研磨液、研磨液制备工艺及研磨液的使用添加方法技术

本发明专利技术公开了研磨液、研磨液制备工艺及研磨液的使用添加方法。其中研磨液配方的重量份比为：水72%，绿碳化硅25.6%及防锈研磨油2.4%。研磨液制备工艺主要经过混合搅拌6个小时且过滤之后得到产品；而研磨液的使用添加方法只要是检测砂液比重值来添加新的研磨液，使用10天之后全部更换新的研磨液。本发明专利技术具有研磨效果好，成本低，不伤害工作人员的身体健康，被加工产品质量好，配置简单且使用方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及石英晶片工艺
，尤其涉及研磨液、研磨液制备工艺及研磨液的使用添加方法。
技术介绍
目前生产车间的研磨液的配比按照：SiC（3000#）：水：NaNO2：(HOCH2CH2)3N=30kg：90L：0.5kg：0.5L，通过搅拌桶充分搅拌时间6小时以上使用；研磨液更换一次使用72~84小时左右；研磨操作工长时间接触研磨液，研磨液中的NaNO2对人体有着一定的负作用；研磨液的更换周期72~84小时全部更换，在生产过程中发现，随着加工时间越长砂液中的(HOCH2CH2)3N随之挥发，导致研磨液的悬浮不够砂液容易沉淀；通过跟踪相关数据发现新配制的研磨液加工前20小时的产品，经测量散差值偏大，而加工在20~60小时这个时间段的产品散差优于其它时间段加工的散差，加工在60~84小时这个时间段的加工时间随之增长，效率变低，且产品的散差值逐渐增大；通过100倍的显微镜下检查产品外观发现，前20小时加工的与后72小时加工的产品表面粗糙度有差异，前20小时加工的表面较粗糙，72小时后加工的表面较细；再通过腐蚀后两种晶片表面产生色差不同。目前石英晶片生产加工工艺逐渐成熟、稳定，随着市场竞争激烈，企业内部只有通过各种途径降低成本，提高工艺水平，提高产品质量，才能取得市场，取得更好的市场。研发前的晶片将0~20H加工的与60~84H加工的晶片，通过腐蚀后观看外观，晶片表面存在异色问题，研发后的将第2天和第10天加工后的晶片通过腐蚀后看外观未发现有异色问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供研磨液、研磨液制备工艺及研磨液的使用添加方法，具有研磨效果好，成本低，不伤害工作人员的身体健康，被加工产品质量好，配置简单且使用方便。本专利技术所采用的技术方案是：研磨液，其特征在于，所述研磨液配方的重量份比为：水72%，绿碳化硅25.6%及防锈研磨油2.4%。进一步，所述的研磨液配方是：水为90L，绿碳化硅为32KG和防锈研磨油3L。研磨液制备工艺，其包括以下步骤：A1、打开搅拌机的桶盖，往搅拌机的桶内加入90L的水；A2、启动搅拌机，并将搅拌机的搅拌转速调节至147转/分—153转/分之间；A3、将32KG的绿碳化硅缓慢倒入搅拌机的桶内；A4、将3L的防锈研磨油缓慢倒入搅拌机的桶内，使得水、绿碳化硅及防锈研磨油充分混合搅拌；A5、搅拌机将水、绿碳化硅及防锈研磨油充分搅拌6个小时，得到半成品；A6、将半成品经过320目的过滤网过滤之后得到研磨液成品。作为优选，所述的研磨液制备工艺中所述搅拌机的使用环境温度控制在18℃-28℃之间。作为优选，所述的研磨液制备工艺中研磨液成品的沙液比重值范围控制在1.1-1.3之间。研磨液的使用添加方法，其包括以下步骤：B1、取出新配制的研磨液，将研磨液加入至研磨机供研磨工作使用；B2、当研磨液在研磨机中时间超出17-23小时之后，即可取一部分使用过的研磨液，利用比重仪对取出的研磨液进行砂液比重值测量；B3、如果取出的研磨液测量所得的结果为砂液比重值超出1.1-1.3范围时，往研磨机的桶内添加没有使用过的研磨液1KG/次；B4、当研磨机中的研磨液使用时长达到10天的时候，将研磨机中研磨液全部更换掉。本专利技术的有益效果是：具有研磨效果好，成本低，不伤害工作人员的身体健康，被加工产品质量好，配置简单且使用方便。附图说明图1是本专利技术研磨液制备工艺的流程步骤示意图；图2是本专利技术研磨液的使用添加方法的使用步骤示意图。具体实施方式如图1和图2所示，本专利技术研磨液，其特征在于，所述研磨液的重量份比为：水72%，绿碳化硅25.6%及防锈研磨油2.4%。进一步，所述的研磨液配方是：水为90L，绿碳化硅为32KG和防锈研磨油3L。研磨液制备工艺，其包括以下步骤：A1、打开搅拌机的桶盖，往搅拌机的桶内加入90L的水；A2、启动搅拌机，并将搅拌机的搅拌转速调节至147转/分—153转/分之间；A3、将32KG的绿碳化硅缓慢倒入搅拌机的桶内；A4、将3L的防锈研磨油缓慢倒入搅拌机的桶内，使得水、绿碳化硅及防锈研磨油充分混合搅拌；A5、搅拌机将水、绿碳化硅及防锈研磨油充分搅拌6个小时，得到半成品；A6、将半成品经过320目的过滤网过滤之后得到研磨液成品。作为优选，所述的研磨液制备工艺中所述搅拌机的使用环境温度控制在18℃-28℃之间。作为优选，所述的研磨液制备工艺中研磨液成品的沙液比重值范围控制在1.1-1.3之间。研磨液的使用添加方法，其包括以下步骤：B1、取出新配制的研磨液，将研磨液加入至研磨机供研磨工作使用；B2、当研磨液在研磨机中时间超出17-23小时之后，即可取一部分使用过的研磨液，利用比重仪对取出的研磨液进行砂液比重值测量；B3、如果取出的研磨液测量所得的结果为砂液比重值超出1.1-1.3范围时，往研磨机的桶内添加没有使用过的研磨液1KG/次；B4、当研磨机中的研磨液使用时长达到10天的时候，将研磨机中研磨液全部更换掉。研发后项目涉及研磨加工已全面推行，研磨砂使用成本大幅下降，产品的良品率确保在97.5~98.5%。通过改变研磨液的配方使用防锈研磨油替代NaNO2和(HOCH2CH2)3N，人体接触到防锈研磨液使用清水清洗即可，不会构成人体危害；研磨液的配比：SiC（3000#）：水：防锈研磨液=32kg：90L：3L。研磨液的添加及更换周期改进为：新配制砂液使用至20±3小时后，采取测量砂液的比重值（1.1~1.3）进行管理，每个班前确认一次，砂液加工时间长砂液越黏比重值越大，需要添加新的研磨液1kg/次，研磨液总量不超过砂桶内的警示线，使用10天将砂液全部更换一次；通过改进中途加砂方法和比重值的管理有效的改善了产品散差偏大和腐蚀后产品表面异色的问题；研发前、后员工每天所加工的产量相同，每天加工2万晶片，研发前平均每天使用研磨砂1.71kg，研发后平均每天使用研磨砂1.34kg；研发后研磨液每天每个员工少用21.5%的研磨砂；研发前的晶片将0~20H加工的与60~84H加工的晶片，通过腐蚀后观看外观，晶片表面存在异色问题，研发后的将第2天和第10天加工后的晶片通过腐蚀后看外观未发现有异色问题。研发前的研磨液配比及添加方法，平均每天每人使用研磨砂1.71kg，加工后产品合格率：96.2%；采用研发后工艺加工平均每天每人少使用研磨砂：21.5%，可有效的降低辅料消耗成本，产品合格率可以提高2.92%，腐蚀后晶片表面异色问题得到解决；使用研磨油替代了亚硝酸钠和三乙醇胺之后，也改善了亚硝酸钠对人体负作用的问题。本专利技术的有益效果是：具有研磨效果好，成本低，不伤害工作人员的身体健康，被加工产品质量好，配置简单且使用方便。本文档来自技高网...

【技术保护点】
研磨液，其特征在于，所述研磨液的重量份比为：水72%，绿碳化硅25.6%及防锈研磨油2.4%。

【技术特征摘要】
1.研磨液，其特征在于，所述研磨液的重量份比为：水72%，绿碳化硅25.6%及防锈研磨油2.4%。
2.根据权利要求1所述的研磨液，其特征在于：水为90L，绿碳化硅为32KG和防锈研磨油3L。
3.研磨液制备工艺，其特征在于包括以下步骤：
A1、打开搅拌机的桶盖，往搅拌机的桶内加入90L的水；
A2、启动搅拌机，并将搅拌机的搅拌转速调节至147转/分—153转/分之间；
A3、将32KG的绿碳化硅缓慢倒入搅拌机的桶内；
A4、将3L的防锈研磨油缓慢倒入搅拌机的桶内，使得水、绿碳化硅及防锈研磨油充分混合搅拌；
A5、搅拌机将水、绿碳化硅及防锈研磨油充分搅拌6个小时，得到半成品；
A6、将半成品经过320目的过滤网过滤之后得到研磨液成品。
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【专利技术属性】
技术研发人员：莫宗均，
申请(专利权)人：珠海东锦石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44