一种超声波清洗装置，包括超声波发生仪和载台，其中，所述载台包括彼此相对的第一面和第二面，所述第一面与所述第二面之间设置有贯穿所述载台的多个通孔；所述载台的第一面用于放置待清洗件，所述超声波发生仪设置在所述载台的所述第二面一侧。采用本发明专利技术的超声波清洗装置，可有效清洗玻璃基板或其他待清洗件背面的杂质。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施例涉及一种清洗装置，特别是一种超声波清洗装置。
技术介绍
目前在TFT-1XD行业，摩擦工艺所采用超声波清洗机的原理是通过超声振荡使玻璃基板表面的颗粒状异物振动起来，并脱离玻璃基板表面，同时采用真空吸附器将其吸走，以此达到清洁效果。这种清洗方法只能将玻璃基板表面的颗粒异物去除，而对于黏贴在玻璃基板背面的异物无能为力。这种粘在玻璃基板背面的异物却是导致出现星形破损不良的一大原因。配向工艺对玻璃基板实行抽检的方式，因此，一旦在生产过程中出现星形破损不良，将会导致产生批量不合格产品；另外，直径偏小的星形破损极易出现漏检。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种超声波清洗装置，可有效清洗玻璃基板或其它待清洗件背面的异物粒子。本专利技术的一个方面提供一种超声波清洗装置，包括超声波发生仪和载台；其中，所述载台包括第一面和第二面，所述第一面与所述第二面之间设置有多个通孔；所述载台的第一面用于放置待清洗件，在所述载台的所述第二面一侧设置有超声波发生仪。例如，所述多个通孔在所述载台上呈均匀分布。例如，所述多个通孔中相邻两个通孔之间的间隔距离dl满足20mm彡dl彡25mm。例如，所述多个通孔中每一个通孔的内径D均满足20mm彡D彡40mm。例如，所述载台的所述第二面上间隔设置有多个针脚。例如，所述多个针脚中相邻两个针脚的间隔距离d2满足15mm彡d2彡25mm。例如，所述多个针脚中的每一个针脚的长度LI满足5mm彡LI彡15mm。例如，所述多个针脚在所述载台的整个所述第二面上均匀分布。例如，所述多个针脚与所述多个所述通孔交错设置。例如，所述针脚的数量与所述通孔的数量之比a满足3 < a < 4。例如，所述多个针脚中的每一个针脚在所述第二平面上与距离最近的通孔的边缘的距离 d3 满足 10mm d3 20mm。例如，在所述载台的所述第二面一侧还包括真空吸附器。例如，所述载台的所述第一面一侧也设置有超声波发生仪和真空吸附器。例如，所述针脚包括小圆柱部分、圆台形过渡部分和大圆柱部分；所述大圆柱部分的一端固定于所述载台的所述第二面，另一短与所述圆台形过渡部分的大端固定连接，所述圆台形过渡部分的小端与小圆柱部分的一端固定连接。本专利技术的另一个方面提供了一种采用本专利技术的超声波清洗装置对液晶显示器中玻璃基板上的异物进行清洗的方法。【附图说明】图1为本专利技术一个实施例中超声波清洗装置的示意图；图2为本专利技术的一个实施例中载台上针脚分布的平面图；图3为本专利技术的一个实施例中载台上通孔与针脚交错分布平面图；图4为本专利技术一个实施例的针脚结构示意图。【具体实施方式】下面结合附图的具体实施例对本专利技术做进一步介绍，应该理解，这些描述都是说明性的，本专利技术不限于这些具体实施例。本专利技术的保护范围由所附权利要求的范围所限定。本专利技术实施例的一种超声波清洗装置包括超声波发生仪和载台。所述载台包括第一面和第二面，所述第一面与所述第二面之间设置有贯穿所述载台的多个通孔；所述载台的第一面用于放置待清洗件，所述超声波发生仪设置在所述载台的所述第二面一侧。清洗时，将待清洗件例如玻璃基板放置于载台的第一面之上，启动超声波发生仪，玻璃基板背面黏附的粒子即在超声波的震荡下，脱离玻璃基板背面，并穿过在载台的第一面与第二面之间的多个通孔，实现对玻璃基板背面异物的清除。本专利技术的超声波清洗装置可以在载台的第一面上方或第二面下方同时设置超声波发生仪，也可以只在其第二面下方设置超声波发生仪。例如，超声波发生仪3与载台I相应面隔开一定距离设置，这样超声波能够以较大面积传输到待清洗件的表面。图1给出了本专利技术一个具体实施例的示意图。从图中可以看出载台I的上下两侧均设置一个超声波发生仪(P)3和一个真空吸附器(V)4。