一种TiAlN/MoN多层膜复合涂层及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种具有高硬度和优良抗氧化性能以及自润滑性的并且涂层与基体之间表现出良好的结合强度的TiAlN/MoN多层膜复合涂层，所述的TiAlN/MoN多层膜复合涂层由下至上依次为金属结合层、过渡层以及复合多层，其中金属结合层沉积在基体上，金属结合层为TiAl或Mo，所述过渡层为TiAlN或MoN，所述复合多层为TiAlN和MoN交替沉积，其中单层TiAlN的厚度为5～50纳米，单层MoN的厚度为5～50纳米，复合多层的总厚度为1～12微米。本发明专利技术还提供了上述TiAlN/MoN多层膜复合涂层的制备方法，其工艺简单、设备常规、生产成本低。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种TiAlN/MoN多层膜复合涂层，沉积于基体上，其特征在于：所述的TiAlN/MoN多层膜复合涂层由下至上依次为金属结合层、过渡层以及复合多层，其中金属结合层沉积在基体上，金属结合层为TiAl或Mo，其厚度为50～100纳米，所述过渡层为TiAlN或MoN，其厚度为50～500纳米，所述复合多层为TiAlN和MoN交替沉积，其中单层TiAlN的厚度为5～50纳米，单层TiAlN中Al元素的原子百分数为30％～66％，单层MoN的厚度为5～50纳米，复合多层的总厚度为1～12微米。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周溯源，韩滨，付德君，
申请(专利权)人：武汉大学苏州研究院，
类型：发明
国别省市：江苏;32