是使用磁过滤阴极孤沉积技术，通过在靶上加脉冲负偏压得到多能量的混合离子束，降低薄膜内应力，在低温下，在钢衬底制备出具有高硬度、低摩擦系数、极好的抗磨损性能、20μm以上的非晶金刚石厚膜。具体涉及：钢衬底，低温，磁过滤阴极弧沉积技术，多能量离子束，大体积靶和无金属过渡层。本发明专利技术所使用的磁过滤阴极弧沉积设备是拥有自主知识产权的，设备操作简单，制备出的非晶金刚石厚膜适合所有刀具轴承等工业零件中高硬耐磨涂层沉积应用。