【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于使硅衬底掺杂的方法,所述方法包含:将包含掺杂物元素的掺杂物墨水沉积于所述硅衬底上以形成掺杂沉积物;在所述硅衬底上的所述掺杂沉积物上形成无机盖层;和加热所述硅衬底以将掺杂物原子驱入所述硅衬底中。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘国钧,乌马·斯里尼瓦桑,希夫库马尔·基鲁沃卢,
申请(专利权)人:纳克公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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