本发明专利技术公开了一种测量高能紫外激光系统中待测镜片透过率的装置和相应的方法，装置的激光光源(1)产生高能紫外脉冲激光，反射光栅(6)接收该脉冲激光，并将该脉冲激光进行衍射分束，取其中能量最强的一级作为测量光，能量次强的一级作为参考光，待测镜片(3)放置于测量光的光路上；第一能量探测器(4)用于探测参考光的能量；第二能量探测器(5)用于探测测量光的能量。本发明专利技术的方法通过测量放入和未放入待测镜片时的各能量探测器的读数，并计算得到其透过率。本发明专利技术消除了激光光源能量抖动以及分光片导致分光比抖动对光学镜片透过率测量的影响，对待测镜片的厚度和尺寸无要求，能够实现精确且方便的测量。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于气体激光测试
，特别是一种精确测量高能紫外激光系统中光 学镜片透过率的方法。
技术介绍
光学镜片有很多性能指标，如像差、色差、成像质量等，其中透过率是对光学镜片 的辐射光通量反映和成像质量评价的一个关键参考量，所以对其进行的测量也相当重要。 影响光学镜片透过率的因素主要有镜片的反射和吸收，以及镜片内部的气泡、污物等造成 的散射等。 在先测试光学镜片透过率的方案多为单通道测量法，这种方法会由于光源本身能 量波动造成前后两次测试的辐射光通量抖动，从而引起整个测试的不准确性；另外一种在 先测试方案为分光光度计法，这种方法虽然可以精确的测量镜片透过率，但其镜片透过率 都是在低能量情况下测得的，而镜片本身在高能强光照射状态下的特性很可能发生变化， 所以低能量状态下的测试无法说明高能量情况。此外，利用分光光度计测量时，多对待测镜 片的厚度有要求，且其对镜片上的采光区域较小。随着准分子激光器光源及光刻机的发展， 需要在高重频、高能量状态下对传播紫外波段光的光学镜片透过率进行准确的测量。 专利号为201210524943. 5的中国专利中已提出一种利用透射光路和反射光路来 测试镜片透过率的方法，装置原理如图1所示，激光光源1发射激光，首先利用分光片2对 激光光源输出光进行分光。同时测量透射、反射两路光的能量并用反射光能量对透射光的 能量进行标定；然后在透射光路中插入待测光学镜片（待测镜片放置在图中虚线位置处）， 测量透过待测镜片之后的透射能量。通过同时测量此时的透射光能量和反射光能量计算得 出待测光学镜片的透过率。虽然这种方法摒弃了光源本身稳定性的影响，且可以在高能状 态下测量，但是由于紫外光的穿透能力非常弱，在高能照射、时间推移等累计效应影响下， 这种方式所用紫外分光片2本身的透过率也可能由于衬底吸收、色心产生、散射等而发生 变化，进而导致利用反射光能量标定透射光能量时会产生抖动，因此，这种方案也会对测量 结果引入误差。
技术实现思路
(一）要解决的技术问题 本专利技术旨在解决高能紫外激光系统中光学镜片透过率测试时，在有效地消除光源 能量不稳定、分光片分光比抖动（由于高能强光照射下镜片衬底吸收、色心产生等导致的 分光比抖动）对测量结果的重复性，以及对高透射镜片透射率测定的影响。 (二）技术方案 为解决上述技术问题，本专利技术提出一种测量高能紫外激光系统中待测镜片透过率 的装置，包括激光光源、反射光栅、第一能量探测器和第二能量探测器，其中，所述激光光源 用于产生高能紫外脉冲激光；所述高能紫外脉冲激光不经过所述反射光栅的衬底内部；所 述反射光栅用于接收所述激光光源发射的高能紫外脉冲激光，并利用光栅表面的周期性金 属刻槽将该高能紫外脉冲激光进行衍射分束，取其中能量最强的一级作为测量光，能量次 强的一级作为参考光，所述待测镜片放置于测量光的光路上；所述第一能量探测器用于探 测参考光的能量；所述第二能量探测器用于探测测量光的能量；第一能量探测器与第二能 量探测器距离反射光栅的衍射出光点距离相同。 根据本专利技术的【具体实施方式】，所述第一能量探测器和第二能量探测器通过控制装 置关联，可以同时记录某一时刻第一能量探测器和第二能量探测器的测量数值。 本专利技术还提出一种测量高能紫外激光系统中待测镜片透过率的方法，采用上述测 量装置，包括如下步骤： S1、在测量装置中不放入待测镜片，使所述激光光源发射激光，记录此时第一能量 探测器和第二能量探测器的读数Ei(f)和E2 (f)，得到此重频下能量比值c=Ei(f) /E2 (f)， 使所述激光光源停止发射激光； S2、将待测镜片插入所述测量光的光路中，使所述激光光源再次发射激光，记录此 时第一能量探测器和第二能量探测器的读数E/ &)和&' (f); 33、通过下式计算待测镜片透过率1':1 = &'&)八￡1'江)八）=&'&)%/^1'&)。 (三）有益效果 本专利技术的测试装置和方法消除了激光光源能量抖动，以及分光片由于衬底吸收、 色心产生等导致分光比抖动对光学镜片透过率测量的影响，得出较为精确的待测镜片透过 率测量的方案。本专利技术对待测镜片的厚度和尺寸无要求，能够对用于紫外脉冲激光器的任 何光学镜片透射率实现精确且方便的测量。【附图说明】 图1是现有技术的利用分光片测试光学镜片透过率装置的光路示意图； 图2是本专利技术提出的利用反射光栅测试光学镜片透过率的装置的光路示意图。【具体实施方式】 本专利技术为解决上述技术问题，提出一种用于精确测量大能量、高重频紫外激光系 统光学镜片透过率的装置方法。通过设计合适的光路并优化测量条件，可以在大能量、高重 频条件下实现光学镜片透过率的高精度测量。 本专利技术的方法采用双光路等光程测量，达到了实时在线测量的目的，其特点在于 其构成包括紫外光源、针对紫外光的反射光栅以及待测镜片。紫外光源发出的光以一定入 射角照射到反射光栅上，经光栅衍射后会产生多级衍射光，取其中两级作为测量光路和参 考光路，其测试原理如下： 设激光源在某一时刻的输出能量为^，光栅对第一衍射光的衍射率为Ri，对第二 衍射光的衍射率为R2 (Ri、R2为定值），设激光源到光栅的距离为1i，对应大气吸收系数为 a1;光栅至第一衍射光探测位置距离为1 2，对应大气吸收系数为a2;光栅至第二衍射光探 测位置距离为13，对应大气吸收系数为a3，则未加入待测镜片时，两路衍射光的能量EJP E2分别表示如下： 设两路能量比值为c，使13= 1 2，则在不同的测量时刻有：当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种测量高能紫外激光系统中待测镜片透过率的装置，包括激光光源(1)、反射光栅(6)、第一能量探测器(4)和第二能量探测器(5)，其中，所述激光光源(1)用于产生高能紫外脉冲激光；所述高能紫外脉冲激光不经过所述反射光栅(6)的衬底内部；所述反射光栅(6)用于接收所述激光光源(1)发射的高能紫外脉冲激光，并利用光栅表面的周期性金属刻槽将该高能紫外脉冲激光进行衍射分束，取其中能量最强的一级作为测量光，能量次强的一级作为参考光，所述待测镜片(3)放置于测量光的光路上；所述第一能量探测器(4)用于探测参考光的能量；所述第二能量探测器(5)用于探测测量光的能量。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：范元媛，周翊，宋兴亮，王倩，张立佳，单耀莹，蔡茜玮，彭卓君，王宇，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：发明
国别省市：北京;11
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