【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480044108
【技术保护点】
一种用于干膜抗蚀剂的光敏树脂组合物,该光敏树脂组合物包括:光聚合引发剂;碱性显像粘合剂聚合物;以及光聚合化合物,其中,该光聚合化合物包含由下列化学式1所示的化合物,该碱性显像粘合剂聚合物与该光聚合化合物的重量比为1:0.1‑1,其中,l+n是2或3的整数,m是12‑18的整数。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.08.07 KR 10-2013-00935841.一种用于干膜抗蚀剂的光敏树脂组合物,该光敏树脂组合物包括:光聚合引发剂;碱
性显像粘合剂聚合物;以及光聚合化合物,其中,该光聚合化合物包含由下列化学式1所示
的化合物,该碱性显像粘合剂聚合物与该光聚合化合物的重量比为1:0.1-1,
其中,l+n是2或3的整数,m是12-18的...
【专利技术属性】
技术研发人员:奉东勋,崔钟昱,
申请(专利权)人:可隆工业株式会社,
类型:发明
国别省市:韩国;KR
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