氮化镓基板以及功能元件制造技术

技术编号:13396656 阅读:7 留言:0更新日期:2016-07-23 16:35
在氮化镓基板的表面3a对与氮化镓基板的带隙相对应的波长的阴极发光峰强度进行测定时,0.1mm×0.1mm的测定视野中的阴极发光峰强度的最大值为阴极发光峰强度的平均值的140%以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种氮化镓基板,其特征在于,在氮化镓基板的表面对与氮化镓的带隙相对应的波长的阴极发光峰强度进行测定时,0.1mm×0.1mm的测定视野中的所述阴极发光峰强度的最大值为所述阴极发光峰强度的平均值的140%以上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:岩井真坂井正宏今井克宏仓冈义孝
申请(专利权)人:日本碍子株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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