一种半导体炉管设备的温度控制系统技术方案

本实用新型专利技术涉及半导体器件制造技术领域，尤其涉及一种半导体炉管设备的温度控制系统，通过增加数个外接温度控制器，每个所述温度控制器设定不同的温度，利用控制电路中的交流接触器根据外部输出信号在多个温度控制器之间自动切换，实现与温度控制器连接的加热带温度程序控制，避免手动操作失误的风险，且控制电路结构简单，成本低廉。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种半导体炉管设备的温度控制系统。
技术介绍
在半导体炉管设备运作过程中，气体管路大多需要加热以保证管路畅通以及管路内化学品特性稳定，现有的大多数半导体炉管设备都采用如图1所示包裹加热带，通过温度控制器来控制温度。这一方式需要手动设定温度控制器的预定值，且该温度在半导体炉管设备的运作过程中恒定不变，无法通过程序控制。实际运用中，很多情况下我们需要改变设定的管路温度以满足特定条件下的需要，这就需要工程师手动更改温度控制器的设定值，并在作业结束后恢复初始状态，并作口头和书面交接。为改变温度控制器的设定值，现有技术中也有少数机台采用可编程逻辑控制器(PLC)进行程序控制，可以在软件中自由设定加热带温度，但通常这种控制方式集成度较高，成本也会提高数倍。由此我们可以看出，现有的温度设定模式一旦有人为疏失，会使制程条件发生改变，导致产品报废；而若进行PLC程控升级改造，会花费大量的成本，大概每台设备需要花费数万美金。
技术实现思路
鉴于上述问题，本技术提供一种半导体炉管设备的温度控制系统，通过增加数个外接温度控制器，每个所述温度控制器设定不同的温度，利用控制电路中的交流接触器根据外部输出信号在多个温度控制器之间自动切换，实现与温度控制器连接的加热带温度程序控制，避免手动操作失误的风险，且控制电路结构简单，成本低廉。本技术解决上述技术问题所采用的技术方案为:提供一种半导体炉管设备的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制系统包括:内部温度控制器，设置有第一设定温度；外接温度控制器，设置有第二设定温度；控制电路，分别与所述内部温度控制器以及所述外接温度控制器连接；其中，所述控制电路中设置有交流接触器，利用该交流接触器来控制所述内部温度控制器或所述外接温度控制器的接通或断开，以使所述半导体炉管设备的工作温度在所述第一设定温度和所述第二设定温度之间切换。优选的，上述的温度控制系统，其中，所述控制电路还包括:加热带，分别与所述内部温度控制器以及所述外接温度控制器通过所述交流接触器连接；其中，所述交流接触器控制所述加热带与所述内部温度控制器连接，以将所述半导体炉管设备的工作温度加热到所述第一设定温度；或者控制所述加热带与所述外接温度控制器连接，以将所述半导体炉管设备的工作温度加热到所述第二设定温度。优选的，上述的温度控制系统，其中，所述半导体炉管设备包括:控制模块，分别与所述内部温度控制器和所述外接温度控制器连接；其中，所述控制模块发送控制信号，以启动所述内部温度控制器同时关闭所述外接温度控制器，或者关闭所述内部温度控制器同时启动所述外接温度控制器。优选的，上述的温度控制系统，其中，所述温度控制系统还包括:热电偶电路，分别与所述内部温度控制器以及所述外接温度控制器连接，以分别实现对所述半导体炉管设备工作温度的侦测。优选的，上述的温度控制系统，其中，所述温度控制系统还包括:供电电源，分别与所述内部温度控制器以及所述外接温度控制器连接，以提供给所述内部温度控制器和所述外接温度控制器电能。优选的，上述的温度控制系统，其中，所述外接温度控制器的输入输出规格与所述内部温度控制器的输入输出规格相同。—种半导体炉管设备的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制系统包括:若干温度控制器，分别设定有互不相同的若干固定温度；控制电路，分别与所述若干温度控制器连接；其中，所述控制电路中设置有交流接触器，所述交流接触器控制所述若干温度控制器的接通或断开，以切换所述半导体炉管设备的工作温度。优选的，上述的温度控制系统，其中，所述交流接触器每次仅与所述若干温度控制器中的一个温度控制器连接，以将所述半导体炉管设备的工作温度切换至由该温度控制器设定的固定温度。