抗蚀剂剥离剂组合物和利用其剥离抗蚀剂的方法技术

本发明专利技术提供了一种抗蚀剂剥离剂组合物，其包括40至55重量％的丙酰胺化合物、35至55重量％的伯醇、和0.1至20重量％的具有1至10个碳原子的烷醇胺，由于采用高沸点的伯醇和烷醇胺，其具有对抗蚀剂的高溶解性、生态友好和经济优势，并且取得显著增加的剥离能力和溶解性，因而改善了生产收益；以及一种利用所述组合物剥离抗蚀剂的方法。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】 专利
本专利技术涉及。 专利技术背景 最近，随着使用平板显示装置的增加，对其的各种要求也已增加。 随着平板显示装置变得更大，需要提高配线中的信号速率。因此，与铝相比，比电 阻低的铜已经实际上用作配线材料。还有，因为平板显示装置需要具有高分辨率，为了增加 每单位面积的像素数量，配线宽度应该降低。 此外，在制造平板显示装置中通常用于形成图形的光刻工艺是指一系列过程，亦 即，在衬底上施加光致抗蚀剂，将其曝光，进行干法或湿法蚀刻以形成图形，和通过剥离剂 除去残留在金属配线上的光致抗蚀剂残余物。除了上述要求之外，这进而要求用于这样的 剥离过程的剥离剂具备较高的性能。 更特别是，在干法蚀刻之后除去蚀刻残余物的能力增加以及经济优势例如被处理 的平板衬底数量增加是需要的。此外，增加金属配线以及铜的腐蚀抑制能力是必要的。 韩国专利登记No. 10-0950779公开了含水的光致抗蚀剂剥离剂组合物，其是包括 叔烷醇胺、水和有机溶剂的弱碱性组合物。该专利的有利之处在于具有优异的防止铝和铜 金属配线腐蚀与除去抗蚀剂的性能。然而，它也导致了对抗蚀剂的溶解性不能增加的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的一个目的是提供抗蚀剂剥离剂组合物，其具有对抗蚀剂的高溶解 性并且能够改善除去（剥离）蚀刻残余物以及抗蚀剂图形的能力。 本专利技术的另一个目的是提供抗蚀剂剥离剂组合物，其能够在抗蚀剂剥离之后最小 化溶解的抗蚀剂以及剥离剂的再吸附和/或再附着。 此外，本专利技术的另一个目的是提供具有生态友好和经济优势并且能够增加生产收 益的抗蚀剂剥离剂组合物。 本专利技术的以上目的将通过以下特性达到： (1)抗蚀剂剥离剂组合物包括：40至55重量％的丙酰胺化合物；35至55重量％ 的伯醇；和〇. 1至20重量％的具有1至10个碳原子的烷醇胺。 (2)根据上述⑴的组合物，其中所述丙酰胺化合物是选自包含3-甲氧 基-N，N-二甲基丙酰胺、3- (2-乙基己氧基）-N，N-二甲基丙酰胺和3- 丁氧基-N，N-二甲基 丙酰胺的组中的至少一种。 (3)根据上述（1)的组合物，其中所述伯醇是选自包含以下物质的组中的至少一 种：四氢糠醇，羟甲基环戊烯，4-羟甲基-1，3-二氧戊环，2-甲基-4-羟甲基-1，3-二氧戊 环，2, 2-二甲基-1，3-二氧戊环-4-甲醇，1，3-丙二醇，1，4- 丁二醇，2-甲氧基乙醇，乙二 醇单甲醚，乙二醇单乙醚，乙二醇单异丙醚，乙二醇单丁醚，二乙二醇单甲醚，二乙二醇单乙 醚，二乙二醇单异丙醚，二乙二醇单丁醚，三乙二醇单甲醚，三乙二醇单乙醚，三乙二醇单异 丙醚，三乙二醇单丁醚，聚乙二醇单甲醚，聚乙二醇单丁醚，二乙二醇，三乙二醇，异丙二醇 和糖醇。 (4)根据上述（1)的组合物，其中所述烷醇胺是选自包含以下物质的组中的至少 一种：单乙醇胺，二乙醇胺，三乙醇胺，单丙醇胺，2-(乙氨基）乙醇，2-(甲氨基）乙醇，N-甲 基二乙醇胺，N，N-二甲基乙醇胺，N，N-二乙氨基乙醇，2-(2_氨基乙氨基）-1_乙醇，1-氨 基-2-丙醇，2-氨基-1-丙醇，3-氨基-1-丙醇，4-氨基-1- 丁醇，二丁醇胺，（甲氧基甲 基）二乙醇胺，（羟基乙氧基甲基）二乙胺，甲基（甲氧基甲基）氨基乙醇，甲基（丁氧基 甲基）氨基乙醇，2-(2-氨基乙氧基）乙醇，1-(2-羟乙基）哌嗪，1-(2-羟乙基）甲基哌嗪， N-(2-羟乙基）吗啉和N-(3-羟丙基）吗啉。 (5)根据上述（1)的组合物，其还包括抗腐蚀剂，选自包含唑类化合物，醌类化合 物，具有1至20碳原子烷基的烷基没食子酸酯类化合物，和有机酸酰胺酯类化合物的组。 (6)剥离抗蚀剂的方法，其包括利用上述（1)至（5)任一项所述的剥离剂组合物， 剥离在蚀刻过程之后，在其上具有沉积的导电金属膜的衬底之上残留的抗蚀剂残余物。。 (7)制造图像显示装置的方法，所述方法包括根据上述（6)的抗蚀剂剥离方法。 本专利技术的抗蚀剂剥离剂组合物对所述抗蚀剂具有高溶解性和优异的除去（剥离） 抗蚀剂图形以及干法/湿法蚀刻残余物的能力。 此外，本专利技术的抗蚀剂剥离剂组合物能够使所述剥离剂在剥离抗蚀剂之后用去离 子水清洗期间易被去除，从而使所述剥离剂和所述溶解的抗蚀剂的再吸附和/或再附着最 小化。 此外，由于利用了高沸点的伯醇和烷醇胺，本专利技术的抗蚀剂剥离剂组合物是生态 友好的，具有高经济优势并达到显著增加的剥离能力和溶解性，因而改善了生产收益。 因此，本专利技术的抗蚀剂剥离剂组合物可以有效用于制造平板显示装置的工艺，所 述平板显示装置具有微细图形以便达到高分辨率，和利用金属配线制造平板显示装置的工 〇【具体实施方式】 本专利技术提供了抗蚀剂剥离剂组合物，其包括40至55重量％ ('wt%'）的丙酰胺化 合物、35至55wt%的伯醇和0. 1至20wt%的具有1至10个碳原子的烷醇胺，由于使用高沸 点的伯醇和烷醇胺，从而具有抗蚀剂高溶解性、生态友好和经济优势，并达到显著增加的剥 离能力和溶解性，因而改善生产收益，本专利技术还提供了利用所述组合物剥离抗蚀剂的方法。 在下文中，将详细描述本专利技术。 本专利技术的抗蚀剂剥离剂组合物包括丙酰胺化合物以溶解和均匀分散胶凝的抗蚀 剂聚合物，从而将其溶剂化。因此，它能使烷醇胺在短时间内迅速渗透到固化的光致抗蚀剂 中，从而改善剥离能力。此外，它允许在剥离抗蚀剂之后用去离子水清洗期间，所述剥离剂 容易被水除去，从而使所述剥离剂和所述溶解的抗蚀剂的再吸附和/或再附着最小化。 与根据环境禁令作为危险物质的甲酰胺化合物相比，所述丙酰胺化合物是高安全 性的生态友好溶剂。此外，与乙酰胺化合物相比，所述丙酰胺化合物具有低蒸气压，即使当 它在高温下使用时也很少挥发，从而证明了在宽范围内的性能并且在后面的再循环过程中 以高回收率收集，从而达到经济优势。 根据本专利技术的丙酰胺化合物还可以包括在氮原子上具有其他非氢取代基的化合 物。 所述丙酰胺化合物的具体例子可以是相关领域中已知的任何一种，对其没有特别 的限制，并且优选包括3-甲氧基-N，N-二甲基丙酰胺，3-(2-乙基己氧基）-N，N-二甲基丙 酰胺和3- 丁氧基-N，N二甲基丙酰胺，其单独使用或者以其两种或更多种的组合使用。 根据本专利技术的丙酰胺化合物的含量范围可以从40至55wt%，并优选从45至 50wt%。如果其含量小于40wt%，在溶液中包含溶解的光致抗蚀剂的能力降低，引起平板处 理性能劣化的问题。当其含量超过55wt%时，它导致其他成分的含量降低，因此引起金属腐 蚀并影响其剥离能力。 本专利技术的抗蚀剂剥离剂组合物还可以包括伯醇。 所述伯醇可以改善在衬底顶部的润湿性，从而有助于改善去离子水的清洗能力（' 可清洗性'），并可以起到降低在处理期间出现由于光致抗蚀剂和水之间接触而发生染污的 可能性的功能。这样的伯醇化合物可以是指各具有与碳原子键合的一个烷基和与该碳原子 连接的羟基的全部化合物。 在此使用的伯醇可以是相关领域已知的任何一种，对其没有特别的限制。优选地， 可以例举四氢糠醇，羟甲基环戊烯，4-羟甲基-1，3-二氧戊环，2-甲基-4-羟甲基-1，3-二 氧戊环，2, 2-二甲基-1，3-二氧戊环-4-甲醇，1，3-丙二醇，1，4- 丁二醇，2-甲氧基乙醇， 乙二醇单甲醚，乙二醇本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抗蚀剂剥离剂组合物，其包含：40至55重量％的丙酰胺化合物；35至55重量％的伯醇；和0.1至20重量％的具有1至10个碳原子的烷醇胺。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李喻珍，金圣植，房淳洪，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR