过滤装置、过滤系统及半导体机台制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种过滤装置、过滤系统以及半导体机台，其中，过滤装置包括：主体结构，所述主体结构的一端设置有进气口，另一端设置有出气口；冷凝柱，所述冷凝柱位于所述主体结构内；过滤网，所述过滤网位于所述冷凝柱和所述主体结构的内壁之间，所述过滤网的一端与所述出气口连接。反应腔中的废气从主体结构的进气口进入到主体结构中，废气中的粉尘被过滤网过滤掉，而废气中液态副产物经过冷凝柱的冷凝沉积在所述冷凝柱上，降低了废气中液态以及固态制程副产物的浓度，从而使得进入泵中的气体更加清洁，降低了所述泵因液态或者固态制程副产物卡死而失效的风险，提高了效率和产品的良率，降低了成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及集成电路制造领域，尤其是一种过滤装置、过滤系统及半导体机台O
技术介绍
晶圆的各项制程需要在机台上的反应腔内完成，所述反应腔与一干泵连接，所述反应腔中的废气中含有大量的液态或固态的制程副产物，这些液态或固态的制程副产物会随着废气进入到所述干泵中，导致所述干泵卡死，每年约有25%的所述干泵因为液态或固态的制程副产物卡死，造成所述反应腔内的晶圆报废，降低了产品的良率，增加了成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种过滤装置、过滤系统及半导体机台，已解决现有技术中泵因制程副产物卡死而失效的问题。为了达到上述目的，本技术提供了一种过滤装置、过滤系统及半导体机台，其中，所述过滤装置包括:主体结构，所述主体结构的一端设置有进气口，另一端设置有出气P ；冷凝柱，所述冷凝柱位于所述主体结构内；过滤网，所述过滤网位于所述冷凝柱和所述主体结构的内壁之间，所述过滤网的一端与所述出气口连接。优选的，在上述的过滤装置中，所述过滤装置还包括一冷凝管，所述冷凝管沿着所述冷凝柱的外壁设置。优选的，在上述的过滤装置中，所述冷凝管设置有一进水端和一出水端，所述进水端和所述出水端位于所述主体结构的外部。优选的，在上述的过滤装置中，所述冷凝管呈U型装套于所述冷凝柱的外壁上。优选的，在上述的过滤装置中，所述冷凝管呈螺旋状沿着所述冷凝柱的侧壁设置。优选的，在上述的过滤装置中，所述进气口位于所述主体结构一端的中心，所述出气口位于所述主体结构的另一端的中心。优选的，在上述的过滤装置中，所述主体结构呈柱体形。优选的，在上述的过滤装置中，所述冷凝柱的一端与所述进气口正对，另一端与所述出气口正对。优选的，在上述的过滤装置中，所述进气口的横截面呈圆形，所述出气口的横截面呈圆形。优选的，在上述的过滤装置中，所述进气口的横截面呈多边形，所述出气口的横截面呈多边形。本技术又提供了一种过滤系统，包括如上所述的过滤装置，反应腔以及一泵，所述反应腔的出气口与所述过滤装置的进气口连接，所述过滤装置的出气口与所述泵的进气口连接。本技术更提供了一种半导体机台，包括如上所述的过滤系统。在本技术提供的过滤装置、过滤系统以及半导体机台中，反应腔中的废气从主体结构的进气口进入到主体结构中，废气中的粉尘被过滤网过滤掉，而废气中液态副产物经过冷凝柱的冷凝沉积在所述冷凝柱上，降低了废气中液态以及固态制程副产物的浓度，从而使得进入泵中的气体更加清洁，降低了所述泵因液态或者固态制程副产物卡死而失效的风险，提高了效率和产品良率，降低了成本。【附图说明】图1为本技术实施例中过滤系统的结构示意图；图2为本技术实施例中过滤装置的剖视图；图中;101-反应腔;102-过滤装置;103-泵;201-主体结构；202_主体结构的进气口 ；203_主体结构的出气口 ；204_冷凝柱；205-过滤网；206_冷凝管；207_进水端；208_出水端。【具体实施方式】下面将结合示意图对本技术的【具体实施方式】进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。本技术实施例提供了一种过滤系统，如图1所示，包括:反应腔101、一泵103以及一过滤装置102，所述反应腔101的出气口与所述过滤装置102的进气口连接，所述反应腔101中含有制程副产物的混合气体从所述反应腔101的出气口进入到所述过滤装置102中，经过所述过滤装置102的过滤，将其中大部分的制程副产物过滤掉，然后大大减少制程副产物含量的气体从所述过滤装置102的出气口进入到所述泵103的进气口，减少进入所述泵103的气体中制程副产物的含量，从而减小制程副产物在所述泵103中的沉积，降低所述泵103因制程副产物的沉积而卡死的风险，从而降低所述泵103因制程副产物沉积而失效的风险，提高生产效率，降低生产成本。其中，如图2所示，所述过滤装置102包括:主体结构201，所述主体结构201的一端设置有进气口 202，另一端设置有出气口 203，所述反应腔101中的制程副产物浓度较高的废气从所述进气口 202进入到所述主体结构201中，然后从所述出气口 203离开所述主体结构201。所述主体结构201为一柱体，具体的，所述主体结构201的横截面可以是圆形或者椭圆形，还可以是多边形。进一步的，所述进气口 202和所述出气口 203的横截面也可以是圆形、椭圆形或者多边形。只要所述进气口 202与所述反应腔101的出气口匹配，所述出气口 203与所述泵的进气口匹配即可。进一步的，所述主体结构201为一中空结构，且一冷凝柱位204于所述主体结构201内，且在所述冷凝柱204的外壁上设置有一冷凝管206，即所述冷凝管206也位于所述主体结构201内部。所述冷凝管206有一进水端207和一出水端208，所述进水端207和所述出水端208均位于所述主体结构201的外部，所述冷凝管206沿着所述冷凝柱204的外壁设置，具体的，所述冷凝管206可以以U形状套于所述冷凝柱204的外壁上，即，所述冷凝管206沿着所述冷凝柱204的侧壁设置，经当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种过滤装置，其特征在于，包括：主体结构，所述主体结构的一端设置有进气口，另一端设置有出气口；冷凝柱，所述冷凝柱位于所述主体结构内；过滤网，所述过滤网位于所述冷凝柱和所述主体结构的内壁之间，所述过滤网的一端与所述出气口连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴良辉，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42