优选的，上述的温度控制系统，其中，所述控制电路还包括:加热带，分别与所述若干温度控制器通过所述交流接触器连接；其中，所述交流接触器控制所述加热带与所述若干温度控制器中的一个温度控制器连接，以将所述半导体炉管设备的温度切换至由该温度控制器设定的固定温度。优选的，上述的温度控制系统，其中，所述半导体炉管设备包括控制模块，分别与所述若干温度控制器连接；其中，所述控制模块发送控制信号，以启动所述若干温度控制器中的一个温度控制器，同时关闭除该一个温度控制器之外的所有剩余温度控制器。上述技术方案具有如下优点或有益效果:本技术提供的一种半导体炉管设备的温度控制系统，通过增加数个外接温度控制器，每个所述温度控制器设定不同的温度，利用控制电路中的交流接触器根据外部输出信号在多个温度控制器之间自动切换，实现与温度控制器连接的加热带温度程序控制，避免手动操作失误的风险，且控制电路结构简单，成本低廉。【附图说明】通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本技术的主旨。图1是现有技术中半导体炉管设备的温度控制系统；图2是本技术的一种半导体炉管设备的温度控制系统；图3是本技术的一种半导体炉管设备的温度控制系统的电路原理图。【具体实施方式】下面结合附图和具体的实施例对本技术作进一步的说明，但是不作为本技术的限定。参照图2，本技术提供的一种半导体炉管设备的温度控制系统，包括内部温度控制器I (因该温度控制器是机台端控制器，因此称之为内部温度控制器)，其上设置有输入端11、温度侦测端12、输出端13以及控制端14。外接温度控制器2(因该温度控制器是额外加装的，因此称之为外接温度控制器)，其上相应的也设置有输入端21、温度侦测端22、输出端23以及控制端24。作为一个优选的实施例，本实施例中采用输入输出规格与内部温度控制器I相同的外接温度控制器2，以方便接线，不需要对电路进行额外调试。其中，内部温度控制器I的输入端11和外接温度控制器2的输入端21并联接入供电电源电路(图中未标示供电电源)，该供电电源提供给内部温度控制器I和外接温度控制器2正常运行所需要的工作电压。内部温度控制器I的温度侦测端12和外接温度控制器2的温度侦测端22并联接入热电偶电路(图中标记3表示热电偶)，该热电偶3用于实时侦测内部温度控制器I和外接温度控制器2在工作时的升温情况，在温度升到设定值时发送相应的控制信号以使内部温度控制器I或外接温度控制器2保持相应的设定温度持续工作。作为一个优选的实施例，本实施例中给内部温度控制器I和外接温度控制器2分别设定不同的温度，其中内部温度控制器I的设定温度称为第一设定温度，外接温度控制器2的设定温度为第二设定温度，以实现半导体炉管设备在这两个设定温度之间相互切换。第一设定温度和第二设定温度的具体值根据工艺需求设定，如设定为半导体炉管设备在运作时常用的两个温度。内部温度控制器I的输出端13和外接温度控制器2的输出端23并联接入控制电路，该控制电路包括加热带4、交流接触器KMl和KM2。交流接触器KMl有四个开关K11、K12、K13、K14，交流接触器KM2有四个开关K21、K22、K23、K24。内部温度控制器I的输出端13通过交流接触器KMl的开关Kll和Κ12，以及交流接触器ΚΜ当前第1页1&本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体炉管设备的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制系统包括：内部温度控制器，设置有第一设定温度；外接温度控制器，设置有第二设定温度；控制电路，分别与所述内部温度控制器以及所述外接温度控制器连接；其中，所述控制电路中设置有交流接触器，利用该交流接触器来控制所述内部温度控制器或所述外接温度控制器的接通或断开，以使所述半导体炉管设备的工作温度在所述第一设定温度和所述第二设定温度之间切换。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：辛科，赵庆，周诗铎，秦国强，王杨，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42