LED用蓝宝石衬底研磨液制造技术

技术编号:12219995 阅读:81 留言:0更新日期:2015-10-21 23:15
一种LED用蓝宝石衬底研磨液,由以下重量份数的组分制成:去离子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金刚石粉10份、碳化钨10份、碳化铬5份、氮化钛5份、镍粉5份、煅烧高岭土0.2份、钨酸盐0.2份、茶叶碱1.5份、消光微粉蜡2份、纳米碳化钛5份、环氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶态二氧化硅3份、磷钨酸钾3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份;制备时,将上述各组分混合搅拌均匀,在研磨机内研磨到细度小于等于5微米,装罐即可。本发明专利技术成分简单,成本低,制作工艺易实现,研磨的蓝宝石衬底表面粗糙度低、平整度好、无明显划痕且易于清洗,符合工业生产的需求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蓝宝石晶体材料加工
,具体涉及一种LED用蓝宝石衬底研磨液
技术介绍
蓝宝石单晶(Sapphire),又称白宝石,分子式为Al2O3,透明,与天然宝石具有相同的光学特性和力学性能,有着很好的热特性,极好的电气特性和介电特性,并且防化学腐蚀,对红外线透过率高,有很好的耐磨性,硬度仅次于金刚石,达莫氏9级,在高温下仍具有较好的稳定性,熔点为2030°C,所以被广泛应用于工业、国防、科研等领域,越来越多地用作固体激光、红外窗口、半导体芯片的衬底片、精密耐磨轴承等高
中零件的制造材料。作为继s1、GaAs之后的第三代半导体材料的GaN,其在器件上的应用被视为20世纪90年代后半导体最重大的事件,使得半导体发光二极管(LED)和激光器上了一个新的台阶。由于GaN是很难制备的材料,必须在其它衬底材料上生长薄膜。作为GaN的衬底材料有多种,包括蓝宝石、碳化硅、硅、氧化镁、氧化锌等,其中蓝宝石是最主要的衬底材料(90 % ),目前已能在蓝宝石上外延出高质量的GaN材料,并已研制出GaN基蓝色发光二极管及激光二极管。随着世界范围内节能减排任务的推进,冷光源被越来越多的国家所提倡并采用。但由于性价比较低,该技术发展放缓。低成本、高效率的实现LED衬底材料蓝宝石晶体的表面加工是提高性价比的关键因素之一,随着蓝宝石衬底材料需求量的日益增加及表面质量要求的日益提高,对蓝宝石衬底表面加工技术的研宄显得尤为重要。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种抛光效率高,环保污染物的LED用蓝宝石衬底研磨液。本专利技术所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现:一种LED用蓝宝石衬底研磨液,由以下重量份数的组分制成:去离子水70-90份、叔丁醇5-15份、硬脂酸3-5份、乙二醇3-5份、金刚石粉5-15份、碳化钨5_15份、碳化铬4-6份、氮化钛4-6份、镍粉4-6份、煅烧高岭土 0.1-0.3份、钨酸盐0.1-0.3份、茶叶碱1_2份、消光微粉蜡1.5-2.5份、纳米碳化钛4-6份、环氧大豆油1.5-2.5份、二苯基硅二醇2_4份、非晶态二氧化硅2-4份、磷钨酸钾2-4份、甲基丙稀酸甲酯1-2份、苯甲酸0.4-0.6份、醋酸乙酯0.4-0.6份。各组分的较佳重量份数为:去离子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金刚石粉10份、碳化钨10份、碳化铬5份、氮化钛5份、镍粉5份、煅烧高岭土 0.2份、钨酸盐0.2份、茶叶碱1.5份、消光微粉蜡2份、纳米碳化钛5份、环氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶态二氧化硅3份、磷钨酸钾3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份。上述研磨液的制备方法为:把上述各组分混合搅拌均匀,在研磨机内研磨到细度小于等于5微米,装罐即可。本专利技术的有益效果是:本专利技术成分简单,成本低,制作工艺易实现,研磨的蓝宝石衬底表面粗糙度低、平整度好、无明显划痕且易于清洗,符合工业生产的需求。【具体实施方式】为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例,进一步阐述本专利技术。实施例1一种LED用蓝宝石衬底研磨液,由以下重量份数的组分制成:去离子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金刚石粉10份、碳化钨10份、碳化铬5份、氮化钛5份、镍粉5份、煅烧高岭土 0.2份、钨酸盐0.2份、茶叶碱1.5份、消光微粉蜡2份、纳米碳化钛5份、环氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶态二氧化硅3份、磷钨酸钾3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份。