太阳能电池、电子机器以及太阳能电池的制造方法技术

技术编号:12954457 阅读:10 留言:0更新日期:2016-03-02 13:53
本发明专利技术提供了高形状精度且生产率良好地制造太阳能电池的太阳能电池、电子机器以及太阳能电池的制造方法。将发电膜(3)设置于基板(2)的第一面(2a),与发电膜(3)重叠地设置透明导电膜(4),在透明导电膜(4)上以及与第一面(2a)相反侧的第二面(2b)上设置第一表面抗蚀剂膜(22)以及第一背面抗蚀剂膜(23),将第一背面抗蚀剂膜(23)图案形成为规定的形状,从第二面(2b)侧向基板(2)喷射蚀刻液(26)而使基板(2)形成为规定的形状。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
接收太阳光等光并发电的太阳能电池被广泛使用。太阳能电池在基板上设置有发电膜以及透明导电膜。并且,在专利文献1中公开有基板的切断方法。据此,切断装置将刃具在一个方向摇动,以便用三角柱状的刃具的尖端切削基板。该方法能够沿着直线没有凹凸地切断发电膜以及透明导电膜。可是,形状由曲线构成时必须复杂地控制摇动刃具的方向。因而,难以生产率良好地形成太阳能电池。使用蚀刻法形成太阳能电池的形状时即使形状中含有曲线也能够容易地形成。于是,通过使掩膜的精度良好而使形状的精度良好。因为在蚀刻法中对基板吹送蚀刻液而进行蚀刻,所以与如专利文献1所示的方法所述与用刃具切削的方法相比能够生产率良好地制造。因而,通过对太阳能电池的形状使用蚀刻法,从而即使是复杂的形状也能够位置精度良好、生产率良好地制造。基板、发电膜以及透明导电膜由不同的材质构成,可使用对应于各材质的蚀刻液。在形成太阳能电池的外形时,首先,设置用于蚀刻透明导电膜的掩膜并蚀刻透明导电膜。接着,对发电膜进行蚀刻。然后,在基板上在设置有透明导电膜的面的相反侧的面上设置掩膜,从两面蚀刻基板。利用该方法,能够蚀刻基板、发电膜以及透明导电膜,且能够形成太阳能电池的外形。【现行技术文献】【专利文献】专利文献1:日本特开2010-245255号公报蚀刻基板的蚀刻液不能蚀刻发电膜。因此,在从第一面以及第二面两面对基板喷射蚀刻液的方法中,首先,在第一面以及第二面设置抗蚀剂膜而形成图案。蚀刻发电膜并图案形成为规定的形状。接着,继续从基板的两面喷射蚀刻液。因而,必须改变蚀刻液来进行两次蚀刻。因此,期待能够以更高生产率制造的太阳能电池的制造方法。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题而提出的,其可以作为以下的方式或者应用例实现。本应用例涉及的太阳能电池的制造方法特征在于,在基板的第一面设置发电膜,在所述第一面侧和所述第一面的相反侧的第二面设置第一抗蚀剂膜,将所述第一抗蚀剂膜图案形成为规定的形状,从所述第二面侧向所述基板喷射蚀刻液并使所述基板形成为规定的形状。根据本应用例,在基板的第一面设置有发电膜。在与基板的第一面相反侧的第二面设置有第一抗蚀剂膜,使第一抗蚀剂膜图案形成为规定的形状。然后,以第一抗蚀剂膜为掩膜,从第二面侧向基板喷射蚀刻液,使基板形成为规定的形状。蚀刻液可以蚀刻基板,不能溶解发电膜。在从第二面侧蚀刻时,在没有第一抗蚀剂膜的地方,基板被除去而变薄为规定的形状。然后,发电膜为薄的膜,通过蚀刻液的喷射,吹起而被除去。因而,发电膜能够形成为与被蚀刻的基板相同的形状。即,用一次蚀刻进行发电膜以及基板的蚀刻。在从第一面以及第二面这两面对基板喷射蚀刻液的方法中,首先,蚀刻发电膜而图案形成为规定的形状。接着,在第二面设置第一抗蚀剂膜进行图案形成。然后,从两面对基板喷射蚀刻液进行蚀刻。因而,进行发电膜和基板的两次蚀刻。与该方法相比较,在仅从第二面喷射蚀刻液的方法中,因为蚀刻为一次,所以与两次的蚀刻相比较,能够生产率良好地形成太阳能电池。上述应用例涉及的太阳能电池的制造方法的特征在于,在设置所述第一抗蚀剂膜前与所述发电膜重叠地设置透明导电膜,所述第一抗蚀剂膜设置于所述透明导电膜上,在对所述第一抗蚀剂膜进行图案形成后对所述透明导电膜进行蚀刻,覆盖所述透明导电膜的侧面而设置第二抗蚀剂膜。根据本应用例,在蚀刻基板前对透明导电膜进行图案形成。然后,透明导电膜上被第一抗蚀剂膜覆盖,透明导电膜的侧面被第二抗蚀剂膜覆盖。因而,以透明导电膜被第一抗蚀剂膜以及第二抗蚀剂膜覆盖的形态下基板被蚀刻。其结果,能够防止透明导电膜被蚀刻液腐蚀。上述应用例涉及的太阳能电池的制造方法特征在于,对所述基板喷射所述蚀刻液时,将所述第二面朝向重力加速度方向。根据本应用例,将基板的第二面朝向重力加速度方向并对第二面喷射蚀刻液。为到达第二面的蚀刻液与基板反应而成为包含基板材料的状态。然后,位于第二面的蚀刻液由于重力的作用而从第二面脱离。因而,在基板的第二面包含基板材料的蚀刻液的除去和不包含基板材料的蚀刻液的供给并行进行。其结果,能够高效率地蚀刻基板。本应用例涉及的太阳能电池特征在于,在具有第一面和与第一面相对的第二面的基板的所述第一面设置发电膜,所述基板的侧面相对于所述第一面成为斜面,相对于所述第二面,所述第一面突出。根据本应用例,基板具有第一面和第二面,第一面和第二面相对而配置。然后,在基板的第一面设置有发电膜。基板的侧面相对于第一面成为斜面。然后,相对于第二面,第一面突出。因为基板的侧面相对于第一面成为斜面,所以喷射蚀刻液而形成基板。然后,因为设置有发电膜的第一面比第二面突出,所以在第二面设置抗蚀剂膜并从第二面侧喷射蚀刻液。此时,为仅从第二面喷射蚀刻液的方法。因而,由于进行一次图案形成,因此本应用例的太阳能电池是不产生图案形成的位置偏移的电池。而且,因为基板以及发电膜的蚀刻进行一次,所以与分为两次进行蚀刻的方法相比,能够成为生产率良好地形成的太阳能电池。本应用例涉及的电子机器是具备太阳能电池的电子机器,其特征在于,所述太阳能电池在具有第一面和与所述第一面相对的第二面的基板的所述第一面设置发电膜,所述基板的侧面相对于第一面成为斜面,相对于所述第二面,所述第一面突出。根据本应用例,电子机器具备太阳能电池。该太阳能电池的基板具有第一面和第二面,第一面与第二面相对而配置。然后,在基板的第一面设置有发电膜。基板的侧面相对于第一面成为斜面。然后,相对于第二面,第一面突出。因为基板的侧面相对于第一面成为斜面,所以喷射蚀刻液而形成基板。然后,因为设置有发电膜的第一面比第二面突出,所以在第二面设置抗蚀剂膜并从第二面侧喷射蚀刻液。此时,为仅从第二面喷射蚀刻液的方法。因而,由于图案形成为一次,因此本应用例的太阳能电池是不产生图案形成的位置偏移的电池,其是高精度地形成形状的电池。而且,因为基板以及发电膜的蚀刻进行一次,所以与分为两次进行蚀刻的方法相比,能够成为生产率良好地形成的太阳能电池。其结果,电子机器能够成为具备高精度地形成形状、生产率良好地形成的太阳能电池的机器。【附图说明】图1涉及第一实施方式,图1的(a)是示出太阳能电池的构造的概略立体图,图1的(b)是太阳能电池的电路图,图1的(c)是示出发电膜的构造的主要部分模式侧截面图。图2的(a)是示出发电膜以及透明导电膜的构造的模式俯视图,图2的(b)是示出基板、发电膜以及透明导电膜的构造的模式侧截面图。图3是太阳能电池的制造方法的流程图。图4的(a)?⑷是用于说明太阳能电池的制造方法的模式图。图5的(a)?(c)是用于说明太阳能电池的制造方法的模式图。图6的(a)?(c)是用于说明太阳能电池的制造方法的模式图。图7的(a)?⑷是用于说明太阳能电池的制造方法的模式图。图8的(a)?⑷是用于说明太阳能电池的制造方法的模式图。图9的(a)?(c)是用于说明太阳能电池的制造方法的模式图。图10涉及第二实施方式,图10的(a)是示出钟表的构造的模式侧视图,图10的(b)是示出太阳能电池的构造的模式俯视图。图11是太阳能电池集合基板的模式俯视图。符号说明2基板、2a第一面、2b第二面、3发电膜、4透明导电膜、22作为第一抗蚀剂膜的第一表面抗蚀剂膜、23作为第一抗蚀剂膜本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种太阳能电池的制造方法,其特征在于,在基板的第一面设置具有光电转换功能的发电膜;在所述第一面侧和所述第一面的相反侧的第二面设置第一抗蚀剂膜;将所述第一抗蚀剂膜图案形成为规定的形状;以及从所述第二面侧向所述基板喷射蚀刻液并使所述基板形成为规定的形状。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:永野大介
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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