本发明专利技术提供自动试样片制作装置，其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机，该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和气体供给部，直到试样片移设单元与试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及自动试样片制作装置。
技术介绍
以往，公知有这样的装置：取出通过对试样照射由电子或离子构成的带电粒子束而制作的试样片，将试样片加工成适合于利用扫描电子显微镜、透射电子显微镜等电子束观察、分析和计测等的各种工序的形状(例如，参照专利文献1)。【专利文献1】日本特开平11－108810号公报在上述现有技术的装置中，无法实现这样的技术：伴随试样片的微小化，提高为了将多个试样片高精度加工成均匀形状所需要的位置精度，使试样片的取样动作适当地自动化。另外，在本说明书中使用的“取样”是指，取出通过对试样照射带电粒子束而制作的试样片，将该试样片加工成适合于观察、分析和计测等的各种工序的形状，更具体地是指，将对试样通过聚焦离子束的加工而形成的试样片移设到试样片保持器。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而作成的，本专利技术的目的是提供一种能够使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化的自动试样片制作装置。为了解决上述课题而达到上述目的，本专利技术采用了以下的方式。(1)本专利技术的一个方式的自动试样片制作装置，其从试样自动制作试样片，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样载物台，其放置并移动所述试样；试样片移设单元，其保持并运送从所述试样分离和取出的所述试样片；保持器固定座，其保持具有柱状部的试样片保持器，其中所述试样片被移设到该柱状部；气<br>体供给部，其供给通过所述带电粒子束的照射形成沉积膜(depositedfilm)的气体；以及计算机，其以在所述试样片与所述柱状部之间形成所述沉积膜的方式控制所述带电粒子束照射光学系统、所述试样片移设单元和所述气体供给部，直到所述试样片移设单元与所述试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。(2)在上述(1)所述的自动试样片制作装置中，形成有所述沉积膜的所述试样片与所述柱状部之间的间隔是1μm以下。(3)在上述(2)所述的自动试样片制作装置中，形成有所述沉积膜的所述试样片与所述柱状部之间的间隔是100nm以上且200nm以下。(4)在上述(1)至(3)中任一项所述的自动试样片制作装置中，所述计算机在将待形成所述沉积膜的所述试样片与所述柱状部之间的间隔设定为预定间隔时，以使所述试样片与所述柱状部接触之后分开配置的方式控制所述试样片移设单元。(5)在上述(1)至(4)中任一项所述的自动试样片制作装置中，所述计算机在将所述试样片移设到所述柱状部之后，以向所述试样片移设单元与所述试样片之间的所述沉积膜照射所述带电粒子束的方式控制所述带电粒子束照射光学系统，直到所述试样片移设单元与所述试样片保持器之间的电气特性达到第2预定状态为止。(6)在上述(1)至(5)中任一项所述的自动试样片制作装置中，所述计算机将所述试样片移设单元与所述试样片保持器之间的导通状态、以及所述试样片和所述柱状部的吸收电流像中至少任一方用作所述电气特性。(7)在上述(6)所述的自动试样片制作装置中，所述计算机当以在所述试样片与所述柱状部之间形成所述沉积膜的方式控制所述带电粒子束照射光学系统、所述试样片移设单元和所述气体供给部时，在预定时间以内所述导通状态未达到所述预定状态的情况下，将所述吸收电流像用作所述电气特性。(8)在上述(1)至(7)中任一项所述的自动试样片制作装置中，所述计算机当以在所述试样片与所述柱状部之间形成所述沉积膜的方式控制所述带电粒子束照射光学系统、所述试样片移设单元和所述气体供给部时，在预定时间以内所述电气特性未达到所述预定状态的情况下，中断将所述试样片移设到所述柱状部的动作。(9)在上述(8)所述的自动试样片制作装置中，所述计算机在中断将所述试样片移设到所述柱状部的动作的情况下，以通过向所述试样片移设单元与所述试样片之间的所述沉积膜照射所述带电粒子束来使所述试样片移设单元与所述试样片分离的方式控制所述带电粒子束照射光学系统。根据本专利技术的自动试样片制作装置，可以使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。附图说明图1是本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的结构图。图2是示出形成为本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、试样的试样片的俯视图。图3是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、试样片保持器的俯视图。图4是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、试样片保持器的侧视图。图5是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的动作的流程图中、特别是初始设定工序的流程图。