曝光机的UV能量调整装置制造方法及图纸

技术编号:13219223 阅读:36 留言:0更新日期:2016-05-13 00:10
本实用新型专利技术提供一种曝光机的UV能量调整装置,包含UV能量传感器及移动机构,移动机构驱动UV能量传感器移动,UV能量传感器感测曝光机的平面光源的UV-LED的照射能量,UV-LED用以照射曝光对象;UV能量调整部,连接UV-LED、UV能量传感器及移动机构以调整UV-LED的照射能量为相同。因此,本实用新型专利技术可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率。

UV energy adjusting device of exposure machine

The utility model provides a device for adjusting the UV energy exposure machine, including UV energy sensor and mobile mechanism, mobile mechanism driven by UV energy UV mobile sensor, sensor energy exposure energy plane light source machine UV-LED, to light the exposure object UV-LED; UV UV-LED, Department of energy adjustment, connecting UV energy sensor and the movement mechanism to adjust the irradiation energy for the same UV-LED. Therefore, the utility model can adjust the irradiation energy of the UV-LED of the exposure machine of various models to be uniform, so as to improve the qualified rate of the process.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种曝光机的UV能量调整装置,尤其涉及一种可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率的装置。
技术介绍
现今的印刷电路板多利用曝光机制成,然而一般的曝光机的光源在经常使用后,常会造成各个光源彼此照射的能量不一致,以致所有光源的照射能量不均匀,进而造成曝光不良,降低印刷电路板制成的合格率。为此,中国台湾第M346791号新型专利揭露一种辉度检测装置,其主要是在平面发光体的上方布设多个辉度传感器,以感测平面发光体上多个位置的辉度。然而,由于第M346791号新型专利需在平面发光体的上方布设多个辉度传感器,因此第M346791号新型专利的感测结构复杂且成本高;另外,由于第M346791号新型专利需使用多个辉度传感器,而各个辉度传感器的质量并不一定会均一,因此各个辉度传感器所感测的辉度的基础并不一定会一致;再者,由于平面发光体的上方布设辉度传感器的空间有限,因此第M346791号新型专利并无法在平面发光体的上方布设对应平面发光体光源数量的辉度传感器,以确实感测平面发光体的各个光源的辉度;再者,第M346791号新型专利并未揭露若平面发光体的各个光源的辉度不同时要如何使各个光源的辉度相同。另外,中国台湾第M409455号新型专利揭露一种曝光能量调整系统,其主要是在平面发光体的照射方向上布设多个光能量传感器,以感测平面发光体上多个光源的曝光能量。然而,由于第M409455号新型专利需在平面发光体的照射方向上布设多个光能量传感器,因此第M409455号新型专利的感测结构复杂且成本高;另外,由于第M409455号新型专利需使用多个光能量传感器,而各个光能量传感器的质量并不一定会均一,因此各个光能量传感器所感测的曝光能量的基础并不一定会一致;再者,由于平面发光体的照射方向上布设光能量传感器的空间有限,因此第M409455号新型专利并无法于平面发光体的照射方向上布设对应平面发光体光源数量的光能量传感器,以确实感测平面发光体的各个光源的曝光能量;再者,当平面发光体的各个光源的曝光能量不同时,第M409455号新型专利是以调整各个光源的位置改善曝光能量的均匀性,其调整的方式实为烦琐。再者,中国台湾第M506995号新型专利揭露一种曝光机的校验装置,其主要是在曝光机内建的上曝光平台及下曝光平台上分别设置有上光传感器及下光传感器,之后再利用曝光机内建的上移载机构及下移载机构相对于上曝光平台及下曝光平台的移动而使各个光传感器感测上照射部及下照射部的各个光源的照射能量。然而,由于第M506995号新型专利的光传感器是设置于曝光机内建的曝光平台上,因此第M506995号新型专利的校验装置仅能适用于特定机型的曝光机,而不能泛用于各式机型的曝光机。因此,如何创作出一种曝光机的UV能量调整装置,以使其可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率,将是本技术所欲积极揭露之处。
技术实现思路
有鉴于上述现有技术的缺憾,专利技术人有感其未臻于完善,于是竭其心智悉心研究克服,进而研发出一种曝光机的UV能量调整装置,以期达到可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率的目的。为达上述目的及其他目的,本技术提供一种曝光机的UV能量调整装置,其包含:UV能量感测部,其具有UV能量传感器及至少一个移动机构,该移动机构驱动该UV能量传感器移动,该UV能量传感器用以感测该曝光机的一平面光源的多个UV-LED的照射能量,上述UV-LED用以照射曝光对象;以及UV能量调整部,其连接上述UV-LED、该UV能量传感器及该移动机构,以调整上述UV-LED的照射能量为相同。上述的曝光机的UV能量调整装置中,该UV能量传感器通过该移动机构相对于该平面光源移动以感测上述UV-LED的照射能量,上述UV-LED的照射能量传送至该UV能量调整部,该UV能量调整部调整上述UV-LED的照射能量为上述UV-LED的照射能量中的最低者,或该UV能量调整部调整上述UV-LED的照射能量为指定的照射能量。上述的曝光机的UV能量调整装置中,该平面光源为固定式且用以照射该曝光对象的全部,该移动机构的数量为两个,其中一个移动机构驱动该UV能量传感器移动,另一个移动机构驱动该移动机构移动,该UV能量传感器的移动方向与该移动机构的移动方向相互垂直。上述的曝光机的UV能量调整装置中,该平面光源为移动式且用以照射该曝光对象的部分,该移动机构的数量为一个,该UV能量调整部连接该平面光源以控制该平面光源移动,该平面光源的移动方向与该UV能量传感器的移动方向相互垂直。上述的曝光机的UV能量调整装置中,该UV能量调整部为计算处理器。上述的曝光机的UV能量调整装置中,上述UV-LED平面排列成方形或矩形。上述的曝光机的UV能量调整装置中,上述UV-LED成矩阵排列或错位排列。因此,本技术的曝光机的UV能量调整装置可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率。附图说明图1为本技术较佳具体实施例的示意图;图2为本技术较佳具体实施例UV-LED成矩阵排列的示意图;图3为本技术较佳具体实施例UV-LED成错位排列的示意图;图4为本技术另一较佳具体实施例的示意图一;图5为本技术另一较佳具体实施例UV-LED成矩阵排列的示意图;图6为本技术另一较佳具体实施例UV-LED成错位排列的示意图;图7为本技术另一较佳具体实施例的示意图二。【符号说明】1平面光源11UV-LED2UV能量感测部21UV能量传感器22移动机构23第一方向24第二方向3UV能量调整部4平面光源41UV-LED42移动机构6底片7欲曝光的印刷电路板基材具体实施方式为充分了解本技术的目的、特征及功效,现通过下述具体的实施例,并配合附图,对本技术做进一步详细说明,说明如下:请参考图1至图6,如图所示,本技术提供一种曝光机的UV(紫外光)能量调整装置,其包含UV能量感测部2及UV能量调整部3。其中,该UV能量感测部2具有UV能量传感器21及至少一个移动机构22,该移动机构22可为传动轨道、传动皮带或传动链条…等,该移动机构22驱动该UV能量传感器21于第一方向(如y轴方向)移动或上本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,包含:UV能量感测部,其具有UV能量传感器及至少一个移动机构,该移动机构驱动该UV能量传感器移动,该UV能量传感器用以感测该曝光机的平面光源的多个UV‑LED的照射能量,上述UV‑LED用以照射曝光对象;以及UV能量调整部,其连接上述UV‑LED、该UV能量传感器及该移动机构,以调整上述UV‑LED的照射能量为相同。

