负型感光性有机‑无机混合绝缘膜组合物制造技术

技术编号:12584918 阅读:491 留言:0更新日期:2015-12-24 01:22
本发明专利技术涉及负型感光性有机‑无机混合绝缘膜组合物,根据本发明专利技术的负型感光性有机‑无机混合绝缘膜组合物可通过将以往的SiNx钝化(Passivation)/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双层结构形成为单层(layer)来实现工序简化和生产费用降低,不仅灵敏度、分辨率、工艺窗口、透明性、耐热变色性、平坦度等性能优异,尤其能够实现低电容率绝缘膜,从而能够降低耗电,并且能够消除残影、串扰(Crosstalk)和阈值电压的位移(Shift)现象。此外,由于以优异的耐热性而能够实现低脱气(Outgassing),因此能够确保优异的面板(Panel)可靠性。由此,在多种多样的显示器中不仅能够有效地用于钝化绝缘膜、栅极绝缘膜,还能够用于平坦化膜等。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物
本专利技术涉及负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,更详细而言,涉及如下负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物:可通过将以往的SiNx钝化(Passivation)/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双层结构形成为单层(layer)来实现工序简化和生产费用降低,不仅灵敏度、分辨率、工艺窗口(Processmargin)、透明性、耐热变色性、平坦度等性能优异,尤其能够实现低电容率绝缘膜,从而能够降低耗电,并且能够消除残影、串扰(Crosstalk)和阈值电压的位移(Shift)现象,此外,由于因优异的耐热性而能够实现低脱气(Outgassing),因此能够确保优异的面板(Panel)可靠性,由此,在多种多样的显示器(Display)中不仅可有效地用于钝化绝缘膜、栅极(Gate)绝缘膜,还可用于平坦化膜等。
技术介绍
近年来,在TFT型液晶显示元件或集成电路元件中,为了使配置于层间的配线之间绝缘且提高开口率,使用由SiNx钝化(Passivation)和丙烯酸系感光性有机绝缘膜构成的双层膜。在SiNx膜的情况下,其通过CVD加工而形成,在丙烯酸系感光性有机绝缘膜的情况下,其利用光学(Photo)处理来形成,从而由加工时间导致的生产能力问题严重。对于以往的绝缘膜,当单独形成由上述用CVD形成的SiNx膜时,存在显示器的开口率降低的问题,并且随着显示器(Display)的大型化,生产线中蒸镀装备所占的面积非常大,从而在设备大型化时导致较大的负担。此外,当单独形成由通过以往光学加工的丙烯酸系感光性有机绝缘膜时,会因残影、串扰(Crosstalk)和阈值电压值的位移(Shift)现象等而使显示器产生电性不良。已知其原因在于,有机物质所特有的缺点即膜上的缺陷而导致的漏电(CurrentLeakage)。因此,最近对于以有机-无机混合技术为基础,仅以光学加工就可形成的单层绝缘膜的需求变大,并且正积极进行着对此的技术开发。
技术实现思路
技术课题为了解决如上所述的以往技术的问题,本专利技术提供一种负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物、使用该组合物的显示器元件的图案形成方法和将负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物的固化物用于绝缘膜的显示器元件,所述负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物可通过将以往的SiNx钝化/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双层结构形成为单层来实现工序简化和生产费用降低,不仅灵敏度、分辨率、工艺窗口、透明性、耐热变色性、平坦度等性能优异,尤其可实现低电容率绝缘膜,从而能够降低耗电,并且能够消除残影、串扰和阈值电压的位移现象,此外,由于因优异的耐热性而能够实现低脱气,因此能够确保优异的面板可靠性,由此,在多种多样的显示器中不仅可有效地用于钝化绝缘膜、栅极绝缘膜,还可用于平坦化膜等。