图6是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的动作的流程图中、特别是试样片拾取(pickup)工序的流程图。图7是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的动作的流程图中、特别是试样片架置(mount)工序的流程图。图8是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的动作的流程图中、特别是针研磨(needlemilling)工序的流程图。图9是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、通过聚焦离子束得到的针的前端的模板的图。图10是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、通过电子束得到的针的前端的模板的图。图11是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、通过聚焦离子束得到的图像数据中的针的前端的图。图12是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、通过电子束得到的图像数据中的针的前端的图。图13是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、通过聚焦离子束得到的图像数据中的针的前端和试样片的图。图14是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、通过电子束得到的图像数据中的针的前端和试样片的图。图15是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、通过聚焦离子束得到的图像数据中的包含针和试样片的连接加工位置的加工框的图。图16是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、通过聚焦离子束得到的图像数据中的试样和试样片的支撑部的切断加工位置T1的图。图17是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、通过电子束得到的图像数据中的使试样片连接的针退避的状态的图。图18是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、通过电子束得到的图像数据中的使载物台相对于试样片连接的针退避的状态的图。图19是示出本专利技术的实施方式的自动试样片制作装置的、通过聚焦离子束得到的图像数据中的柱状部的试样片的安装位置的图。图20是示出本发本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种自动试样片制作装置，其从试样自动制作试样片，其特征在于，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样载物台，其放置并移动所述试样；试样片移设单元，其保持并运送从所述试样分离和取出的所述试样片；保持器固定座，其保持具有柱状部的试样片保持器，其中所述试样片被移设到该柱状部；气体供给部，其供给通过所述带电粒子束的照射形成沉积膜的气体；以及计算机，其以在所述试样片与所述柱状部之间形成所述沉积膜的方式控制所述带电粒子束照射光学系统、所述试样片移设单元和所述气体供给部，直到所述试样片移设单元与所述试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。
【技术特征摘要】
2014.08.29 JP 2014-1762411.一种自动试样片制作装置，其从试样自动制作试样片，其特征在于，具备：
带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；
试样载物台，其放置并移动所述试样；
试样片移设单元，其保持并运送从所述试样分离和取出的所述试样片；
保持器固定座，其保持具有柱状部的试样片保持器，其中所述试样片被移设到
该柱状部；
气体供给部，其供给通过所述带电粒子束的照射形成沉积膜的气体；以及
计算机，其以在所述试样片与所述柱状部之间形成所述沉积膜的方式控制所述
带电粒子束照射光学系统、所述试样片移设单元和所述气体供给部，直到所述试样片
移设单元与所述试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。
2.根据权利要求1所述的自动试样片制作装置，其特征在于，形成有所述沉积
膜的所述试样片与所述柱状部之间的间隔是1μm以下。
3.根据权利要求2所述的自动试样片制作装置，其特征在于，形成有所述沉积
膜的所述试样片与所述柱状部之间的间隔是100nm以上且200nm以下。
4.根据权利要求1至权利要求3中任一项所述的自动试样片制作装置，其特征
在于，所述计算机在将待形成所述沉积膜的所述试样片与所述柱状部之间的间隔设定
为预定间隔时，以使所述试样片与所述柱状部接触之后分开配置的方式控制所述试样
片移设单元。
5.根据权利要求1至权利要求4中任一项所述的自动试样片制作装置，其特征
在于，所述计算机在将所述试样片移设到所述柱状部...
【专利技术属性】
技术研发人员：富松聪，佐藤诚，山本洋，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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