【技术特征摘要】
1.一种曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,包含:
UV能量感测部,其具有UV能量传感器及至少一个移动机构,该移动
机构驱动该UV能量传感器移动,该UV能量传感器用以感测该曝光机的平
面光源的多个UV-LED的照射能量,上述UV-LED用以照射曝光对象;以

UV能量调整部,其连接上述UV-LED、该UV能量传感器及该移动机
构,以调整上述UV-LED的照射能量为相同。
2.如权利要求1所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,该
UV能量传感器通过该移动机构相对于该平面光源移动以感测上述UV-LED
的照射能量,上述UV-LED的照射能量传送至该UV能量调整部,该UV能
量调整部调整上述UV-LED的照射能量为上述UV-LED的照射能量中的最
低者,或该UV能量调整部调整上述UV-LED的照射能量为指定的照射能量。
3.如权利要求1所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,该
平面光源为固定式且用以照射该曝光对象的全部,该移动机构的数量为两
个,其中一个移动机构驱动该UV能量传感器移动,另一个移动机构驱动该
移动机构移动,该UV能量传感器的移动方向与该移动机构的移动方向相互
垂直。
4.如权利要求2所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,该
平面光源为固定式且用以照射该曝光对象的全部,该移动机构的数量为两
个,其中一个移动机构驱动该U...

【专利技术属性】
技术研发人员:王启毓张永裕
申请(专利权)人:志圣工业股份有限公司
类型:新型
国别省市:中国台湾;71

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