一种用于微波芯片共晶加压的装置及加压方法制造方法及图纸

技术编号:13387968 阅读:143 留言:0更新日期:2016-07-22 04:45
本发明专利技术涉及微波芯片共晶技术,本发明专利技术公开了一种用于微波芯片共晶加压的装置,具体包括基板限位器、芯片限位器和点接触压块,芯片限位器上设置芯片限位孔,所述芯片限位孔的尺寸与芯片的尺寸相匹配,用作芯片的限位;芯片的下表面通过焊片与基板的上表面相接触;所述点接触压块的底板上设置微支撑柱,微支撑柱的数量小于或者等于芯片上表面的焊盘数量,微支撑柱的位置与芯片上表面的焊盘位置镜像对称,点接触压块上的微支撑柱与芯片上表面的焊盘相接触。芯片与基板共晶时,点接触压块上只有微支撑柱与芯片表面的焊盘相接触,避免了微波芯片表面“空气桥”等特殊结构的损伤。本发明专利技术还公开了一种微波芯片共晶加压方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于微波芯片共晶加压的装置,其特征在于具体包括基板限位器、芯片限位器和点接触压块,所述基板限位器内部设置基板限位槽和芯片限位器限位槽,基板限位槽的边缘与微波芯片的基板边缘相接触,芯片限位器限位槽的边缘与芯片限位器的边缘相接触,芯片限位器上设置芯片限位孔,所述芯片限位孔的尺寸与芯片的尺寸相匹配,用作芯片的限位;所述芯片的下表面通过焊片与基板的上表面相接触;所述点接触压块的底板上设置微支撑柱,微支撑柱的数量小于或者等于芯片上表面的焊盘数量,微支撑柱的位置与芯片上表面的焊盘位置镜像对称,点接触压块上的微支撑柱与芯片上表面的焊盘相接触。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王辉庞婷
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第二十九研究所
类型:发明
国别省市:四川;51

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