【技术实现步骤摘要】
:一种用于真空环境中的复合节流式静压气体轴承及其使用方法,属于超精密静压气体润滑领域。
技术介绍
:静压气体轴承以轴承体和承载面之间的微米级厚度润滑气膜实现运动支撑。相对于油润滑或脂润滑,气体润滑粘性滞后小,无摩擦/极低摩擦。因此,静压气体轴承具有精度高、寿命长,发热低、高速运动温升小,克服了传统轴承存在润滑介质失效、热稳定性差等不足,广泛应用于光刻曝光、干涉测量和半导体检测等超精密工程
随着微电子制造和超精密测量技术的快速发展,不仅要求运动平台具有更高的运动定位精度,而且必须工作在真空或超洁净环境中,但真空环境中静压气体轴承性能变化显著,其典型特点是承载能力增大,刚度降低,最佳气膜厚度增大。另一方面,真空环境中静压气体轴承润滑气体从密封区域泄漏,将污染真空环境,甚至导致真空环境无法满足光刻曝光、干涉测量和半导体检测的特殊要求。目前单一孔式节流或多孔材料节流静压气体轴承采用单个气源供气,只能通过调整供气压力改变轴承的静动态性能,不能同时充分发挥孔式节流和多孔材料节流各自的优点。在润滑气体密封方面,目前大都采用在轴承外缘设置回流系统的方式,存在对回流真空泵要求高,润滑气体泄漏量大,轴承密封性不好等问题。针对上述问题,本专利技术提出一种用于真空环境中的复合节流式静压气体轴承及其使用方法,轴承采用双供气系统,同时采用控式节流和多孔材料节流,充分发挥孔式节流和多孔材料节流各自的优点,从而使静压气体轴承在真 ...
【技术保护点】
一种用于真空环境中的复合节流式静压气体轴承,它至少由:轴承体(1)、承载面(2)、多孔材料节流器(3)、供气孔I(4)、排气槽I(5)、回流孔I(6)、排气槽II(7)、回流孔II(8)、真空泵I(9)、真空泵II(10)、调压阀I(11)、气体压缩机I(12)、气体压缩机II(13)、调压阀II(14)、真空泵III(15)、回流孔III(16)、供气孔II(17)和小孔节流器(18)组成,其特征在于,所述的轴承体(1)上设置小孔节流器(18)、多孔材料节流器(3)、排气槽I(5)、排气槽II(7)和回流孔III(16),小孔节流器(18)通过供气孔I(4)与调压阀II(14)的出气口连通,调压阀II(14)的进气口与气体压缩机II(13)的出气口连通,多孔材料节流器(3)通过供气孔II(17)与调压阀I(11)的出气口连通,调压阀I(11)的进气口与气体压缩机I(12)的出气口连通,排气槽I(5)通过回流孔I(6)与真空泵II(10)的进气口连通,排气槽II(7)通过回流孔II(8)与真空泵I(9)的进气口连通,回流孔III(16)与真空泵III(15)的进气口连通。
【技术特征摘要】
1.一种用于真空环境中的复合节流式静压气体轴承,它至少由:轴承体(1)、承载面(2)、
多孔材料节流器(3)、供气孔I(4)、排气槽I(5)、回流孔I(6)、排气槽II(7)、回流孔II(8)、真空泵
I(9)、真空泵II(10)、调压阀I(11)、气体压缩机I(12)、气体压缩机II(13)、调压阀II(14)、真空泵
III(15)、回流孔III(16)、供气孔II(17)和小孔节流器(18)组成,其特征在于,所述的轴承体(1)
上设置小孔节流器(18)、多孔材料节流器(3)、排气槽I(5)、排气槽II(7)和回流孔III(16),小孔
节流器(18)通过供气孔I(4)与调压阀II(14)的出气口连通,调压阀II(14)的进气口与气体压缩机
II(13)的出气口连通,多孔材料节流器(3)通过供气孔II(17)与调压阀I(11)的出气口连通,调压
阀I(11)的进气口与气体压缩机I(12)的出气口...
【专利技术属性】
技术研发人员:李运堂,吴进田,梁宏民,沈传康,万欣,
申请(专利权)人:中国计量学院,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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