上述研磨液的制备方法为:把上述各组分混合搅拌均匀,在研磨机内研磨到细度小于等于5微米,装罐即可。实施例2一种LED用蓝宝石衬底研磨液,由以下重量份数的组分制成:去离子水90份、叔丁醇5份、硬脂酸5份、乙二醇3份、金刚石粉15份、碳化钨5份、碳化铬6份、氮化钛4份、镍粉6份、煅烧高岭土 0.1份、钨酸盐0.3份、茶叶碱I份、消光微粉蜡2.5份、纳米碳化钛4份、环氧大豆油2.5份、二苯基硅二醇2份、非晶态二氧化硅4份、磷钨酸钾2份、甲基丙稀酸甲酯2份、苯甲酸0.4份、醋酸乙酯0.6份。上述研磨液的制备方法为:把上述各组分混合搅拌均匀,在研磨机内研磨到细度小于等于5微米,装罐即可。实施例3一种LED用蓝宝石衬底研磨液,由以下重量份数的组分制成:去离子水70份、叔丁醇15份、硬脂酸3份、乙二醇5份、金刚石粉5份、碳化钨15份、碳化铬4份、氮化钛6份、镍粉4份、煅烧高岭土 0.3份、钨酸盐0.1份、茶叶碱2份、消光微粉蜡1.5份、纳米碳化钛6份、环氧大豆油1.5份、二苯基硅二醇4份、非晶态二氧化硅2份、磷钨酸钾4份、甲基丙稀酸甲酯I份、苯甲酸0.6份、醋酸乙酯0.4份。上述研磨液的制备方法为:把上述各组分混合搅拌均匀,在研磨机内研磨到细度小于等于5微米,装罐即可。以上显示和描述了本专利技术的基本原理和主要特征和本专利技术的优点。本行业的技术人员应该了解,本专利技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本专利技术的原理,在不脱离本专利技术精神和范围的前提下,本专利技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本专利技术范围内。本专利技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。【主权项】1.一种LED用蓝宝石衬底研磨液,其特征在于,由以下重量份数的组分制成:去离子水70-90份、叔丁醇5-15份、硬脂酸3-5份、乙二醇3_5份、金刚石粉5_15份、碳化钨5_15份、碳化铬4-6份、氮化钛4-6份、镍粉4-6份、煅烧高岭土 0.1-0.3份、钨酸盐0.1-0.3份、茶叶碱1-2份、消光微粉蜡1.5-2.5份、纳米碳化钛4-6份、环氧大豆油1.5-2.5份、二苯基硅二醇2-4份、非晶态二氧化硅2-4份、磷钨酸钾2-4份、甲基丙稀酸甲酯1-2份、苯甲酸0.4-0.6份、醋酸乙酯0.4-0.6份。2.根据权利要求1所述的LED用蓝宝石衬底研磨液物,其特征在于,由以下重量份数的组分制成:去离子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金刚石粉10份、碳化钨10份、碳化铬5份、氮化钛5份、镍粉5份、煅烧高岭土 0.2份、钨酸盐0.2份、茶叶碱1.5份、消光微粉蜡2份、纳米碳化钛5份、环氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶态二氧化硅3份、磷钨酸钾3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份;制备时,将上述各组分混合搅拌均匀,在研磨机内研磨到细度小于等于5微米,装罐即可。【专利摘要】一种LED用蓝宝石衬底研磨液,由以下重量份数的组分制成:去离子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金刚石粉10份、碳化钨10份、碳化铬5份、氮化钛5份、镍粉5份、煅烧高岭土0.2份、钨酸盐0.2份、茶叶碱1.5份、消光微粉蜡2份、纳米碳化钛5份、环氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶态二氧化硅3份、磷钨酸钾3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份;制备时,将上述各组分混合搅拌均匀,在研磨机内研磨到细度小于等于5微米,装罐即可。本专利技术成分简单,成本低,制作工艺易实现,研磨的蓝宝石衬底表面粗糙度低、平整度好、无明显划痕且易于清洗,符合工业生产的需求。【I本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种LED用蓝宝石衬底研磨液,其特征在于,由以下重量份数的组分制成:去离子水70‑90份、叔丁醇5‑15份、硬脂酸3‑5份、乙二醇3‑5份、金刚石粉5‑15份、碳化钨5‑15份、碳化铬4‑6份、氮化钛4‑6份、镍粉4‑6份、煅烧高岭土0.1‑0.3份、钨酸盐0.1‑0.3份、茶叶碱1‑2份、消光微粉蜡1.5‑2.5份、纳米碳化钛4‑6份、环氧大豆油1.5‑2.5份、二苯基硅二醇2‑4份、非晶态二氧化硅2‑4份、磷钨酸钾2‑4份、甲基丙稀酸甲酯1‑2份、苯甲酸0.4‑0.6份、醋酸乙酯0.4‑0.6份。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赫更民
申请(专利权)人:安徽德诺化工有限公司
类型:发明
国别省市:安徽;34

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1