化学槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学槽，所述化学槽在圆柱状的槽主体的上部与下部具有横截面积比槽主体的横截面积小的圆柱状的槽部，据此可以最小化由液位传感器的测量误差导致的化学品量的误差。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种化学槽，尤其涉及一种在槽主体的上部与下部增设横截面积 小于槽主体的横截面积的圆柱状的槽部而能够最小化由液位传感器的测量误差引起的化 学品量的误差的化学槽。
技术介绍
通常，制造半导体或平板显示器装置的制造设备中所使用的化学品具有预定的浓 度，该浓度通过混合化学品原液和水来调整。这时候使用的是包括混合槽的化学品混合设 备。混合设备首先在混合槽里放入原液，再根据所需要的浓度供应水并混合而得到所需浓 度的化学品。 为了准确计量混合的水的量，当槽的大小较小时可以在槽的下方设置秤，然而对 于较大的槽而言，设置并管理秤有些困难，所以把利用测水位的接近传感器或者超声波传 感器等液位传感器的所谓位准树(Level Tree)贴附到槽来测量出混合的水的量。 图1表示现有的混合槽。现有的混合槽10 0整体上成型为圆柱状，并具有槽主体 110,该槽主体110的上部与下部不是平板，而是中心凸出来的曲面。很难认为槽主体110的 上部与下部对槽的容量本身产生积极影响。 槽主体110的上部配备有:注入口 101，供给水和来自原液槽10的化学品原液;排气 口 103,用于排出槽主体110内部的气体，并且，在槽主体110的下部的中心配备有用于供应 工艺中混合的化学品的混合药液排出口 105。并且，槽主体110的上部还配备有作业人员出 于各种目的而进入槽主体110内部的出入口 113。槽主体110的侧面配备有:透明管道107,与 槽主体110的内部连接且竖直布置;位准树，具有设置于该管道107的下端的低(Low)液位传 感器109和设置于该管道107的上端的高(Hi gh)液位传感器111。 例如，假设在化学品原液与水的比重相同的情况下生产浓度为1%的药液，则需要 把原液和水以1:99的比例进行混合。如果是可以处理3000L的混合槽100,则把低液位传感 器109和高液位传感器111之间的间隔调节到总量成为3000L，并把原液槽10的一次供给量 设定成30L。 首先，作为前序作业，在混合槽100的低液位传感器109高度以上处混合出浓度为 1 %的混合液，然后放空槽主体110内的药液直到被低液位传感器109感测到为止，于是使低 液位传感器109下方充满浓度为1 %的混合药液。 进入混合步骤，打开原液槽10和槽主体110的注入口 101之间的第一阀门VI，然后 利用氮气对原液槽10内部加压，使一次注入量即30L通过第一阀门VI供给到槽主体110。如 果原液注入完毕，则关闭第一阀门VI，并打开与槽主体110的注入口 101连接的第二阀门V2 而加水直到被高液位传感器感测到为止，随后关闭第二阀门V2。 在与槽主体110的排出口 105连接的栗11启动的状态下，打开栗11与注入口 101之 间的第三阀门V3和第四阀门V4而使混合槽100内的混合液循环搅拌，并利用第三阀门V3与 第四阀门V4之间的浓度计13测量浓度值并确认是否符合所期望的浓度，然后停止混合。 但是，如果使用如图1所示的现有的混合槽100,尽管通过如上所述的混合工艺混 合尽可能准确的量，还是会因为低液位传感器109和高液位传感器111所具有的本质性误差 而无法计量准确的混合量，因此可能导致发生浓度误差。 例如，在混合槽1〇〇的直径为1.8m的情况下，其截面积为2.543m2。假设各个液位传 感器109、111的感测误差(高度)为5mm，则两个液位传感器109、111导致的最大高度误差为 10mm。如果换算成水量，则产生± 25L的误差，且浓度变化为±0.008%。 对于光刻工艺中使用的TMAH(Tetramethylammonium Hydroxide，四甲基氢氧化 铵)药液而言，允许浓度误差为±0.005%，因此当浓度计13测量的误差超过允许误差时，需 要追加原液或者水来进行校正，因此可能导致药液生产速度缓慢、需要配备多台混合装置 等时间与成本问题。 化学品供给装置(韩国专利申请第10-2013-0160412号）
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种通过在槽主体的上部与下部增设横截面积小于 槽主体的横截面积的圆柱状的槽部而能够最小化由液位传感器的测量误差导致的化学品 量的误差的化学槽。 如上所述，现有的混合槽100会因为液位传感器所具有的误差而导致投入化学品 原液后注入的水量的误差相当大，从而使混合药液的浓度误差超过允许范围。其原因在于， 因液位传感器的误差而导致原液或水的量的变化很大。所以本技术为了减少因液位传 感器的误差而导致的化学品原液或者水的量的变化，在槽主体的上部与下部增设了横截面 积小于槽主体的横截面积的圆柱状的上部槽与下部槽，并测量上部槽和下部槽区间内注入 的原液或者水的液位，从而提高液位测定的精确度并减少误差。 具体而言，本技术的一种化学槽，作为一种具有圆柱状的槽主体的化学品混 合槽，其中，包括:上部槽，从所述槽主体的上表面朝上方延伸，并具有圆柱状的内部空间， 该上部槽的上表面配备有用于注入要混合的原液的至少一个注入口，该上部槽的横截面积 比所述槽主体的横截面积小。 优选地，在投入化学品原液后投入水来调整混合的化学品的浓度的情况下，所述 上部槽的横截面积以如下方式设计:使通过所述横截面积和计量用液位传感器的最大水位 误差计算的体积小于根据所述浓度的允许误差而允许的水的体积的误差。 优选地，所述化学槽还包括：下部槽，从所述槽主体的下表面朝下方延伸，并具有 圆柱状的内部空间，该下部槽的下表面配备有用于排出混合的药液的至少一个排出口，该 下部槽的横截面积小于所述槽主体的横截面积。 优选地，所述上部槽和下部槽的横截面积以如下方式设计:使通过所述上部槽和 下部槽的横截面积相加的面积与计量用液位传感器的最大误差计算出的体积所对应的混 合药液的浓度变化处于允许误差以内。 本技术的化学槽可以精确地管理注入其内部的液体的注入量，所以在用来混 合化学品的时候可实现混合药液的浓度误差的最小化，由此可以改善药液的品质，并提高 药液的生产速度。 而且，作为混合槽的本技术的一种化学槽，在适当调节上部槽和下部槽的横 截面积的情况下，可以使液位传感器的测量误差所对应的浓度变化被控制在允许浓度误差 以内，从而可以使液位传感器的误差导致的混合药液的浓度误差最小化。 由于设定基准液位的低液位传感器设置在圆柱状槽的下部，因此可以最小化基准 液位所收容的混合药液的量。【附图说明】 图1是表示现有的包括化学品混合槽的化学品混合设备的图。 图2是表示根据本技术的一个实施例的化学槽的图。 图3是表示根据本技术的另一实施例的化学槽的图。 符号说明 200:化学槽 201:槽主体 203:上部槽 205:下部槽 207:注入口 209:排出口 211:出入口 215:超声波水位传感器 301:管道 305:低液位传感器 307:高液位传感器【具体实施方式】 下面，参考附图对本技术进行更为详细的说明。 本技术的化学槽不仅可以使用为现有技术中介绍的混合槽，也可以使用于多 种用途的化学品储藏用槽。参考图2,本技术提出的化学槽2当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学槽，作为一种具有圆柱状的槽主体的化学品混合槽，其特征在于，包括：上部槽，从所述槽主体的上表面朝上方延伸，并具有圆柱状的内部空间，该上部槽的上表面配备有用于注入要混合的原液的至少一个注入口，该上部槽的横截面积比所述槽主体的横截面积小。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：郑根准，李钟勋，奉银相，南荣佑，
申请(专利权)人：KC科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国;KR