一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板制造技术

一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板，包括电极加工部件，电极加工部件由共用电极加工板和可拆卸固定于其上的功能电极加工板构成，共用电极加工板上有至少一个加工共用电极的共用电极孔，功能电极加工板上与所述每个共用电极孔对应的区域处开有至少两个加工功能电极的功能电极孔；所述共用电极加工板和功能电极加工板之间设置有芯片固定板，芯片固定板上开有芯片固定通孔，可将芯片固定于两个电极加工板之间，并覆盖每个共用电极孔；功能电极加工板上部还设置有可遮挡部分功能电极孔的遮挡部件。该模板可通过离子刻蚀方法一次性在石英晶片上加工不同深度的反台面结构，制作多通道石英晶体微天平芯片。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板，属于石英晶体微天平的微加工领域。
技术介绍
石英晶体微天平(QuartzCrystalMicrobanlance，QCM)是一种声波厚度剪切模式传感器，由一块具有压电效应的石英晶体片和成对的电极组成。根据外部物理载荷的特点，QCM分为重量载荷和粘弹性载荷两类。重量载荷是沉积在电极表面的附着物，其引起QCM谐振频率变化，主要应用在物理蒸发沉积过程的厚度监测；粘弹性载荷是QCM处于粘弹性介质环境中产生的载荷，液体的粘度和密度导致谐振频率变化，其主要应用于生物和化学传感。QCM在传感领域具有高灵敏度、高稳定性、低成本、快速响应和免标记检测等特点，应用还包括：电化学、分析化学和免疫分析、病毒检测、蛋白质互相作用监测等多个领域。单个QCM面临的主要技术缺陷为测量参数受环境变量如温度、粘度、传导率影响较大，AT石英具有较低的温度系数，其应用虽然能减弱温度的影响，但温度和其他影响因素仍不能消除。多通道石英晶体微天平(MultichannelQuartzCrystalMicrobanlance，MQCM)是在一块石英晶体上阵列多个QCM，选用一个QCM通道作为参照，放置于其他通道相同的环境变量中，其测量的频率变化即为环境引起，再通过作差的方法消除环境变量的影响。另外，还可通过在MQCM不同通道上修饰不同的传感层，实现多成分分析。此外，MQCM还具有匹配性好、集成化程度高、成本低、样品需求少的优势，提供了一个高稳定性、多功能的传感器平台。然而，在MQCM系统中，单个QCM诱导的声波沿石英晶片侧向传播一定距离，如果另一个QCM位于此声场附近，声波干涉便形成，只有当相邻QCM间距足够大时，干扰问题才能消除。因此，MQCM技术面临着声波干扰问题，其不仅影响其性能和测量结果的准确性，而且约束其小型化。通过在电极区域加工凹孔形成反台面结构是一种减小MQCM中相邻QCM干扰的方法。根据QCM固有谐振频率反比于电极区域晶片厚度，反台面结构凹孔的加工使得反台面结构使得电极区域谐振频率大于非电极区域谐振频率，从而加大电极区域和非电极区域的固有谐振频率的差异，厚度剪切声波的能量更好的限制在电极区域、减小向相邻QCM传播的能量，最终有效的减小MQCM的声波干扰。带有反台面结构的QCM的加工方法分为两类：传统的化学刻蚀方法和离子刻蚀方法。传统的化学刻蚀方法是利用氢氟酸能与石英晶体反应，而光刻胶或部分金属膜不与氢氟酸发生反应的原理加工反台面结构。即首先在晶体表面涂覆不与氢氟酸发生反应的光刻胶或金属膜，然后通过曝光、显影方法去除电极区域对应的光刻胶、金属膜，暴露出其下的晶片，再将晶片直接与含刻蚀剂HF、缓冲剂NH4F的溶液反应。没有光刻胶或金属膜保护的电极区域与刻蚀剂反应，其他部分不与刻蚀液反应，即形成具有一定深度的凹孔。加工MQCM时则是通过反复上述的操作，加工出多个反台面结构，最后镀电极形成MQCM芯片。通过化学刻蚀方法制作MQCM存在以下缺点：1)工序复杂；2)HF毒性大，操作危险；3)由于HF与接触的石英晶片都会反应，导致得到的凹孔尺寸不规则；4)涂布光刻胶、金属膜容易引起晶片污染。离子刻蚀的方法是指将Ar、Kr或Xe之类的惰性气体或可与芯片材料反应的HF气体电离形成离子，射向晶片表面，产生碰撞，使原子抛离晶体表面，便形成反台面结构，再镀电极形成QCM芯片。但目前这种方法主要用于制作单个反台面结构QCM，并未推广到MQCM的制作。