解决课题的方法为了实现上述目的,本专利技术提供一种负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,其特征在于,包含:a)硅氧烷共聚物,其聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1,000至20,000,是将i)下述化学式1所表示的包含1-3个苯基或碳原子数1-4的烷基的反应性硅烷单体、ii)下述化学式2所表示的4官能反应性硅烷单体、和iii)下述化学式3所表示的包含丙烯酰基或乙烯基的反应性硅烷单体在催化剂下进行水解和缩聚而得的;b)光引发剂;和c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体或低聚物:[化学式1](R1)nSi(R2)4-n在上述式中,R1各自独立地为苯基或碳原子数1-4的烷基,R2各自独立地为碳原子数1-4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基,n为1-3的整数;[化学式2]Si(R3)4在上述式中,R3各自独立地为碳原子数1-4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基;[化学式3](R4)nSi[(R5)(R6)]4-n在上述式中,R4各自独立地为碳原子数1-4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基,R5各自独立地为丙烯酰基或乙烯基,R6各自独立地为碳原子数1-4的烷基,n为1-3的整数。优选地,上述负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物的特征在于,包含:a)100重量份的硅氧烷共聚物,其由i)上述化学式1所表示的包含1-3个苯基或碳原子数1-4的烷基的反应性硅烷10至50重量份、ii)上述化学式2所表示的4官能反应性硅烷20至50重量份、和iii)上述化学式3所表示的包含丙烯酰基或乙烯基的反应性硅烷10至40重量份构成;b)相对于上述a)的硅氧烷共聚物100重量份为0.1至30重量份的上述光引发剂;和c)相对于上述a)的硅氧烷共聚物100重量份为5至100重量份的具有乙烯性不饱和键的多官能性单体或低聚物。此外,本专利技术提供一种显示器元件的图案形成方法,其特征在于,使用上述负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物。此外,本专利技术提供一种显示器元件,其特征在于,包含上述负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物的固化物。优选上述负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物的固化物用作钝化绝缘膜、栅极绝缘膜或平坦化膜。专利技术效果根据本专利技术的负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物可通过将以往的SiNx钝化/丙烯酸系感光性有机绝缘膜双层结构形成为单层来实现工序简化和生产费用降低,不仅灵敏度、分辨率、工艺窗口、透明性、耐热变色性、平坦度等性能优异,尤其能够实现低电容率绝缘膜,从而能够降低耗电,并且能够消除残影、串扰和阈值电压的位移现象,此外,由于因优异的耐热性而能够实现低脱气,因此能够确保优异的面板可靠性,由此,在多种多样的显示器中不仅可有效地用于钝化绝缘膜、栅极绝缘膜,还可用于平坦化膜等。具体实施方式本专利技术的负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物的特征在于,包含:a)硅氧烷共聚物,其聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1,000至20,000,是将i)下述化学式1所表示的包含1-3个苯基或碳原子数1-4的烷基的反应性硅烷单体、ii)下述化学式2所表示的4官能反应性硅烷单体、和iii)下述化学式3所表示的包含丙烯酰基或乙烯基的反应性硅烷单体在催化剂下进行水解和缩合而得的;b)光引发剂;和c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体或低聚物:[化学式1](R1)nSi(R2)4-n在上述式中,R1为苯基或碳原子数1-4的烷基,R2各自独立地为碳原子数1-4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基,n为1-3的整数;[化学式2]Si(R3)4在上述式中,R3各自独立地为碳原子数1-4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基;[化学式3](R4)nSi[(R5)(R6)]4-n在上述中,R4各自独立地为碳原子数1-4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基,R5各自独立地为丙烯酰基或乙烯基,R6各自独立地为碳原子数1-4的烷基,n为1-3的整数。优选地,上述负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物的特征在于,包含:a)100重量份的硅氧烷共聚物,其由i)上述化学式1所表示的包含1-3个苯基或碳原子数1-4的烷基的反应性硅烷10至50重量份、ii)上述化学式2所表示的4官能反应性硅烷20至50重量份、和iii)上述化学式3所表示的包含丙烯酰基或乙烯基的反应性硅烷10至40重量份构成;b)相对于上述a)的硅氧烷共聚物100重量份为0.1至30重量份的上述光引发剂;和c)相对于上述a)的硅氧烷共聚物100重量份为5至100重量份的具有乙烯性不饱和键的多官能性单体或本文档来自技高网
...

【技术保护点】
一种负型感光性有机‑无机混合绝缘膜组合物,其特征在于,包含:a)硅氧烷共聚物,其聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1,000至20,000,所述硅氧烷共聚物是将i)下述化学式1所表示的包含1‑3个苯基或碳原子数1‑4的烷基的反应性硅烷单体、ii)下述化学式2所表示的4官能反应性硅烷单体、和iii)下述化学式3所表示的包含丙烯酰基或乙烯基的反应性硅烷单体在催化剂下进行水解和缩聚而得的;b)光引发剂;和c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体和低聚物:[化学式1](R1)nSi(R2)4‑n在所述式中,R1为苯基或碳原子数1‑4的烷基,R2各自独立地为碳原子数1‑4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基,n为1‑3的整数;[化学式2]Si(R3)4在所述式中,R3各自独立地为碳原子数1‑4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基;[化学式3](R4)nSi[(R5)(R6)]4‑n在所述式中,R4各自独立地为碳原子数1‑4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基,R5各自独立地为丙烯酰基或乙烯基,R6各自独立地为碳原子数1‑4的烷基,n为1‑3的整数。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.04.10 KR 10-2013-00390611.一种负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,其包含:a)硅氧烷共聚物,其聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1,000至20,000,所述硅氧烷共聚物是将i)下述化学式1所表示的包含1-3个苯基或碳原子数1-4的烷基的反应性硅烷单体、ii)下述化学式2所表示的4官能反应性硅烷单体、iii)下述化学式3所表示的包含丙烯酰基或乙烯基的反应性硅烷单体、和iv)下述化学式4所表示的反应性硅烷在催化剂下进行水解和缩聚而得的;b)光引发剂;和c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体或低聚物:[化学式1](R1)nSi(R2)4-n在所述式中,R1为苯基或碳原子数1-4的烷基,R2各自独立地为碳原子数1-4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基,n为1-3的整数;[化学式2]Si(R3)4在所述式中,R3各自独立地为碳原子数1-4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基;[化学式3](R4)nSi[(R5)(R6)]4-n在所述式中,R4各自独立地为碳原子数1-4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基,R5各自独立地为丙烯酰基或乙烯基,R6各自独立地为碳原子数1-4的烷基,n为1-3的整数,[化学式4](R7)nSi[(R8)(R9)]4-n在所述式中,R7各自独立地为碳原子数1-4的烷氧基、苯氧基或乙酰氧基,R8各自独立地为碳原子数1-4的烷基,R9各自独立地为氢、环氧基、己烯基、甲基丙烯酰基或烯丙基,n为1-3的整数。2.根据权利要求1所述的负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,其包含:a)100重量份的硅氧烷共聚物,其由i)所述化学式1所表示的包含1-3个苯基或碳原子数1-4的烷基的反应性硅烷10至50重量份、ii)所述化学式2所表示的4官能反应性硅烷20至50重量份、iii)所述化学式3所表示的包含丙烯酰基或乙烯基的反应性硅烷10至40重量份、和iv)所述化学式4所表示的反应性硅烷10-50重量份构成;b)相对于所述a)硅氧烷共聚物100重量份为0.1至30重量份的所述光引发剂;和c)相对于所述a)硅氧烷共聚物100重量份为5至100重量份的具有乙烯性不饱和键的多官能性单体或低聚物。3.根据权利要求1所述的负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,其中,所述b)光引发剂为选自由2,4-双三氯甲基-6-对甲氧基苯乙烯基-均三嗪、2-对甲氧基苯乙烯基-4,6-双三氯甲基-均三嗪、2,4-三氯甲基-6-三嗪、2,4-三氯甲基-4-甲基萘基-6-三嗪、2-(邻氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻氯苯基)-4,5-二(间甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(邻氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2,4-二(对甲氧基苯基)-5-苯基咪唑二聚物、2-(2,4-二甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(对甲基巯基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、[1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(邻乙酰基肟)、二苯甲酮、对(二乙基氨基)二苯甲酮、2,2-二氯-4-苯氧基苯乙酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、2-十二烷基噻吨酮、2,4-二甲基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,2-双-2-氯苯基-4,5,4,5-四苯基-2-1,2-双咪唑、艳佳固369、艳佳固651、艳佳固907、得牢固TPO、艳佳固819、OXE-02、OXE-01、N-1919、NCI-831和NCI-930组成的组中的1种以上。4.根据权利要求1所述的负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,其中,所述c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体为选自由二丙烯酸1,4-丁二醇酯、二丙烯酸1,3-丁二醇酯、二丙烯酸乙二醇酯、三羟甲基丙烷二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸季戊四醇酯、四丙烯酸季戊四醇酯、二丙烯酸三乙二醇酯、二丙烯酸聚乙二醇酯、六二丙烯酸二季戊四醇酯、三二丙烯酸二季戊四醇酯、二丙烯酸二季戊四醇酯、三丙烯酸山梨糖醇酯、双酚A二丙烯酸酯衍生物、聚丙烯酸二季戊四醇酯和它们的甲基丙烯酸酯类组成的组中的1种以上。5.根据权利要求1所述的负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,其中,所述c)具有乙烯性不饱和键的多官能性低聚物为选自由脂肪族氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物、芳香族氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物、环氧丙烯酸酯低聚物、环氧甲基丙烯酸酯低聚物、...

【专利技术属性】
技术研发人员:吕泰勋尹赫敏李相勋金珍善尹柱豹金东明黄致容金南伊边正铉
申请(专利权)人:株式会社东进世美肯
类型:发明
国别省市:韩国;KR

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1