本发明专利技术的缺陷检查装置(100)的缺陷映像图像生成部(72)通过对处理图像生成部61生成的多个处理图像进行合成来生成缺陷映像图像。缺陷映像图像生成部(72)具有坐标值计算部(721)、累计部(722)以及亮度值设定部(723)。坐标值计算部(721)基于各处理图像的各像素的坐标值、薄片状成形体(2)的传输速度以及在摄像装置(5)中设定的帧频，计算出缺陷映像图像的各像素的坐标值。累计部(722)求出坐标值计算部(721)计算出了同一坐标值的像素内的缺陷像素的数量、该缺陷像素的灰度值的总计。亮度值设定部(723)根据累计部(722)的计算值，设定缺陷映像图像中的各像素的亮度值。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法
本专利技术涉及生成用于检查偏振滤波器、相位差薄膜等薄片状成形体的缺陷的图像数据的图像生成装置、具备该图像生成装置的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。
技术介绍
作为检查偏振滤波器、相位差薄膜等薄片状成形体的缺陷的第1现有技术的缺陷检查装置，有利用了被称为线传感器的一维照相机的装置。图12A以及12B是说明在第1现有技术的缺陷检查装置中利用由线传感器取得的一维图像K1～K19来生成缺陷映像图像L时的动作的图。第1现有技术的缺陷检查装置通过荧光管等线状光源对薄片状成形体进行照明，通过线传感器，在薄片状成形体的表面上沿着薄片状成形体的长边方向从长边方向的一端到另一端进行扫描的同时，取得如图12A所示的多个一维图像(静止图像)K1～K19。另外，图12A所示的一维图像K1～K19是对由线传感器拍摄到的图像施加增强缺陷部的处理(例如，2值化等图像处理)而得到的，在各图像中，黑色部分表示无缺陷的部分，白色部分表示有缺陷的部分。并且，如图12B所示，第1现有技术的缺陷检查装置按照取得时间顺序将多个一维图像K1～K19全铺上，从而生成作为二维图像的缺陷映像图像L，基于该缺陷映像图像L检查薄片状成形体的缺陷。另外，在图12B所示的缺陷映像图像L中，黑色部分表示无缺陷的部分，白色部分表示有缺陷的部分。此外，有时按取得时间顺序将实施缺陷增强处理前(通过线传感器取得的原图像)的一维图像K1～K19全铺上来生成缺陷映像图像L，对缺陷映像图像L实施增强缺陷部的处理。由线传感器观测到的区域中通常包括线状光源像。在线状光源和线传感器被配置在薄片状成形体的一个面的一侧的情况下，线状光源像是从线状光源射出并被薄片状成形体正反射而到达了线传感器的光的像，在线状光源与线传感器之间配置有薄片状成形体的情况下，线状光源像是从线状光源射出并透过薄片状成形体后到达了线传感器的光的像。在该第1现有技术的缺陷检查装置中，在薄片状成形体的宽度较宽的情况下，为了能够检查薄片状成形体的宽度方向的整个区域，在宽度方向上并列使用多台线传感器。该第1现有技术的缺陷检查装置基于将多个一维图像K1～K19全铺上而生成的二维图像、即缺陷映像图像L，来检查薄片状成形体的缺陷，因此构成缺陷映像图像L的各一维图像K1～K19中的检查对象像素与线状光源像之间的位置关系是唯一确定的位置关系。有时缺陷只在检查对象像素与线状光源像的位置关系为特定的位置关系时才会出现在一维图像K1～K19上。例如，作为缺陷的一种的气泡大多只在位于线状光源像的周边或附近时才会出现在一维图像K1～K19上。如上所述，缺陷有时因其位置而无法检测。因此，利用由线传感器所取得的多个一维图像K1～K19构成的二维图像、即缺陷映像图像L来检查薄片状成形体的缺陷的上述第1现有技术的缺陷检查装置只具有有限的缺陷检测能力。作为解决这种问题的第2现有技术的缺陷检查装置，有使用了被称为区域传感器的二维照相机的装置(参照专利文献1、2)。第2现有技术的缺陷检查装置通过荧光管等线状光源对薄片状成形体进行照明，在规定的传输方向上连续传输薄片状成形体的同时，利用区域传感器取得二维图像(动态图像)，基于该二维图像来检查薄片状成形体的缺陷。根据第2现有技术的缺陷检查装置，能够基于检查对象像素与线状光源像之间的位置关系不同的多张二维图像来判定是否有缺陷，因此能够比利用了线传感器的第1现有技术的缺陷检查装置更可靠地检测缺陷。因此，利用了区域传感器的第2现有技术的缺陷检查装置与利用了线传感器的第1现有技术的缺陷检查装置相比更能提高缺陷检测能力。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开2007-218629号公报专利文献2：JP特开2010-122192号公报
技术实现思路
图13A以及13B是说明在第2现有技术的缺陷检查装置中利用由区域传感器取得的二维图像M1～M6来生成缺陷映像图像N时的动作的图。在第2现有技术的缺陷检查装置中，区域传感器按照预先确定的时间间隔对连续传输的薄片状成形体进行摄像动作，如图13A所示，与各摄像动作对应地取得至少一部分重叠的多个二维图像M1～M6。另外，图13A所示的二维图像M1～M6是对由区域传感器拍摄到的图像进行增强缺陷部的处理(例如，2值化等图像处理)而得到的，在各图像中，黑色部分表示无缺陷的部分，白色部分表示有缺陷的部分。在第2现有技术的缺陷检查装置中，由区域传感器取得的二维图像M1～M6在二维图像M1与二维图像M2之间、在二维图像M2与二维图像M3之间、在二维图像M3与二维图像M4之间、在二维图像M4与二维图像M5之间、以及在二维图像M5与二维图像M6之间具有一部分重叠的重复部分。因此，在第2现有技术的缺陷检查装置中，在按照取得时间顺序依次将二维图像M1～M6全铺上来生成了缺陷映像图像N时，如图13B所示，在1个缺陷映像图像N之中，存在多个表示同一缺陷的缺陷像素(例如，图13B中的缺陷像素N1)。在利用这种缺陷映像图像N检查薄片状成形体的缺陷的情况下，很难正确地掌握薄片状成形体中的缺陷的位置。此外，会重复检测同一缺陷。本专利技术的目的在于，提供在生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像的图像生成装置中，能够以高的检测能力正确地检查薄片状成形体中的缺陷的位置、且能够防止同一缺陷的重复检测的图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法。本专利技术提供一种生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像的图像生成装置，具备：传输部，以预先确定的传输速度将薄片状成形体沿着其长边方向传输；光照射部，向被传输的所述薄片状成形体照射光；摄像部，与被传输的所述薄片状成形体的表面对置地配置该摄像部，以预先确定的时间间隔拍摄该薄片状成形体的表面的一部分来生成多个二维图像，该摄像部设定所述时间间隔以使通过连续的两次摄像动作所拍摄的摄像区域部分重叠；特征量计算部，通过预先确定的算法处理，基于各像素的亮度值来计算出构成所述各二维图像的各像素的特征量；处理图像数据生成部，将构成所述各二维图像的各像素区分为所述特征量在预先确定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩余像素，与各二维图像对应地生成针对所述缺陷像素赋予与所述特征量相应的灰度值、且针对所述剩余像素赋予零的灰度值的处理图像；和缺陷映像图像生成部，通过对所述处理图像数据生成部生成的多个处理图像进行合成，生成表示薄片状成形体中的缺陷的分布的缺陷映像图像，该缺陷映像图像生成部具有：缺陷映像图像坐标值计算部，基于构成各处理图像的各像素的坐标值、所述传输速度以及所述时间间隔，计算出用于构成所述缺陷映像图像的各像素的坐标值；累计部，进行下述(1)或下述(2)中的任一方，或者进行下述(1)以及下述(2)这两方：(1)针对所述缺陷映像图像的各像素，计数处理图像中的对应的像素内的缺陷像素的数量，(2)针对所述缺陷映像图像的各像素，计算对处理图像中的对应的像素赋予的灰度值的总计；和亮度值设定部，将基于在所述(1)中得到的缺陷像素的数量和/或在所述(2)中得到的灰度值的总计计算出的值设定为所述缺陷映像图像的各像素的亮度值，从而生成缺陷映像图像。此外，在本专利技术的图像生成装置中，所述时间间隔优选被设定为所述部分重叠的摄像区域在所述长边方向上的长度是所述各二维图像在所述长边方本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种图像生成装置，生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像，该图像生成装置具备：传输部，以预先确定的传输速度将薄片状成形体沿着其长边方向传输；光照射部，向被传输的所述薄片状成形体照射光；摄像部，与被传输的所述薄片状成形体的表面对置地配置该摄像部，以预先确定的时间间隔拍摄该薄片状成形体的表面的一部分来生成多个二维图像，该摄像部设定所述时间间隔以使通过连续的两次摄像动作所拍摄的摄像区域部分重叠；特征量计算部，通过预先确定的算法处理，基于各像素的亮度值来计算出构成所述各二维图像的各像素的特征量；处理图像数据生成部，将构成所述各二维图像的各像素区分为所述特征量在预先确定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩余像素，与各二维图像对应地生成针对所述缺陷像素赋予与所述特征量相应的灰度值、且针对所述剩余像素赋予零的灰度值的处理图像；和缺陷映像图像生成部，通过对所述处理图像数据生成部生成的多个处理图像进行合成，生成表示薄片状成形体中的缺陷的分布的缺陷映像图像，该缺陷映像图像生成部具有：缺陷映像图像坐标值计算部，基于构成各处理图像的各像素的坐标值、所述传输速度以及所述时间间隔，计算出用于构成所述缺陷映像图像的各像素的坐标值；累计部，进行下述(1)或下述(2)中的任一方，或者进行下述(1)以及下述(2)这两方：(1)针对所述缺陷映像图像的各像素，计数处理图像中的对应的像素内的缺陷像素的数量；(2)针对所述缺陷映像图像的各像素，计算对处理图像中的对应的像素赋予的灰度值的总计；和亮度值设定部，将基于在所述(1)中得到的缺陷像素的数量和/或在所述(2)中得到的灰度值的总计计算出的值设定为所述缺陷映像图像的各像素的亮度值，从而生成缺陷映像图像。...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.01.30 JP 2013-0156411.一种图像生成装置，生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像，该图像生成装置具备：传输部，以预先确定的传输速度将薄片状成形体沿着其长边方向传输；光照射部，向被传输的所述薄片状成形体照射光；摄像部，与被传输的所述薄片状成形体的表面对置地配置该摄像部，以预先确定的时间间隔拍摄该薄片状成形体的表面的一部分来生成多个二维图像，该摄像部设定所述时间间隔以使通过连续的两次摄像动作所拍摄的摄像区域部分重叠；特征量计算部，通过预先确定的算法处理，基于各像素的亮度值来计算出构成各所述二维图像的各像素的特征量；处理图像数据生成部，将构成各所述二维图像的各像素区分为所述特征量在预先确定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩余像素，与各二维图像对应地生成针对所述缺陷像素赋予与所述特征量相应的灰度值、且针对所述剩余像素赋予零的灰度值的处理图像；和缺陷映像图像生成部，通过对所述处理图像数据生成部生成的多个处理图像进行合成，生成表示薄片状成形体中的缺陷的分布的缺陷映像图像，其特征在于，该缺陷映像图像生成部具有：缺陷映像图像坐标值计算部，基于构成各处理图像的各像素的坐标值、所述传输速度以及所述时间间隔，计算出用于构成所述缺陷映像图像的各像素的坐标值；累计部，进行下述(1)或下述(2)中的任一方，或者进行下述(1)以及下述(2)这两方：(1)针对所述缺陷映像图像的各像素，计数处理图像中的对应的像素内的缺陷像素的数量；(2)针对所述缺陷映像图像的各像素，计算对处理图像中的对应的像素赋予的灰度值的总计；和亮度值设定部，将基于在所述(1)中得到的缺陷像素的数量和/或在所述(2)中得到的灰度值的总计计算出的值设定为所述缺陷映像图像的各像素的亮度值，从而生成缺陷映像图像。2.根据权利要求1所述的图像生成装置，其中，所述时间间隔被设定为所述部分重叠的摄像区域在所述长边方向上的长度是各所述二维图像在所述长边方向上的长度...
【专利技术属性】
技术研发人员：尾崎麻耶，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。