固体摄像装置及固体摄像装置的制造方法制造方法及图纸

固体摄像装置(1)包括在半导体基板上以多个图案(2A、2B)在Y轴方向上被接合的方式被曝光而形成的受光部(2)。受光部(2)具有2维状地排列于Y轴方向与正交于Y轴方向的X轴方向的多个像素。在由多个像素中的、排列于X轴方向的多个像素构成的每个像素列，沿X轴方向传输电荷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种。
技术介绍
一直以来，已知有包括具有由多行及多列构成的矩阵状的像素构造的受光部的固体摄像装置(例如参照专利文献1、2)。在该固体摄像装置中，对应于入射至受光部的光而被储存于像素的电荷通过被供给至传输电极的电压而被传输。作为固体摄像装置的驱动方法的一个例子，存在以与物体的移动速度相对应的速度将储存于像素的电荷传输至同列上的像素并进而进行电荷的储存的TDI (Time Delayand Integrat1n (时间延时积分))驱动法。根据TDI驱动法，可对例如处于带式输送机上的物体等、以固定速度移动的物体清晰地进行摄像。作为固体摄像装置的驱动方法的其它的例子，存在累加在规定个数的像素中产生的电荷并作为输出信号的合并(binning)。根据合并，可将邻接的多个像素作为单位像素进行处理。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2000-101061号公报专利文献2:日本特开2003-347539号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题但是，近年来，要求固体摄像装置的灵敏度的提高，对应于此固体摄像装置的大面积化不断进展。另一方面，在固体摄像装置的制造时的曝光工序中，一次能够曝光的面积受限制。因此，在固体摄像装置的面积大的情况下，难以通过一次曝光来制造固体摄像装置。因此，在制造大面积的固体摄像装置的情况下，使用拼接曝光(stitching exposure)等的方法。拼接曝光是通过使用具有与半导体基板上的多个区域对应的形状的图案的掩膜并依次曝光各个区域从而制造固体摄像装置的方法。然而，在由TDI驱动法驱动通过拼接曝光制造的固体摄像装置的情况下，即使使均匀的强度的光入射至该固体摄像装置的受光部整体，也会在各个区域的边界即接缝的部分，成为输出与接缝以外的部分不同的值。即，在接缝的部分，输出信号变得不均匀。因此，本专利技术的目的在于，提供一种可使输出信号充分地均匀的。解决问题的技术手段本专利技术的一个方面所涉及的固体摄像装置，包括在半导体基板上以多个图案在第一方向上被接合的方式被曝光而形成的受光部；受光部包括2维状地排列于第一方向与正交于第一方向的第二方向的多个像素，在由多个像素中的、排列于第二方向的多个像素构成的每个像素列，沿第二方向传输电荷，在受光部中，多个图案被接合的边界沿着在交叉于第一方向与第二方向的方向上延伸的一条以上的线段上而定位。在本专利技术的一个方面所涉及的固体摄像装置中，受光部通过以多个图案在第一方向上被接合的方式被曝光而形成。该受光部具有2维状地排列于第一方向与正交于第一方向的第二方向的多个像素。在由多个像素中的、排列于第二方向的多个像素构成的每个像素列，沿第二方向传输电荷。另一方面，多个图案被接合的边界沿着在交叉于第一方向与第二方向的方向上延伸的一条以上的线段上而定位。因此，电荷被传输的第二方向、与构成像素列的多个像素的排列方向不同。因此，多个图案的边界的影响未仅集中于像素的特定的列，而被分散于多个像素列。其结果，在多个图案的边界的部分，来自像素列的输出信号的不均匀性被缓和，可使输出信号充分地均匀。多个图案被接合的边界也可相对于在第二方向上延伸的一条直线，仅在I个部位交叉。在该情况下，沿着第二方向进行电荷的传输的像素列与多个图案的边界交叉的部位至多为I个部位。因此，可进一步缓和由多个图案的边界引起的输出信号的不均匀性，使输出信号更加均匀。