涂层装置制造方法及图纸

根据本发明专利技术的涂层装置包括：涂层机，具有喷射单元，上述喷射单元设有用于向基板喷射涂层剂的多个喷嘴；以及涂层输送机，使上述涂层机沿着X轴及Y轴方向进行水平移动,且多个喷嘴沿着X轴及Y轴方向排列，并相互分开配置，沿着上述X轴及Y轴中的一个轴方向排列的多个喷嘴在另一轴方向上的位置相互不同。因此，根据本发明专利技术的实施形态，在对构成喷射单元的多个喷嘴进行配置时，使得沿着X轴及Y轴中的一个轴方向排列的多个喷嘴在另一轴方向上的位置相互不同。由此，当从多个喷嘴分别排出涂层剂并滴涂到基板时，滴涂的多个滴点不会像以往一样重叠。

【技术实现步骤摘要】
涂层装置
本专利技术涉及涂层装置，更具体地涉及可提高涂层膜品质的涂层装置。
技术介绍
在手机、MP3、显示装置等电子产品的玻璃盖板(coverglass)或表面窗口(window)上涂层有防指纹贴膜等功能性涂层膜。其中，用于形成防指纹贴膜的涂层剂主要使用氟类物质。在上述的玻璃盖板(coverglass)或表面窗口(window)等的被处理物上，即，在基板上形成功能性涂层膜的涂层装置可以采用通过喷射固体氟涂层剂来进行涂层的干式涂层方法和喷射液状的氟涂层剂的湿式涂层方法。干式涂层装置是将固体的氟涂层剂以真空氛围的化学气相沉积(CVD：ChemicalVaporDeposition)方法来向基板表面进行沉积的方法。由于化学气相沉积方法在真空腔内实施，因此，存在工序不易实施的局限性，进而导致出现生产性低下的问题。相比于干式涂层方法，湿式涂层方法的工序成本低廉，容易实现针对大面积基板的批量涂层，相比于干式方法，具有价格竞争力强以及生产性好的优点。如同韩国公开专利2012-0120031中所公开，湿式涂层装置包括：输送机，用于使安置有基板的托盘向涂层工序进行方向输送；等离子处理机，设置于基板的输送进行路径上；涂层剂喷射部以及烤炉。其中，借助输送机来向基板工序进行方向输送基板，且该基板在通过等离子处理机下侧并实施等离子表面处理后，通过涂层剂喷射部下侧的同时，其表面被喷射涂层剂。之后，基板借助输送机被输送到烤炉，从而完成干燥过程。一方面，在湿式涂层方法中，如上所述，一边借助输送机输送基板，一边完成涂层。但由于输送机以恒定等速输送基板，会出现难以变更工序条件或难以按各工序区间分别控制速度的难题。并且，输送机因其驱动工作，会自主发生振动，而输送机的振动会向基板传递。这会成为涂层剂不均匀地涂层在基板上的因素，由此导致出现涂层膜的品质下降的问题。并且，涂层喷射部具有多个喷嘴，如图15所示，上述多个喷嘴512分开配置，且沿着一方向排列。更具体而言，多个喷嘴512沿着X轴方向排列配置，此时，多个喷嘴512在Y轴方向上的位置相同。并且，当从多个喷嘴512向基板滴涂(dotting)涂层剂时，滴涂在基板上的滴点D大致呈半球形状。此时，半球形状的滴点D以从中心部向外围边缘其高度逐渐变低的形状形成滴涂。当以这种状态向基板S涂层时，会导致形成具有不均匀的厚度的涂层膜。对此，以往为了在基板S上以均匀的厚度形成涂层膜，如图15所示，配置有多个喷嘴512，使得相邻的喷嘴512之间的滴涂范围重叠。更具体而言，对于分别从两个喷嘴512滴涂的滴点D，以滴点D的边缘可相互重叠的方式配置喷嘴512。但是，在这种情况下，各喷嘴512的喷射压力会对相邻的喷嘴512的滴涂造成影响，导致涂层膜的形成不均匀，由此成为涂层膜品质下降的另一因素。【现有技术文献】【专利文献】(专利文献1)韩国公开专利2012-0120031
技术实现思路
