行波管用微型溅射离子泵的抽速装置及其抽速测试方法制造方法及图纸

技术编号:12670469 阅读:84 留言:0更新日期:2016-01-07 15:08
本发明专利技术公开了一种行波管用微型溅射离子泵的抽速装置及其抽速测定方法,本发明专利技术所述的行波管用微型溅射离子泵的抽速装置,结构设计合理,操作方便,测量结果准确。本发明专利技术提供的微型溅射离子泵的抽速测定方法,可操作性强,计算结果准确,可快速准确的测定行波管用微型溅射离子泵的抽速,本发明专利技术可在1×10-3~1×10-4Pa压力下,测试气体为氮气时,对微型溅射离子泵的抽速的测定范围为1~8L/s,可为微型溅射离子泵的性能检测提供科学依据。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微型溅射离子栗的抽速装置及其微型溅射离子栗的抽速测试方 法,属于微波电真空器件领域,。
技术介绍
行波管等器件是目前主要的军用大功率微波放大器件,在雷达、通讯、电子对抗 研究方面,得到了广泛的应用。其中大功率行波管均安装有微型溅射离子栗(简称"微型 栗"),在行波管工作状态下,使用微型栗来维持和提高管内真空度,是实现行波管高可靠、 长寿命的关键部件。而微型栗最主要的性能指标是抽速指标,对行波管来说,其抽速越大, 越有利于保证管内的真空度。 影响微型栗抽速的因素很多,如电场强度、磁场强度、工作压强、阳极筒直径、气体 种类以及阴极材料等。现有技术中微型溅射离子栗的抽速还没有精确方便的测定装置和测 定方法。 因此,很有必要在现有技术的基础上,设计一种结构设计合理,操作方便,检测结 果准确的行波管用微型溅射离子栗的抽速装置。
技术实现思路
专利技术目的:本专利技术的目的是为了解决现有技术的不足,提供一种结构设计合理,操 作方便,检测结果准确的行波管用微型溅射离子栗的抽速装置。本专利技术另一个目的是提供 行波管用微型溅射离子栗的抽速测定方法。 技术方案:为实现以上目的,本专利技术采取的技术方案为: -种行波管用微型溅射离子栗的抽速装置,它包括:充气室、与充气室相连的测试 室,与测试室相连的第一阀门,与第一阀门相连的机械栗,与机械栗相连的第二阀门,与第 二阀门相连的分子栗; 所述的充气室和测试室均连接有电离计; 所述的测试室与微型溅射离子栗通过排气管相连; 所述的充气室上连接有充气管。 作为优选方案,以上所述的行波管用微型溅射离子栗的抽速装置,充气室与测试 室之间安装有标准流导C为1. 31X10 3l/s的管道。 作为优选方案,以上所述的行波管用微型溅射离子栗的抽速装置,所述的充气室 与测试室均由不锈钢制成的直径为50_,长度为150_的腔体。 本专利技术提供的行波管用微型溅射离子栗的抽速测试方法,其包括以下步骤: 1)首先启动机械栗,待测试室内的真空度小于10Pa时(优选1~10Pa),启动分 子栗进行抽气;同时对充气室,测试室和微型溅射离子栗进行烘烤; 2)冷却至室温,通过充气管将干燥氮气充入充气室,使测试室的压强稳定在 1X10 3Pa,并在此压强下使微型溅射离子栗工作100~120min,以稳定微型溅射离子栗的 抽气能力; 3)开启微型溅射离子栗,直到测试室的压强在5min内变化不超过5%,即系统的 本底压强; 4)调节氮气充气量,使测试室的压强从IX104~IX10 2Pa由低到高逐步增加气 量,并在每个数量级选取三个点,每个点上的充气室和测试室的压强指示值观察5min,其数 值变化不超过5%; 5)根据公式计算微型栗的抽速: 式中:d为排气管直径,L为排气管长度,单位为mm。 S= (y-1)CV式中:s-离子栗对测试室的抽速,Ρι为充气室压强和P2为测试 室的压强,C为标准流导,值为1. 31X10 3l/s。 以上行波管用微型溅射离子栗的抽速测试方法,步骤1)首先启动机械栗,待测试 室内的真空度小于l〇Pa时,启动分子栗进行抽气;同时对充气室、测试室及溅射离子栗进 行烘烤除气,烘烤温度为300°C,时间为4小时。 以上行波管用微型溅射离子栗的抽速测试方法,微型溅射离子栗的工作电压为 3500V,磁场强度为1100高斯。 本专利技术测量微型溅射离子栗抽速的方法称为动态流导法。 根据瞬间排气方程有如下公式: ⑴ 式中:S-离子栗对测试室的抽速 微型栗的抽速为:tf) 式中:Cp为排气管的流导() 式中:d为排气管直径,L为排气管长度,单位为mm。 因此通过进气调节,可以测量出若干组Pi、P2的数值,标准流导的数值是固定的。 然后利用式(2),即可计算出Ss。 有益效果:本专利技术所述的行波管用微型溅射离子栗的抽速装置及其微型溅射离子 栗的抽速测定方法和现有技术相比具有以下优点: 本专利技术所述的行波管用微型溅射离子栗的抽速装置,结构设计合理,操作方便,测 量结果准确。 本专利技术提供的微型溅射离子栗的抽速测定方法,可操作性强,计算结果准确,可快 速准确的测定行波管用微型溅射离子栗的抽速,本专利技术可在1X10 3~1X10 4Pa压力下,测 试气体为氮气时,对微型溅射离子栗的抽速的测定范围为1~8L/s,可为微型溅射离子栗 的性能检测提供科学依据。【附图说明】 图1为本专利技术所述的行波管用微型溅射离子栗的抽速装置的结构示意图。 具体实施方案 下面结合附图和具体实施例,进一步阐明本专利技术,应理解这些实施例仅用于说明 本专利技术而不用于限制本专利技术的范围,在阅读了本专利技术之后,本领域技术人员对本专利技术的各 种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。如图1所示,一种行波管用微型溅射离子栗的抽速装置,它包括:充气室(1)、与充 气室⑴相连的测试室(2),与测试室⑵相连的第一阀门(3),与第一阀门(3)相连的机 械栗(4),与机械栗相连的第二阀门(5),与第二阀门(5)相连的分子栗(6); 所述的充气室(1)和测试室(2)均连接有电离计(7); 所述的测试室(2)与微型溅射离子栗(8)通过排气管(9)相连; 所述的充气室(1)上连接有充气管(10)。 以上所述的行波管用微型溅射离子栗的抽速装置,充气室(1)与测试室(2)之间 安装有标准流导C为1. 31当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种行波管用微型溅射离子泵的抽速装置,其特征在于,它包括:充气室(1)、与充气室(1)相连的测试室(2),与测试室(2)相连的第一阀门(3),与第一阀门(3)相连的机械泵(4),与机械泵相连的第二阀门(5),与第二阀门(5)相连的分子泵(6);所述的充气室(1)和测试室(2)均连接有电离计(7);所述的测试室(2)与微型溅射离子泵(8)通过排气管(9)相连;所述的充气室(1)上连接有充气管(10)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:梁田董笑瑜杨磊孙自强周培章刘洋李春月
申请(专利权)人:南京三乐电子信息产业集团有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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