基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备制造技术

技术编号:12558010 阅读:78 留言:0更新日期:2015-12-21 03:41
本案涉及基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,包括:送风单元,其包括多个纵置的风机过滤机组;第一回风单元,其设置在洁净室与送风单元的出风端相对的另一侧;第二回风单元,其设置在洁净室的顶部,包括多个第二排风机组;第三回风单元,其设置在洁净室的顶部,并与第二回风单元保持间隔,第三回风单元包括多个第三排风机组;其中,在排风通道的拐角处设置有弧形导风件,弧形导风件的弧形面上设置有缓冲层。本案通过对排风通道的结构优化,增加了排风的顺畅度,改善了积尘影响,减小了气体流通时的噪音污染;对送风单元结构的改进,提高了装置的结构牢固性和密封效果,组装方便,利于模块化生产和组装。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种洁净室净化装置,特别是涉及一种基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,尤其涉及一种用于薄膜生产领域的基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备。
技术介绍
汽车反光膜、平板显示器保护膜等的制造和加工,其精度、纯度要求很严,通常都在洁净环境中生产。这种洁净环境要求随着产品指标的提高而不断提高。原来在万级条件下的生产环境,现在普遍提高到千级,甚至是百级。另一方面,考虑到薄膜生产过程的特殊性,若直接套用常用的垂直送风形式,存在着不少弊端:I)对于整条生产线,薄膜上表面和下表面保护气流不对称:从附图1可以看出,垂直的由上而下的平行气流,仅对薄膜生产过程中的上表面有洁净保护作用,而对薄膜的下表面及下部运动的薄膜洁净风无法直接吹到表面,因此很难或根本无法起到洁净保护作用;2)因气流被横向的薄膜卷材所阻挡,整体流向发生明显变化,所以,很容易造成旋流多,死角多,难以提高洁净等级,如附图2所示;3)风机过滤机组(FFU)用量大,能耗高,投入和运营成本高。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于最大程度地提高平行流(层流)的实际效能,本案采用水平层流的送风模式。洁净送风气流与薄膜产品的走向平行,使得所有的薄膜生产过程的暴露面均内得到很好的保护,使自净时间大大缩短,如附图3所不O但若要将现有技术中的垂直送风装置改为水平送风装置,需要克服多个结构上的难题,如密封性、稳定性、组装便捷性、使用灵活性等等,否则将导致洁净的效果难以达到百级,且适用面窄,组装效率低下。因此,本技术的另一目的在于通过对百级洁净室循环净化设备结构上的改进,来提高它的结构稳定性、净化能力和效率、组装便捷度,增加它的使用灵活性,以期能够使该净化设备实现模块化生产、组装、多场合应用和对突发状况的灵活应急处置。为实现上述目的,本技术通过以下技术方案实现:—种基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,包括:送风单元,其包括多个纵置的风机过滤机组,所述纵置的风机过滤机组用于提供水平层流风向,所述送风单元的出风端位于洁净室内部一侧,所述送风单元的吸风端位于洁净室外部并与洁净室外部的排风通道相连;第一回风单元,其设置在所述洁净室与所述送风单元的出风端相对的另一侧,包括多个第一排风机组,所述第一排风机组将洁净室内部的空气导入至洁净室外部的排风通道内;第二回风单元,其设置在所述洁净室的顶部,包括多个第二排风机组,所述第二排风机组将洁净室内部的空气导入至洁净室外部的排风通道内;第三回风单元,其设置在所述洁净室的顶部,并与所述第二回风单元保持间隔,所述第三回风单元包括多个第三排风机组,所述第三排风机组将洁净室内部的空气导入至洁净室外部的排风通道内;其中,在所述排风通道的拐角处设置有弧形导风件,所述弧形导风件的弧形面上设置有缓冲层。优选的是,所述的基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,其中,所述排风通道的内壁上设置有光滑层。优选的是,所述的基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,其中,所述光滑层为陶瓷层。优选的是,所述的基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,其中,还包括可滑动移动的隔断层,其设置在所述第二回风单元与第三回风单元之间,用于将洁净室内部空间进行隔断。优选的是,所述的基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,其中,所述送风单元还包括:框体,其由多个立柱和多个横梁围设成矩形网格并垂直于地面,每个网格设有容置所述风机过滤机组的空腔;所述风机过滤机组分别安置在所述每个网格的空腔内;在所述风机过滤机组与地面垂直的两个相对的侧面上分别设置为吸风面和出风面;多个风机过滤机组中的出风面通过连接件被拼接为所述的送风单元的出风端;所述横梁朝向所述吸风面的一侧开设有槽口;收紧机构,其包括扣压板和丝杆,所述扣压板竖直贴设于所述风机过滤机组的吸风面上,所述丝杆穿过所述扣压板,所述丝杆的两端分别设有螺母,其中一端的螺母插入所述横梁的槽口内,另一端的螺母通过旋拧的方式使扣压板实现对多个风机过滤机组的收紧锁固;其中,所述连接件与所述出风面的接触面上设置有密封层。优选的是,所述的基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,其中,所述扣压板为一体成型。优选的是,所述的基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,其中,所述连接件为T型龙骨。优选的是,所述的基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,其中,所述风机过滤机组与所处网格之间的缝隙处填充有密封垫片。本技术的有益效果是:1)通过在洁净室顶部设置两个回风单元,使得洁净室在遇到突发状况时,能对洁净室内部的净化作出应急处置;2)通过对排风通道的结构优化,增加了排风的顺畅度,改善了积尘影响,减小了气体流通时的噪音污染;3)送风单元结构的改进,克服了无法像垂直送风装置中依赖重力实现密封的缺陷,提高了装置的结构牢固性和密封效果,使得整个装置能够更加高效、平稳地运行,减小了局部抖动而产生的噪音,组装快捷方便,实用性强,利于进行模块化生产和模块化组装。【附图说明】图1为应用在薄膜生产领域的采用垂直送风形式的示意图。图2为应用在薄膜生产领域的采用垂直送风时室内气流状况的示意图。图3为应用在薄膜生产领域的采用水平层流送风时室内气流状况示意图。图4为基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备的结构示意图。图5为循环净化设备中排风通道拐角处设置的弧形导风件的结构示意图。图6为循环净化设备中排风通道内壁所设置的光滑层的结构示意图。图7为循环净化设备中送风单元的背视图。图8为循环净化设备中送风单元的剖视图。【具体实施方式】下面结合附图对本技术做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。如图4-8所示,本案提供一实施例的基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,包括:送风单元1,其包括多个纵置的风机过滤机组2,纵置的风机过滤机组2用于提供水平层流风向,此处的纵置是相对于现有技术中采用吊顶式的FFU为横置形式而言的;送风单元的出风端3位于洁净室内部一侧,送风单元的吸风端4位于洁净室外部并与洁净室夕卜部的排风通道5相连;第一回风单元6,其设置在洁净室与送风单元的出风端3相对的另一侧,包括多个第一排风机组7,第一排风机组7将洁净室内部的空气导入至洁净室外部的排风通道5内;第二回风单元8,其设置在洁净室的顶部,包括多个第二排风机组9,第二排风机组9将洁净室内部的空气导入至洁净室外部的排风通道5内;第三回风单元10,其设置在洁净室的顶部,并与第二回风单元8保持间隔,第三回风单元10包括多个第三排风机组11,第三当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于水平层流送风的百级洁净室循环净化设备,其特征在于,包括:送风单元,其包括多个纵置的风机过滤机组,所述纵置的风机过滤机组用于提供水平层流风向,所述送风单元的出风端位于洁净室内部一侧,所述送风单元的吸风端位于洁净室外部并与洁净室外部的排风通道相连;第一回风单元,其设置在所述洁净室与所述送风单元的出风端相对的另一侧,包括多个第一排风机组,所述第一排风机组将洁净室内部的空气导入至洁净室外部的排风通道内;第二回风单元,其设置在所述洁净室的顶部,包括多个第二排风机组,所述第二排风机组将洁净室内部的空气导入至洁净室外部的排风通道内;第三回风单元,其设置在所述洁净室的顶部,并与所述第二回风单元保持间隔,所述第三回风单元包括多个第三排风机组,所述第三排风机组将洁净室内部的空气导入至洁净室外部的排风通道内;其中,在所述排风通道的拐角处设置有弧形导风件,所述弧形导风件的弧形面上设置有缓冲层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:许洪章毕常耀耿佐力
申请(专利权)人:江苏苏净科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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