本专利技术提供可提高涂层膜品质并可缩短涂层时间的涂层装置。并且，本专利技术提供易于调节基板的输送速度并可均匀地控制涂层液涂布量的涂层装置。根据本专利技术的涂层装置包括：涂层机，具有喷射单元，上述喷射单元设有用于向基板喷射涂层剂的多个喷嘴；以及涂层输送机，使上述涂层机沿着X轴及Y轴方向进行水平移动，且上述多个喷嘴沿着X轴及Y轴方向排列，并相互分开配置，沿着上述X轴及Y轴中的一个轴方向排列的多个喷嘴在另一轴方向上的位置相互不同。根据本专利技术的涂层装置包括：基板输送机，具有导轨以及基板输送部，上述导轨沿着在基板上形成涂层膜的涂层工序进行方向延伸而成，上述基板输送部的上部安置有基板，并沿着上述导轨向涂层工序进行方向移动；等离子处理机，设置于上述涂层工序进行方向路径上，并向上述基板实施等离子表面处理；以及涂层机，在上述涂层工序进行路径上与上述等离子处理机分开设置，并具有喷射单元，上述喷射单元设有向基板喷射涂层剂的多个喷嘴。本专利技术的涂层装置包括：涂层机，具有喷射单元，上述喷射单元设有用于向基板喷射涂层剂的多个喷嘴，且多个喷嘴分别沿着X轴及Y轴方向排列并相互分开设置，多个喷嘴设置成，使得由沿着上述X轴及Y轴方向中的一轴方向排列的多个喷嘴分别形成的涂布线与由配置于上述X轴及Y轴方向中的另一轴方向上的至少一个喷嘴涂布的涂布线形成为，沿着上述X轴及Y轴方向中的一轴方向重叠，并使沿着上述X轴及Y轴方向中的另一方向排列的多个喷嘴沿着上述X轴及Y轴方向中的一轴方向的位置相互不同。本专利技术的涂层装置包括：基板输送机，具有导轨以及基板输送部，上述导轨沿着在基板上形成涂层膜的涂层工序进行方向延伸而成，上述基板输送部的上部安置有基板，并沿着上述导轨向涂层工序进行方向移动；以及等离子处理机，设置于上述涂层工序进行方向路径上，并向上述基板实施等离子表面处理，且上述喷射单元在上述涂层工序进行路径上与上述等离子处理机分开设置。由沿着上述X轴及Y轴方向中的一轴方向排列的多个喷嘴分别形成的涂布线与由配置于上述X轴及Y轴方向中的另一轴方向上的至少一个喷嘴涂布的涂布线形成为沿着上述X轴及Y轴方向中的一轴方向重叠，且沿着上述X轴及Y轴方向中的另一方向排列的多个喷嘴沿着上述X轴及Y轴方向中的一轴方向的位置相互不同。本专利技术的涂层装置包括：涂层输送机，使上述涂层机沿着X轴及Y轴方向进行水平移动，且上述多个喷嘴沿着X轴及Y轴方向排列，并相互分开配置，沿着上述X轴及Y轴中的一个轴方向排列的多个喷嘴在另一轴方向上的位置相互不同。由沿着上述X轴及Y轴方向中的一轴方向排列的多个喷嘴分别形成的涂布线与由配置于上述X轴及Y轴方向中的另一轴方向上的至少一个喷嘴涂布的涂布线形成为沿着上述X轴及Y轴方向中的一轴方向重叠，且沿着上述X轴及Y轴方向中的另一方向排列的多个喷嘴沿着上述X轴及Y轴方向中的一轴方向的位置相互不同。本专利技术的涂层装置包括涂层输送机，使上述涂层机沿着X轴及Y轴方向进行水平移动，所述涂层输送机包括：基板输送机，具有导轨以及基板输送部，上述导轨沿着在基板上形成涂层膜的涂层工序进行方向延伸而成，上述基板输送部的上部安置有基板，并沿着上述导轨向涂层工序进行方向移动；以及等离子处理机，设置于上述涂层工序进行方向路径上，并向上述基板实施等离子表面处理，且上述涂层机在上述涂层工序进行路径上与上述等离子处理机分开设置。在基板上滴涂从上述多个喷嘴排出的多个涂层剂时，所形成的多个滴点相互形成间隔，并且沿着X轴方向排列的上述多个喷嘴在Y轴方向上的位置相互不同。