基板破片检测装置和基板加工设备制造方法及图纸

技术编号:13302266 阅读:107 留言:0更新日期:2016-07-09 19:33
本发明专利技术提供一种基板破片检测装置,包括检测单元和输出元件,所述检测单元置于所述基板下方,所述检测单元包括光发射器及与所述光发射器相匹配的光接收器,所述输出元件与所述光接收器连接,用以输出检测结果。本发明专利技术中利用光的直线传播原理,检测基板是否破片,并通过输出元件输出检测结果,实现了对基板破片异常的检测,提高了基板的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
201610132476

【技术保护点】
一种基板破片检测装置,其特征在于,包括检测单元和输出元件,所述检测单元置于所述基板下方,所述检测单元包括光发射器及与所述光发射器相匹配的光接收器,所述输出元件与所述光接收器连接,用以输出检测结果;所述基板破片检测装置工作过程中,所述光发射器发出光线,若所述基板完好,则光线传播过程中没有阻挡,光接收器接收到光线;若所述基板破片并下坠,则光线被所述基板下坠部分折射,使得所述光接收器接收不到光线;所述输出元件根据光接收器接收光线情况,输出相应检测结果。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李任鹏何恭育
申请(专利权)人:武汉华星光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:湖北;42

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