载台I的上方用于放置例如玻璃基板等待清洗件(图中未示出)。玻璃基板背面的异物粒子8在载台I下方的超声波发生仪3产生的超声波3-1的作用下脱离玻璃基板表面，并在穿过载台I上设置的通孔1-4 (图中未示出)和各个针脚1-3之间的缝隙后，吸入真空吸附器4中；同样，玻璃基板正面的粒子8在受到载台I的第一面1-1上方设置的超声波发生仪3作用下脱离玻璃基板上表面，并吸入上方的真空吸附器4内。采用该实施例的这种结构可同时实现上下表面异物的清洗，提高了清洗效率。以下进一步结合附图及具体实施例对本专利技术中通孔1-4、针脚1-3的尺寸选择及两者在载台I上的分布进行详细说明。在一个具体实施例中，这些通孔1-4可以分布在整个载台的平面，参照图3。因为一方面待清洗件例如玻璃基板的尺寸不同；另一方面，玻璃基板的背面各个位置均有可能存在杂质；在整个载台I的平面上设置通孔1-4可保证各个位置脱除的异物粒子8均可快速通过这些通孔1-4，实现整个玻璃基板背面的清洗。另外，例如，第一面1-1的相邻两个通孔1-4之间的间隔距离dl可以满足20mm ^ dl ^ 25mm。在这个间隔距离范围内，能进一步防止因相邻通孔太近增加工艺复杂程度以及降低载台强度，同时进一步防止因相邻通过太远导致的超声脱除的异物粒子8无法及时穿过通孔，有利于使超声清洗装置具有更好的清洗效果。载台的第一面1-1和第二面1-2之间所设置的多个通孔1-4的尺寸应能够确保玻璃基板上脱除的异物粒子8能够通过。这要求这些通孔1-4的尺寸应该大于玻璃基板背面异物粒子8的最大尺寸，或者说至少有一部分通孔1-4的尺寸大于玻璃基板背面异物粒子8的最大尺寸。但是，这些通孔1-4的尺寸也并非越大越好，一方面，尺寸太大会影响强度；另一方面，这些通孔1-4是仅仅是为了使玻璃基板背面的异物粒子8通过，只要适当大于这些异物粒子8的最大尺寸即可，不需要加工的太大。例如，通孔尺寸可以设计为20mm ^ D ^ 40mm。为了使描述更加清楚，在本专利技术中将该通孔1_4的尺寸定义为:在通孔1-4轴向方向的任意横截面上，穿过通孔1-4在该横截面上的中心并与通孔1-4边缘连接的任意直线的长度。需要说明的是，如果通孔1-4为圆孔，则该尺寸相当于通孔1-4的内壁直径；如果通孔1-4为其它形状，例如如图3所示的正方形结构，则该尺寸的最小值为正方形的边长，最大值为正方形对角线的长度。该通孔1-4也可以为其它形状。根据所述通孔的尺寸定义，可以理解，通孔1-4在其轴向方向上例如也可以为尺寸渐变结构，此时的尺寸仍然需要满足上述范围。这些通孔1-4形状和尺寸的变化均不超出本专利技术的保护范围。例如，本专利技术的载台的所述第二面上还可以设置有多个针脚。图4中给出了本专利技术一个实施例中针脚的结构示意图，参照图4，针脚1-3的横截面基本上为圆形，依次分为小圆柱部分1-3-1、圆台形过渡部分1-3-2和大圆柱部分1-3-3，且圆台形过渡部分1_3_2分为大端和小端以及中间连接部分，大端是指圆台直径较大的一端，小端是指圆台直径较小的一端。所述针脚1-3的大圆柱部分1-3-3的一个端面用于与所述载台的第二面1-2固定连接，其另一个端面与圆台形过渡部分1-3-2的大端固连，圆台形过渡部分1-3-2的小端与小圆柱部分1-3-1的一端固定连接，小圆柱部分1-3-1的另一端位于距离载台第二面1-2的最远处。这些针脚1-3的作用是引导穿过载台I的通孔1-4的异物粒子8向远离载台I的方向运动，防止被脱除的异物粒本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种超声波清洗装置，包括超声波发生仪和载台，其中，所述载台包括彼此相对的第一面和第二面，所述第一面与所述第二面之间设置有贯穿所述载台的多个通孔；所述载台的第一面用于放置待清洗件，所述超声波发生仪设置在所述载台的所述第二面一侧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨端，王彪，左长云，邓光鹤，高立松，孙强，赵磊，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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