【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于从硅晶片生产太阳能电池的方法，该方法包括用蚀刻气体蚀刻该晶片的步骤，其中对该晶片的表面进行蚀刻以使该表面粗糙，该蚀刻气体由F2与以下组分的混合物组成：氮、氦和/或氩。
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。