悬式透镜系统及用于制造悬式透镜系统的晶圆级方法技术方案

技术编号:12389254 阅读:114 留言:0更新日期:2015-11-25 22:29
一种用于使场景成像的悬式透镜系统包含:(a)用于自所述场景接收光的单件透镜,其中所述单件透镜包含凹表面;以及(b)包含面向所述凹表面的一侧的基板,其用于固持所述单件透镜,其中所述基板具有非零光透射且仅接触所述单件透镜的远离所述凹表面的部分。一种用于制造悬式透镜系统的晶圆级方法包含:模制透镜阵列,其中所述透镜阵列的每一透镜均包含凹表面,以及将所述透镜阵列结合至具有非零光透射的基板的表面,以使得所述凹表面面向所述基板,从而形成悬式透镜晶圆。

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
随着在广泛多种应用中对成像系统的使用的增加,对传递高效能的紧密相机系统的需求渐增。在诸如消费者电子设备、机器视觉、汽车以及医学诊断学的领域中发现此等应用。效能需求取决于特定应用。在诸如监视以及汽车安全的一些应用中,需要大的视野。诸如携带型消费者器件的其他应用可能需要高质量成像连同非常紧密的外观尺寸以及低的成本。受此需求的驱使,相机制造商正使用来自半导体产业的制造技术来开发晶圆级相机。晶圆级相机是其中以晶圆级制造个别部件的相机。透镜晶圆以及影像传感器晶圆被切割以将个别透镜以及个别影像传感器单一化,所述个别透镜以及个别影像传感器随后被结合以产生个别晶圆级相机。晶圆级技术促进以低成本制造紧密相机系统。
技术实现思路
在一实施例中,用于使场景成像的悬式透镜系统包含:(a)用于自所述场景接收光的第一单件透镜,其中所述第一单件透镜包含第一凹表面;以及(b)包含面向所述第一凹表面的第一侧的基板,其用于固持所述第一单件透镜,其中所述基板具有非零光透射且仅接触所述第一单件透镜的远离所述第一凹表面的部分。在一实施例中,一种用于制造悬式透镜系统的晶圆级方法包含:模制第一透镜阵列,其中所述第一透镜阵列的每一透镜均包含凹表面;以及将所述第一透镜阵列结合至具有非零光透射的基板的第一表面,以使得所述凹表面面向所述基板,从而形成悬式透镜晶圆。附图说明图1说明根据一实施例的具有包含悬式透镜的成像物镜的晶圆级相机。图2说明使用习知晶圆级制造方法所制造的先前技术成像系统。图3说明根据一实施例的具有悬式透镜成像物镜的晶圆级成像系统。图4是根据一实施例的说明用于制造悬式透镜系统的晶圆级方法的流程图。图5说明根据一实施例的透镜阵列、基板、悬式透镜晶圆、悬式透镜系统以及包含悬式透镜系统的成像系统,以上各者皆可藉由图4中的方法形成或皆可用于图4的方法中。图6是根据一实施例的说明用于制造包含两个悬式透镜的悬式透镜系统的晶圆级方法的流程图。图7说明根据一实施例的悬式透镜晶圆、双层悬式透镜系统以及包含双层悬式透镜系统的成像系统,以上各者皆可藉由图6的方法形成或皆可用于图6的方法中。图8说明根据一实施例的用于在单一模制步骤中制造透镜阵列的一种例示性方法。图9说明根据一实施例的图8的方法的步骤。图10说明根据一实施例的悬式透镜系统,其中悬式透镜包含或不包含材料间隔物部分。图11说明根据一实施例的双层悬式透镜系统,其中悬式透镜包含或不包含材料间隔物部分。图12说明根据一实施例的包含堆栈的多个悬式透镜系统的一个例示性堆栈透镜系统。【符号说明】100:晶圆级相机,110:成像物镜,112:悬式透镜,113:凹表面,114:第二光学表面,115:基板,116:其他材料,120:影像传感器,200:先前技术成像系统,210:凹凸透镜,211:透镜组件,212:透镜组件,215:基板,216:微结构,217:微结构,220:凹凸透镜,221:透镜组件,222:透镜组件,225:基板,226:微结构,227:微结构,230:影像传感器,235:像素阵列,240:间隔物,250:间隔物,260:挡止孔隙,270:视野角,300:成像系统,310:悬式凹凸透镜,315:基板,320:悬式凹凸透镜,350:间隔物,360:挡止孔隙,370:视野角,510:透镜阵列,511:透镜,512:凹表面,513:光学表面,520:基板,522:挡止孔隙,530:悬式透镜晶圆,540:悬式透镜系统,541:基板,550:悬式透镜系统,551:波长滤波器,552:间隔物,560:成像系统,561:影像传感器,562:间隔物,570:成像系统,710:双层悬式透镜晶圆,711:透镜阵列,712:悬式透镜,713:凹表面,714:光学表面,720:双层悬式透镜系统,730:双层悬式透镜系统,731:影像传感器,732:间隔物,740:成像系统,750:成像系统,762:间隔物,901:图式,902:图式,903:透镜阵列,904:透镜阵列,910:顶部模制工具,911:特征,920:底部模制工具,921:特征,922:凹区,930:聚合物树脂,931:聚合物树脂部分,932:聚合物树脂部分,933:透镜,934:过量聚合物,940:间隔物,941:材料部分,942:孔隙,950:UV光,961:切割线,962:切割线,1001:悬式透镜系统,1002:悬式透镜系统,1010:悬式透镜,1011:凹表面,1012:光学表面,1013:平面表面,1016:平面表面,1020:基板,1022:挡止孔隙,1025:材料间隔物部分,1030:悬式透镜,1040:基板,1101:悬式透镜系统,1102:悬式透镜系统,1130:悬式透镜,1131:凹表面,1132:光学表面,1133:平面表面,1140:悬式透镜,1145:材料间隔物部分,1146:平面表面,1200:堆栈透镜系统,1210:悬式透镜系统,1220:间隔物,1230:悬式透镜系统,1240:额外间隔物,1250:额外悬式透镜系统具体实施方式专利技术详述图1说明一个例示性晶圆级相机100。晶圆级相机100包含用于使场景成像至影像传感器120上的成像物镜110。成像物镜110包含由基板115固持的一个例示性悬式透镜112。基板115具有非零光透射。在一实施例中,基板115包含具有非零光透射并用于使光通过至悬式透镜112或使光自悬式透镜112通过的材料。在另一实施例中,基板115包含用于使光通过至悬式透镜112或使光自悬式透镜112通过的孔隙。悬式透镜112包含面向基板115的凹表面113。凹表面113弯曲远离基板115。因此,悬式透镜112自基板115悬垂。悬式透镜112包含第二光学表面114,所述第二光学表面背向基板115并用于使朝凹表面113或其有效部分传播的光通过或使自凹表面113或其有效部分传播的光通过。凹表面113的所述有效部分是凹表面113的与自场景行进至影像传感器120的光的通过相关联的部分。虽然在图1中被说明为凸面,但光学表面114可为凹面、凸面、平面或其组合。在一实施例中,基板115实质上为平面且仅接触悬式透镜112的实质上平面部分。在一实施例中,基板115的面向悬式透镜112的表面实质上为平面且仅接触悬式透镜112的实质上平面部分。悬式透镜112为单件透镜。术语「单件透镜」是指透镜,其中所述透镜的位于光学表面之间的部分由单一零件组成,所述单一零件由单一材料制成而无介入材料、基板或媒介。因此,悬式透镜11本文档来自技高网...
<a href="http://www.xjishu.com/zhuanli/20/CN105093470.html" title="悬式透镜系统及用于制造悬式透镜系统的晶圆级方法原文来自X技术">悬式透镜系统及用于制造悬式透镜系统的晶圆级方法</a>