技术实现思路
本技术的专利技术目的是提供一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板。该模板不仅可以通过离子刻蚀方法一次性在石英晶片上加工多个不同深度的反台面结构，还可同时在石英晶片上镀电极，制作多通道石英晶体微天平芯片，节约了制作成本、提高了制作效率。本技术实现其专利技术目的所采取的技术方案是：一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板，包括电极加工部件，其结构特点是：所述电极加工部件由位于下部的共用电极加工板和通过可拆卸方式固定于共用电极加工板上部的功能电极加工板构成，所述共用电极加工板上有至少一个用于加工共用电极的共用电极孔，功能电极加工板上与所述每个共用电极孔对应的区域处开有至少两个用于加工功能电极的功能电极孔；所述共用电极加工板和功能电极加工板之间设置有芯片固定板，所述芯片固定板上开有固定芯片的芯片固定通孔，可将芯片固定于共用电极加工板和功能电极加工板之间，并覆盖每个共用电极孔；所述功能电极加工板的上部还设置有可遮挡部分功能电极孔的遮挡部件，用于加工反台面结构。本技术的工作过程是：将芯片固定板置于共用电极加工板上表面，使芯片固定通孔与共用电极加工孔对准，将芯片一一置入芯片固定通孔中，然后将功能电极加工板固定于共用电极加工板上部，整体置于真空腔中进行离子刻蚀，在芯片加工功能电极的区域加工凹孔形成反台面结构。在离子刻蚀过程中，还可通过机械手之类的自动装置控制遮挡部件遮挡部分功能电极孔继续刻蚀，从而可加工出不同深度的反台面结构。然后分别加工功能电极的区域和加工共用电极的区域镀电极，形成功能电极和共用电极，即完成多通道石英晶体微天平的制作。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术配合物理的离子刻蚀方法可以一次性在石英晶片上加工多个不同深度的反台面结构，制作多通道石英晶体微天平。相比于化学刻蚀方法，本技术避免了操作过程中接触毒性大的化学物质和晶片污染，且制作的台面形状规则，工艺简单。本技术中采用芯片固定板，可根据芯片厚度不同选择不同厚度规格的芯片固定板，同一个制作模板可配合多种厚度规格的芯片固定板加工多种厚度的芯片，降低了制作成本。而且，本技术在完成刻蚀之后不须拆卸可直接镀电极，节约了制作成本，提高了制作效率，有利于大量的工业化应用。进一步，本技术所述共用电极加工板和功能电极加工板之间通过可拆卸方式固定的具体方式是：共用电极加工板和功能电极加工板的边缘对应位置处设置有磁性材料，共用电极加工板和功能电极加工板通过磁性吸引力结合固定。这样，通过简单的方式完成了共用电极加工板和功能电极加工板的快速可拆卸固定，提高了多通道石英晶体微天平的制作效率。更进一步，本技术所述芯片固定板的面积小于共用电极加工板上表面和功能电极加工板下表面的面积，所述共用电极加工板和功能电极加工板的边缘对应位置处设置的磁性材料的布置方式是：共用电极加工板边缘的上表面未被芯片固定板覆盖的部分设置有磁性凸起，功能电极加工板的下表面对应位置处设置有与所述磁性凸起配合的磁性凹槽。或者，所述共用电极加工板和功能电极加工板的边缘对应位置处设置的磁性材料的布置方式是：功能电极加工板边缘的下表面未被芯片固定板覆盖的部分设置有磁性凸起，共用电极加工板的上表面对应位置处设置有与所述磁性凸起配合的磁性凹槽。这样的磁性材料的布置方式，有助于共用电极加工板和功能电极加工板的稳定、快速可拆卸固定，提高了多通道石英晶体微天平的制作效率。更进一步，本技术所述共用电极加工板、功能电极加工板和芯片固定板上还设置有对准装置，用于共用电极加工板和功能电极加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板，包括电极加工部件，其特征在于：所述电极加工部件由位于下部的共用电极加工板(10)和通过可拆卸方式固定于共用电极加工板(10)上部的功能电极加工板(20)构成，所述共用电极加工板(10)上有至少一个用于加工共用电极的共用电极孔(11)，功能电极加工板(20)上与所述每个共用电极孔(11)对应的区域处开有至少两个用于加工功能电极的功能电极孔(21)；所述共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)之间设置有芯片固定板(30)，所述芯片固定板(30)上开有固定芯片的芯片固定通孔(31)，可将芯片固定于共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)之间，并覆盖每个共用电极孔(11)；所述功能电极加工板(20)的上部还设置有可遮挡部分功能电极孔(21)的遮挡部件。

【技术特征摘要】
1.一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板，包括电极加工部件，其特征在于：所述电极
加工部件由位于下部的共用电极加工板(10)和通过可拆卸方式固定于共用电极加工板(10)上部
的功能电极加工板(20)构成，所述共用电极加工板(10)上有至少一个用于加工共用电极的共用
电极孔(11)，功能电极加工板(20)上与所述每个共用电极孔(11)对应的区域处开有至少两个用
于加工功能电极的功能电极孔(21)；所述共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)之间设
置有芯片固定板(30)，所述芯片固定板(30)上开有固定芯片的芯片固定通孔(31)，可将芯片固
定于共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)之间，并覆盖每个共用电极孔(11)；所述功
能电极加工板(20)的上部还设置有可遮挡部分功能电极孔(21)的遮挡部件。
2.根据权利要求1所述的一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板，其特征在于：所述共
用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)之间通过可拆卸方式固定的具体方式是：共用电极加
工板(10)和功能电极加工板(20)的边缘对应位置处设置有磁性材料，共用电极加工板(10)和
功能电极加工板(20)通过磁性吸引力结合固定。
3.根据权利要求2所述的一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板，其特征在于：所述芯
片固定板(30)的面积小于共用电极加工板(10)上表面和功能电极加工板(20)下表面的面积，
所述共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)的边缘对应位置处设置的磁性材料的布置方式
是：共用电极加工板(10)边缘的上表面未被芯片固定板(30)覆盖的部分设置有磁性凸起(41)，
功能电极加工板(20)的下表面对应位置处设置有与所述磁性凸起(41)配合的磁性凹槽(42)。
4.根据权利要求2或3任一所述的一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板，其特征在于：
所述共用电极加工板(10)、功能电极加工板(20)和芯片固定板(30)上还设置有对准装置，用
于共用电极加工板(10)和功能电极加工板(20)通过磁性吸引力结合时，共用电极孔(11)、芯
片固定通孔(31)和功能电极孔(21)位置对准。
5.根据权利要求4所述的一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板，其特征在于：所述对
准装置的具体结构是：所述共用电极加工板(10)的上表面设置有至少一个对准凸起(51)，芯片
固定板(30)的对应位置处开有尺寸与所述对准凸起(51)外周一致、恰好可使对准凸起(51)穿
过的对准通孔(53)，所述功能电极加工板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：永远，黄小霞，陈大志，谢小川，
申请(专利权)人：成都柏森松传感技术有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51