上述喷射单元一边沿着X轴方向进行水平移动，一边向基板喷射涂层剂，在上述基板上形成有涂布线，上述涂布线借助分别从上述多个喷嘴排出并连续被滴涂的滴点来形成，并且各自以沿着X轴方向延伸的方式而形成，从各个喷嘴涂布而成的涂布线的部分区域与从沿着X轴方向分开配置的其他喷嘴涂布而成的涂布线中的至少一个形成为沿着Y轴方向重叠，且沿着上述X轴方向排列的多个喷嘴在Y轴方向的位置相互不同。沿着上述X轴方向排列的多个喷嘴以在Y轴方向的位置相互不同的方式配置，使得上述涂布线的沿着Y轴方向的重叠区域为35％至45％。配置于X轴方向的相互不同的位置且沿着Y轴方向相邻地配置的一喷嘴的中心和另一喷嘴的中心之间的距离为上述重叠面积的1.3至1.7倍。本专利技术的涂层装置包括多个喷嘴组，分别具有沿着Y轴方向排列本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂层装置，其中，包括：涂层机，具有喷射单元，所述喷射单元设有用于向基板喷射涂层剂的多个喷嘴；以及涂层输送机，使所述涂层机沿着X轴及Y轴方向进行水平移动，所述多个喷嘴沿着X轴及Y轴方向排列，并相互分开配置，沿着所述X轴及Y轴中的一个轴方向排列的多个喷嘴在另一轴方向上的位置相互不同。

【技术特征摘要】
2014.03.03 KR 10-2014-0025145;2014.03.24 KR 10-2011.一种涂层装置，其中，包括：涂层机，具有喷射单元，所述喷射单元设有用于向基板喷射涂层剂的多个喷嘴；以及涂层输送机，使所述涂层机沿着X轴及Y轴方向进行水平移动，所述多个喷嘴沿着X轴及Y轴方向排列，并相互分开配置，沿着所述X轴及Y轴中的一个轴方向排列的多个喷嘴在另一轴方向上的位置相互不同，由沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向排列的多个喷嘴分别形成的涂布线与由配置于所述X轴及Y轴方向中的另一轴方向上的至少一个喷嘴涂布的涂布线形成为沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向重叠，且沿着所述X轴及Y轴方向中的另一方向排列的多个喷嘴沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向的位置相互不同。2.一种涂层装置，其中，包括：基板输送机，具有导轨以及基板输送部，所述导轨沿着在基板上形成涂层膜的涂层工序进行方向延伸而成，所述基板输送部的上部安置有基板，并沿着所述导轨向涂层工序进行方向移动；等离子处理机，设置于所述涂层工序进行方向路径上，并向所述基板实施等离子表面处理；以及涂层机，在所述涂层工序进行路径上与所述等离子处理机分开设置，并具有喷射单元，所述喷射单元设有向基板喷射涂层剂的多个喷嘴，所述基板输送机包括：第一基板输送机，具有第一导轨和第一基板输送部，所述第一导轨从拟形成涂层膜的基板被引入的区域向所述喷射单元所在位置的方向延伸而成，所述第一基板输送部的上部安置有基板，并能够沿着所述第一导轨进行水平移动；第二基板输送机，具有第二导轨和至少一个基板输送部，所述第二导轨从形成所述涂层膜的基板被引出的区域向所述等离子处理机所在位置的方向延伸而成，所述至少一个基板输送部的上部安置有基板，并能够沿着所述第二导轨进行水平移动。3.