也能够进行TDI驱动。在该情况下，在对以固定速度移动的物体进行摄影的情况下，可通过将物体的移动方向设为第二方向，并且TDI驱动固体摄像装置，从而使输出信号成为充分地均匀的状态，可进行该移动的物体的摄影。本专利技术的一个方面所涉及的固体摄像装置的制造方法，是包括在半导体基板上以将多个图案在第一方向上接合的方式进行曝光而形成受光部的步骤的固体摄像装置的制造方法；受光部具有2维状地排列于第一方向与正交于第一方向的第二方向的多个像素，在由多个像素中的排列于第二方向的多个像素构成的每个像素列，沿第二方向传输电荷，在受光部中，多个图案被接合的边界沿着在交叉于第一方向与第二方向的方向上延伸的一条以上的线段上而定位。根据本专利技术的一个方面所涉及的固体摄像装置的制造方法，如上所述，可获得电荷被传输的第二方向、与受光部的形成时被接合的图案的边界所延伸的方向不同的固体摄像装置。因此，可缓和由多个图案的边界引起的输出信号的不均匀性，使固体摄像装置的输出信号充分地均匀。专利技术的效果根据本专利技术，可提供一种能够使输出信号充分地均匀的。【附图说明】图1是表示一个实施方式所涉及的固体摄像装置的概略构成的平面图。图2是放大表不图1的一部分的图。图3是表示在一个实施方式所涉及的固体摄像装置的制造方法中所使用的光掩膜的图案的形状的概略图。图4是表示光掩膜的图案的其它的形状的概略图。图5是表示光掩膜的图案的其它的形状的概略图。图6是表示比较例所涉及的光掩膜的图案的形状的概略图。图7是表示其它的比较例所涉及的光掩膜的图案的形状的概略图。【具体实施方式】以下，参照附图，对本专利技术的优选的实施方式进行详细的说明。再者，在说明中，对相同要素或具有相同功能的要素使用相同符号，省略重复的说明。首先，参照图1及图2，对本实施方式所涉及的固体摄像装置I的构成进行说明。图1是表示固体摄像装置I的概略构成的平面图。图2是放大表示图1中的矩形RII的内部的图。如图1所示，固体摄像装置I包括垂直传输部(受光部)2、水平传输部3、输出部4及接合垫(bonding pad) 5。如下所述，固体摄像装置I是能够进行TDI驱动的固体摄像 目.ο垂直传输部2通过在半导体基板上以多个(图1所示的例子中为2个)图案2A、2B在边界S在Y轴方向(第一方向)上被接合的方式被曝光而形成。如图2所示，垂直传输部2具有2维状地排列于Y轴方向与正交于Y轴方向的X轴方向(第二方向)的多个像素6。像素6分别接收入射至垂直传输部2的光而产生对应于受光强度的量的电荷。多个像素6中，排列于X轴方向的多个像素6构成像素列。垂直传输部2在每个像素列，沿X轴方向的正向传输电荷。垂直传输部2在像素6的上方具有与Y轴方向平行地延伸的多个电极(未图示)。垂直传输部2通过使该电极的电位变化且使位于电极的下方的半导体层的电位的深度变化从而传输电荷。特别是在固体摄像装置I进行TDI驱动的情况下，垂直传输部2以与沿X轴方向移动的摄像对象物的移动速度相等的速度，沿X轴方向传输电荷。垂直传输部2将电荷最终传输至水平传输部3。垂直传输部2的图案2A与图案2B被接合的边界S沿着在交叉于X轴方向与Y轴方当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固体摄像装置，其特征在于，包括在半导体基板上以多个图案在第一方向上被接合的方式被曝光而形成的受光部，所述受光部具有2维状地排列于所述第一方向与正交于所述第一方向的第二方向的多个像素，在由所述多个像素中的、排列于所述第二方向的多个像素构成的每个像素列，沿第二方向传输电荷，在所述受光部中，所述多个图案被接合的边界沿着在与所述第一方向与所述第二方向交叉的方向上延伸的一条以上的线段上而定位。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木久则，村松雅治，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP