自动喷淋式旋干设备用转子及其设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种自动喷淋式旋干设备用转子，属于半导体设备领域，包括转子本体(1)、若干槽位及若干圆洞(11)，槽位包括第一槽位(12)、第二槽位(13)、第三槽位(14)、第四槽位(15)和第五槽位(16)，第三槽位设置在转子本体的中心，第一槽位与第四槽位对称设置在第三槽位两侧，第二槽位与第五槽位对称设置在第三槽位两侧，第一槽位、第二槽位、第四槽位、第五槽位规则排列在第三槽位的外围；每个槽位内均设有固定块(122)及(121)，固定块设置在晶舟盒(2)底部，挡杆设置在晶片(3)顶部；本实用新型专利技术还提供了一种装有上述转子的设备。该转子可有效增加产能，有效起到固定晶舟盒，减少甩片，避免碎片的作用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种转子，特别涉及一种自动喷淋式旋干设备用转子及其设备，属于半导体设备领域。
技术介绍
现有的自动喷淋旋干设备用转子，其结构如图1所示，在转子本体1上一般只开有一个槽位，即第一槽位12，该槽位内可安装一个晶舟盒2，工作时，通过喷淋旋干设备对第一槽位12内的晶片3进行喷淋旋干作业；另外为了提高转子旋转效率，一般在转子本体1的一侧开若干圆洞11来减轻转子自重，减轻马达负荷。使用中发现，由于转子本体1上仅开有一个槽位，因此每次喷淋作业时仅能清洗一盒25张2英寸的晶片，使喷淋旋干作业效率较低，且原有转子本体中晶舟盒固定效果差，在高速旋转的过程中，晶舟盒会有些许变形，偶尔会发生晶舟盒变形导致晶片甩出的情况，造成碎片，严重影响了晶片的旋干质量。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种自动喷淋式旋干设备用转子，可同时旋转五盒晶片，有效提高晶片的喷淋旋干效率，还可将晶舟盒很好的固定在转子本体上，减少甩片，避免碎片的产生。为了实现上述目的，本技术采用的一种自动喷淋式旋干设备用转子，包括可安装在喷淋式旋干设备上的转子本体、设置在转子本体上用于放置晶舟盒及晶片的若干槽位及设置在转子本体上的若干圆洞；所述的槽位包括第一槽位、第二槽位、第三槽位、第四槽位和第五槽位，第三槽位设置在转子本体的中心，所述的第一槽位与第四槽位对称设置在第三槽位两侧，所述的第二槽位与第五槽位对称设置在第三槽位两侧，第一槽位、第二槽位、第四槽位、第五槽位规则排列在第三槽位的外围；所述每个槽位内均设有用于固定晶舟盒的固定块及用于固定晶片的挡杆，所述固定块设置在晶舟盒底部，挡杆设置在晶片顶部。作为改进，所述固定块的数量为两个，两个固定块对称设置在晶舟盒底部的两端，所述挡杆的数量为一个。作为改进，所述的固定块采用SUS316不锈钢制成，所述挡杆由特氟龙包裹SUS316不锈钢制成。作为改进，所述的固定块的截面形状为L形。作为改进，所述的圆洞具有六个，六个圆洞以第一槽位与第四槽位所在直线对称设置在转子本体上。作为改进，所述的六个圆洞对称设置在第一槽位的两侧，每侧为三个。另外，本技术还提供了一种自动喷淋式旋干设备，包括转子，该转子为上述任一项所述的转子。本技术的有益效果是:在不更换马达的前提下，原厂转子只可以旋转一盒晶片，而改进后的转子，可以同时旋转五盒晶片，直接提高产能400%，并且通过转子槽位内的挡杆和固定块，有效起到固定晶舟盒，减少甩片，避免碎片的作用，通过对马达功率的计算，转子重量的计算，完全达到马达的负荷，可以正常使用。【附图说明】图1为现有转子的结构示意图；图2为本技术的转子结构示意图；图中:1、转子本体，11、圆洞，12、第一槽位，121、挡杆，122、固定块，13、第二槽位，14、第三槽位，15、第四槽位，16、第五槽位，2、晶舟盒，3、晶片。【具体实施方式】为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中及实施例，对本技术进行进一步详细说明。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。本文中的“第一、第二”等用语仅是为了便于描述，以区分具有相同名称的不同组成部件，并不表示先后或主次关系。如图2所示，一种自动喷淋式旋干设备用转子，包括可安装在喷淋式旋干设备上的转子本体1、设置在转子本体1上用于放置晶舟盒2及晶片3的若干槽位及设置在转子本体1上的若干圆洞11;所述的槽位包括第一槽位12、第二槽位13、第三槽位14、第四槽位15和第五槽位16，第三槽位14设置在转子本体1的中心，所述的第一槽位12与第四槽位15对称设置在第三槽位14两侧，所述的第二槽位13与第五槽位16对称设置在第三槽位14两侧，第一槽位12、第二槽位13、第四槽位15、第五槽位16规则排列在第三槽位14的外围；所述每个槽位内均设有用于固定晶舟盒2的固定块122及用于固定晶片3的挡杆121，所述固定块122设置在晶舟盒2底部，挡杆121设置在晶片3顶部。作为实施例的改进，所述固定块122的数量为两个，两个固定块122对称设置在晶舟盒2底部的两端，所述挡杆121的数量为一个，通过固定块122和挡杆121的配合，对晶片3起到很好的缓冲，防止晶片3发生碰撞，避免在高速旋转过程中，晶舟盒2发生形变以及晶片3甩出的情况。作为实施例的改进，所述的固定块122采用SUS316不锈钢制成，所述挡杆121由特氟龙包裹SUS316不锈钢制成，特氟龙材料具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点、耐高温，且摩擦系数极低，可减少和晶片3的摩擦，从而避免伤及晶片3的边缘；同时在自动喷淋旋干设备运行过程中，有效避免水分或硫酸、热氮气对挡杆121中金属部分的腐蚀。作为实施例的改进，所述的固定块122的截面形状为L形，固定效果好，更好的起到稳固晶舟盒2的作用。作为实施例的改进，所述的圆洞11具有六个，六个圆洞11以第一槽位12与第四槽位15所在直线对称设置在转子本体1上，主要目的是减轻转子本体的总重量，从而减轻马达的运转负荷，并起到平衡作用。因转子在设备内部安装，需要倾斜一定的角度，防止在晶片3高速运转过程中甩出，为了使转子运行完停止时角度为固定角度，方便晶舟盒取放，所以设计采用六个圆洞11。作为实施例的改进，所述的六个圆洞11对称设置在第一槽位12的两侧，每侧为三个。另外，本技术还提供了一种自动喷淋式旋干设备，包括转子，该转子为上述任一项所述的转子，该转子每次可以同时清洗5盒，每盒有25张晶片，每次可以同时清洗125张2英寸的晶片，效率提尚明显。使用时，根据现有转子的结构，以及腔体内部空间大小，通过合理的布局和规划，将转子本体1的尺寸直径增加5厘米，然后在其表面均匀设有五个槽位，包括位于中心的一个及外围的四个，通过对现场设备的实际测量，主要是腔体内径的测量，新设计的转子完全可以适应现有设备，作业效率高，且对晶片的喷淋旋干效果好。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。【主权项】1.一种自动喷淋式旋干设备用转子，包括可安装在喷淋式旋干设备上的转子本体(1)、设置在转子本体(1)上用于放置晶舟盒(2)及晶片(3)的若干槽位及设置在转子本体(I)上的若干圆洞(11)，其特征在于: 所述的槽位包括第一槽位(12)、第二槽位(13)、第三槽位(14)、第四槽位(15)和第五槽位(16)，第三槽位(14)设置在转子本体(1)的中心，所述的第一槽位(12)与第四槽位(15)对称设置在第三槽位(14)两侧，所述的第二槽位(13)与第五槽位(16)对称设置在第三槽位(14)两侧，第一槽位(12)、第二槽位(13)、第四槽位(15)、第五槽位(16)规则排列在第三槽位(14)的外围； 所述每个槽位内均设有用于固定晶舟盒(2)的固定块(122)及用于固定晶片(3)的挡杆(121)，所述固定块(122)设置在晶舟盒(2)底部，挡杆(121)设置在晶片(3)顶部。2.根据权利要求1所述的一种自动喷淋式旋干设备用转子，其特征在于，所述固定块(122)的数量为两个，两个固定块(122)对称本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动喷淋式旋干设备用转子，包括可安装在喷淋式旋干设备上的转子本体(1)、设置在转子本体(1)上用于放置晶舟盒(2)及晶片(3)的若干槽位及设置在转子本体(1)上的若干圆洞(11)，其特征在于：所述的槽位包括第一槽位(12)、第二槽位(13)、第三槽位(14)、第四槽位(15)和第五槽位(16)，第三槽位(14)设置在转子本体(1)的中心，所述的第一槽位(12)与第四槽位(15)对称设置在第三槽位(14)两侧，所述的第二槽位(13)与第五槽位(16)对称设置在第三槽位(14)两侧，第一槽位(12)、第二槽位(13)、第四槽位(15)、第五槽位(16)规则排列在第三槽位(14)的外围；所述每个槽位内均设有用于固定晶舟盒(2)的固定块(122)及用于固定晶片(3)的挡杆(121)，所述固定块(122)设置在晶舟盒(2)底部，挡杆(121)设置在晶片(3)顶部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕承鹏，魏明德，王乐浩，于玉斋，吕康理，张黎明，
申请(专利权)人：徐州同鑫光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32