一种涂层装置，其中，包括：涂层机，具有喷射单元，所述喷射单元设有用于向基板喷射涂层剂的多个喷嘴，多个喷嘴分别沿着X轴及Y轴方向排列并相互分开设置，多个喷嘴设置成，使得由沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向排列的多个喷嘴分别形成的涂布线与由配置于所述X轴及Y轴方向中的另一轴方向上的至少一个喷嘴涂布的涂布线形成为沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向重叠，并使沿着所述X轴及Y轴方向中的另一方向排列的多个喷嘴沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向的位置相互不同。4.根据权利要求1所述的涂层装置，其中，包括：基板输送机，具有导轨以及基板输送部，所述导轨沿着在基板上形成涂层膜的涂层工序进行方向延伸而成，所述基板输送部的上部安置有基板，并沿着所述导轨向涂层工序进行方向移动；以及等离子处理机，设置于所述涂层工序进行方向路径上，并向所述基板实施等离子表面处理，所述喷射单元在所述涂层工序进行路径上与所述等离子处理机分开设置。5.根据权利要求2所述的涂层装置，其中，包括：涂层输送机，使所述涂层机沿着X轴及Y轴方向进行水平移动，所述多个喷嘴沿着X轴及Y轴方向排列，并相互分开配置，沿着所述X轴及Y轴中的一个轴方向排列的多个喷嘴在另一轴方向上的位置相互不同。6.根据权利要求5所述的涂层装置，其中，由沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向排列的多个喷嘴分别形成的涂布线与由配置于所述X轴及Y轴方向中的另一轴方向上的至少一个喷嘴涂布的涂布线形成为沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向重叠，且沿着所述X轴及Y轴方向中的另一方向排列的多个喷嘴沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向的位置相互不同。7.根据权利要求3所述的涂层装置，其中，包括：涂层输送机，使所述涂层机沿着X轴及Y轴方向进行水平移动，所述涂层输送机包括：基板输送机，具有导轨以及基板输送部，所述导轨沿着在基板上形成涂层膜的涂层工序进行方向延伸而成，所述基板输送部的上部安置有基板，并沿着所述导轨向涂层工序进行方向移动；以及等离子处理机，设置于所述涂层工序进行方向路径上，并向所述基板实施等离子表面处理，所述涂层机在所述涂层工序进行路径上与所述等离子处理机分开设置。8.根据权利要求1至7中的任一项所述的涂层装置，其中，在基板上滴涂从所述多个喷嘴排出的多个涂层剂时，所形成的多个滴点相互形成间隔，并且沿着X轴方向排列的所述多个喷嘴在Y轴方向上的位置相互不同。9.根据权利要求8所述的涂层装置，其中，所述喷射单元一边沿着X轴方向进行水平移动，一边向基板喷射涂层剂，在所述基板上形成有涂布线，所述涂布线借助分别从所述多个喷嘴排出并连续被滴涂的滴点来形成，并且各自以沿着X轴方向延伸的方式而形成，从各个喷嘴涂布而成的涂布线的部分区域与从沿着X轴方向分开配置的其他喷嘴涂布而成的涂布线中的至少一个形成为沿着Y轴方向重叠，且沿着所述X轴方向排列的多个喷嘴在Y轴方向的位置相互不同。10.根据权利要求9所述的涂层装置，其中，沿着所述X轴方向排列的多个喷嘴以在Y轴方向的位置相互不同的方式配置，使得所述涂布线的沿着Y轴方向的重叠区域为35％至45％。11...

【专利技术属性】
技术研发人员：李正植，李哲演，李南植，朴粲秀，丘璜燮，金铉济，郑熙锡，
申请(专利权)人：吉佳蓝科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR