一种光热放大光谱检测装置及检测方法，检测装置主要包括泵浦激光器、检测激光器、检测腔体、针孔光强探测器以及信号调制、放大、采集分析等装置。检测时将泵浦光照射到待测薄膜上，待测薄膜吸收泵浦光产生热量，其表面吸热形成凸起；检测光在待测薄膜的凸起处反射时被扩束，使用针孔光强探测器探测反射光的光强；本发明专利技术检测装置在检测腔体内加入两个反射镜，两个反射镜与反射型的待测薄膜组成三角形的光学环路，检测光经过反射在光学环路中循环，反复在待测薄膜的凸起位置反射扩束放大，增大检测腔体出射光的光密度变化，提高了光热放大光谱检测的灵敏度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光谱检测
，具体涉及一种光热放大光谱检测装置，特别适用于反射型光学薄膜检测。本专利技术还涉及光热放大光谱检测方法。
技术介绍
光学薄膜是光学系统中不可或缺的基本元件，它的性能影响着整个光学系统的性能，它的很大一部分损伤来自于薄膜吸收，因此研究光学薄膜吸收损耗，对薄膜损伤机理的研究非常重要。目前，激光量热技术和表面热透镜技术（光热放大技术）等光热技术已成功应用于光学薄膜微弱吸收测量领域。现有的光热放大光谱检测技术通常将一束可由待测薄膜吸收的泵浦光照射到待测薄膜上，待测薄膜吸收泵浦光产生热量，其表面由于吸热而隆起一个高度，形成凸起；再将一束检测光通过入射至该待测薄膜上的凸起处，检测光反射后被扩束，使反射光的光密度下降，探测反射光的光强变化来获得待测薄膜损伤程度的检测结果。通常的光热放大光谱检测装置由泵浦光源、检测光源、检测腔体、光强探测器等构成，待测薄膜放置在检测腔体中，泵浦光源发出泵浦光照射待测薄膜，检测光源发出的检测光自待测薄膜反射后由光强探测器检测光强；检测装置一般还包括采集分析检测信号的A/D转换模块和电脑主机以及为提高检测灵敏度的信号调制、放大等辅助装置。现有的通过光热放大检测薄膜的技术还存在检测灵敏度不够高的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种具有更高灵敏度的光热放大光谱检测装置及检测方法。本专利技术检测装置的技术方案为：一种光热放大光谱检测装置，包括泵浦激光器、检测激光器、检测腔体、针孔光强探测器、放大器模块、A/D转换模块和电脑主机；其中：所述检测腔体中设置有样品台，待测薄膜放置于所述样品台上；所述泵浦激光器发射待测薄膜可吸收的泵浦光，所述检测激光器发射待测薄膜不可吸收的检测光；所述泵浦光耦合入检测腔体内并照射在所述待测薄膜上；所述针孔光强探测器设置在检测腔体的出射光路中，与所述放大器模块连接；放大器模块通过所述A/D转换模块与电脑主机连接；所述检测腔体中包含第一反射镜和第二反射镜，二反射镜对所述检测光部分透射部分反射，二反射镜布置于样品台上方两侧，设置二反射镜与待测薄膜表面组成反射环路；所述检测光由前反射镜入射检测腔体后在所述环路中循环反射，检测腔体内的光束透射第二反射镜出射。优选地，作为对所述检测光部分透射部分反射的反射镜，所述第一反射镜和第二反射镜对检测光的反射率限制在大于10%且小于100%的范围。优选地，所述检测光的光功率大于1mW，为避免通过透射第一反射镜耦合入检测腔体内的检测光太弱而无法检测到信号。优选地，所述检测腔体内还设置有聚焦透镜，泵浦光通过聚焦透镜耦合入检测腔体内。优选地，所述第二反射镜和针孔光强探测器之间设置滤光片，所述滤光片对泵浦光吸收，对检测光高透。通过滤光片滤除泵浦光，使针孔光强探测器仅探测到检测腔体出射光中的检测光部分。优选地，所述检测装置还包括用于归一化信号的分束器和光强探测器，以消除由于泵浦光功率波动而引起的测量误差；所述分束器设置于泵浦光光路中，分束器的分束光路中设置所述光强探测器，光强探测器通过所述A/D转换模块与电脑主机连接。优选地，所述检测装置还包括设置于泵浦光光路中的斩波器，所述斩波器位于检测腔体前端；所述放大器模块由前置放大器和锁相放大器组成，所述针孔光强探测器通过所述前置放大器连接所述锁相放大器被测信号端，锁相放大器参考信号端连接斩波器，锁相放大器输出端通过A/D转换模块连接电脑主机。本专利技术检测方法的技术方案为：一种光热放大光谱检测方法，包括步骤为：将一束可由待测薄膜吸收的泵浦光照射到待测薄膜上，待测薄膜吸收泵浦光后表面形成凸起；将一束不可由待测薄膜吸收的检测光入射至待测薄膜表面凸起位置，控制检测光使其在包括待测薄膜表面凸起的反射环路中循环反射；探测出射的检测光的光强变化并采集检测数据。本专利技术技术方案适用于反射型光学薄膜的缺陷检测。本专利技术检测装置在检测腔体内的检测光路中加入两个反射镜，两个反射镜与反射型的待测薄膜组成三角形的光学反射环路，检测光入射待测薄膜后，发生反射的检测光在三个反射位置之间循环，检测过反复入射待测薄膜凸起位置发生反射扩束放大，增大检测腔体出射光的光密度变化，光热放大光谱检测灵敏度也随之提高。附图说明图1为光热放大光谱检测装置结构示意图；图2为本专利技术检测装置的检测腔体结构及工作原理示意图；图3为针孔光强探测器工作示意图，图3a中检测光束未放大；图3b中检测光束经待测薄膜反射放大一次；图3c中检测光束多次经待测薄膜反射放大。其中：1：泵浦激光器；2：分束器；3：光强探测器；4：电脑主机；5：A/D转换模块；6：斩波器；7：检测腔体；7-1：聚焦透镜；7-2：样品台；7-3：第一反射镜；7-4：第二反射镜；8：检测激光器；9：针孔光强探测器；9-1：针孔；9-2：光强探测组件；10：放大器模块；10-1：前置放大器；10-2：锁相放大器；11：待测薄膜；B1：泵浦光；B2：分束光；D1：检测光；L1、L2、L3、L4、L5、L2′、L5′：光束。具体实施方式以下结合附图通过实施例对本专利技术做进一步说明，以便更好地理解本专利技术。本专利技术光热放大光谱检测装置的结构如图1和图2所示。本专利技术检测装置包括泵浦激光器1、检测激光器8、检测腔体7、针孔光强探测器9、分束器2、光强探测器3、斩波器6、放大器模块10、A/D转换模块5和电脑主机4，放大器模块10由前置放大器10-1和锁相放大器10-2组成；图2所示为图1中检测腔体7的具体结构，检测腔体7内设置有聚焦透镜7-1、样品台7-2、第一反射镜7-3和第二反射镜7-4；针孔光强探测器9和第二反射镜7-4之间的光路中还设置有滤光片（图中未示出）；所述检测装置的具体结构与工作方式如下：泵浦激光器1发射激光束作为泵浦光B1，当检测腔体7内的待测薄膜11对泵浦光B1的吸收越强或者泵浦光B1的光强越强，所产生的光热放大信号就越强，检测灵敏度也就越高。本专利技术实施方式对使用的泵浦激光器类型没有特定限制，可以选择固体激光器、气体激光器或者半导体激光器，可以选择连续激光器或者脉冲激光器，可以选择可调谐激光器或者单一波长的激光器，只要检测腔体7内的待测薄膜11能对泵浦激光产生吸收即可；检测激光器8发射激光束作为检测光D1，选择检测光D1波长使其不被检测腔体7内的待测薄膜11吸收；对检测激光器8的类型没有特定限制，可以选择固体激光器、气体激光器或者半导体激光器，可以选择连续激光器或者脉冲激光器，可以选择可调谐激光器或者单一波长的激光器；泵浦激光器1发射的泵浦光B1首先通过分束器2，分束器2作用是从泵浦光B1中分束出一小部分功率的光形成分束光B2；分束光B2入射到光强探测器3中作为归一化信号，以消除由于泵浦光B1功率波动而引起的测量误差；光强探测器3将接收到的归一化信号通过A/D转换模块5输入到电脑主机4中；泵浦光B1透过分束器2后入射至斩波器6，斩波器6通过斩波给泵浦光B1一个周期性调制信号，斩本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光热放大光谱检测装置，包括泵浦激光器(1)、检测激光器(8)、检测腔体(7)、针孔光强探测器(9)、放大器模块(10)、A/D转换模块(5)和电脑主机(4)；其中：所述检测腔体(7)中设置有样品台(7‑2)，待测薄膜(11)放置于所述样品台(7‑2)上；所述泵浦激光器(1)发射待测薄膜(11)可吸收的泵浦光(B1)，所述检测激光器(8)发射待测薄膜(11)不可吸收的检测光(D1)；所述泵浦光(B1)耦合入检测腔体(7)内并照射在所述待测薄膜(11)上；所述针孔光强探测器(9)设置在检测腔体(7)的出射光路中，与所述放大器模块(10)连接；放大器模块(10)通过所述A/D转换模块(5)与电脑主机(4)连接，其特征在于：所述检测腔体(7)中包含第一反射镜(7‑3)和第二反射镜(7‑4)，二反射镜对所述检测光(D1)部分透射部分反射，二反射镜布置于样品台(7‑2)上方两侧，设置二反射镜与待测薄膜(11)表面组成反射环路；所述检测光(D1)由前反射镜(7‑3)入射检测腔体(7)后在所述环路中循环反射，检测腔体(7)内的光束透射第二反射镜(7‑4)出射。
【技术特征摘要】
1.一种光热放大光谱检测装置，包括泵浦激光器(1)、检测激光器(8)、检测腔体(7)、针孔光强探测器(9)、放大器模块(10)、A/D转换模块(5)和电脑主机(4)；其中：
所述检测腔体(7)中设置有样品台(7-2)，待测薄膜(11)放置于所述样品台(7-2)上；所述泵浦激光器(1)发射待测薄膜(11)可吸收的泵浦光(B1)，所述检测激光器(8)发射待测薄膜(11)不可吸收的检测光(D1)；所述泵浦光(B1)耦合入检测腔体(7)内并照射在所述待测薄膜(11)上；所述针孔光强探测器(9)设置在检测腔体(7)的出射光路中，与所述放大器模块(10)连接；放大器模块(10)通过所述A/D转换模块(5)与电脑主机(4)连接，其特征在于：
所述检测腔体(7)中包含第一反射镜(7-3)和第二反射镜(7-4)，二反射镜对所述检测光(D1)部分透射部分反射，二反射镜布置于样品台(7-2)上方两侧，设置二反射镜与待测薄膜(11)表面组成反射环路；所述检测光(D1)由前反射镜(7-3)入射检测腔体(7)后在所述环路中循环反射，检测腔体(7)内的光束透射第二反射镜(7-4)出射。
2.根据权利要求1所述的光热放大光谱检测装置，其特征在于：所述第一反射镜(7-3)和第二反射镜(7-4)对所述检测光(D1)的反射率大于10%且小于100%。
3.根据权利要求1所述的光热放大光谱检测装置，其特征在于：所述检测光(D1)的光功率大于1mW。
4.根据权利要求1所述的光热放大光谱检测装置，其特征在于：所述检测腔体(7)内还设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：王欢，
申请(专利权)人：南京先进激光技术研究院，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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