【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
石英玻璃微缺陷检测方法，其特征在于，包括如下步骤：将石英玻璃样品两通光面进行精密抛光；将已抛光好的石英玻璃样品用酸溶液进行腐蚀；石英玻璃样品腐蚀0.5～2小时取出并用去离子水清洗干净，利用显微镜观察检测石英玻璃样品；按上述步骤对石英玻璃样品重复腐蚀和观察，直至观察到石英玻璃样品中的缺陷或至石英玻璃样品的厚度剩余20‑30μm仍未观察到缺陷。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：聂兰舰，向在奎，杜秀蓉，张晓强，王蕾，王慧，刘飞翔，贾亚男，符博，
申请(专利权)人：中国建筑材料科学研究总院，
类型：发明
国别省市：北京;11
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