【技术保护点】
一种用于使场景成像的悬式透镜系统,其包括:用于自所述场景接收光的第一单件透镜,所述第一单件透镜包含第一凹表面;以及包含面向所述第一凹表面的第一侧的基板,其用于固持所述第一单件透镜,所述基板具有非零光透射且仅接触所述第一单件透镜的远离所述第一凹表面的部分。

【技术特征摘要】
2014.05.13 US 14/276,5271.一种用于使场景成像的悬式透镜系统,其包括:
用于自所述场景接收光的第一单件透镜,所述第一单件透镜包含第一凹表面;以及
包含面向所述第一凹表面的第一侧的基板,其用于固持所述第一单件透镜,所述基板具
有非零光透射且仅接触所述第一单件透镜的远离所述第一凹表面的部分。
2.根据权利要求1所述的悬式透镜系统,所述基板实质上为平面且仅接触所述第一单
件透镜的实质上平面部分。
3.根据权利要求1所述的悬式透镜系统,其进一步包括用于自从所述场景穿过所述第
一单件透镜的至少一部分光产生电子影像的影像传感器,所述第一单件透镜在与所述影像传
感器的光接收表面平行的维度中具有不大于所述影像传感器的各别范围的范围。
4.根据权利要求1所述的悬式透镜系统,所述基板包括挡止孔隙。
5.根据权利要求1所述的悬式透镜系统,所述基板包括用于对自所述场景穿过所述第
一单件透镜的至少一部分光进行波长滤波的滤波器。
6.根据权利要求1所述的悬式透镜系统,所述第一单件透镜是凹凸透镜。
7.根据权利要求6所述的悬式透镜系统,其进一步包括用于接收自所述场景穿过所述
第一单件透镜的至少一部分光的第二单件透镜,所述第二单件透镜包含面向所述第一凹表面
的第二凹表面,所述第二单件透镜由所述基板的与所述第一侧相反的第二侧固持,所述基板
仅接触所述第二单件透镜的远离所述第二凹表面的部分。
8.根据权利要求7所述的悬式透镜系统,所述第二单件透镜是凹凸透镜。
9.根据权利要求7所述的悬式透镜系统,其进一步包括:
间隔物,其安置于所述第二单件透镜上且仅接触所述第二单件透镜的实质上平面部分;
以及
自所述间隔物悬垂的影像传感器,其用于产生自所述第二单件透镜传播至其的光的电子
影像。
10.根据权利要求9所述的悬式透镜系统,所述第一单件透镜以及所述第二单件透镜在
与所述影像传感器的光接收表面平行的维度中具有不大于所述影像传感器的各别范围的范
围。
11.根据权利要求1所述的悬式透镜系统,其进一步包括:
间隔物,其安置于所述第一单件透镜上且仅接触所述第一单件透镜的实质上平面部分;
以及
自所述间隔物悬垂的波长滤波器,其用于对自所述场景传播朝向所述第一单件透镜的光
进行滤波。
1...

【专利技术属性】
技术研发人员:万宗玮陈伟平
申请(专利权)人:全视技术有限公司
类型:发明
国别省市:美国;US

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1