【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于太阳能电池的管式扩散炉。
技术介绍
常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池,可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。传统的太阳能电池的制备方法如下:制绒、扩散制结、刻蚀、清洗、镀膜、印刷、烧结。其中,扩散制结是关键步骤,是在硅片上制备PN结;现有技术中一般采用管式扩散炉。现有的管式扩散炉主要包括炉管,炉管的尾部通常设有多个出口管,以便用来设置尾气管、热电偶套管等功能部件。其中,尾气管是用来排放尾气的,其尾端连接有废液瓶。然而,实际应用发现,由于尾气管是设于炉管的出口管之中,尾气管和出口管之间具有缝隙,这便导致了扩散工艺中的偏磷酸会在缝隙处发生堆积,导致尾气管和出口管的腐蚀和粘结。针对上述问题,现有方法是定期将尾气管取出进行清洗,防止因偏磷酸的堆积而导致出口管及尾气管破损或断裂。但是,这种定期维护方式需要花费大量的人工,维护成本较高;此外,一旦忘记维护时极易导致出口管及尾气管破损。此外,除了上述尾气管和出口管之间,热电偶套管和出口管之间也会存在上述问题。
技术实现思路
本技术的专利技术目的是提供一种用于太阳能电池的管式扩散炉。为达到上述专利技术目的,本技术采用的技术方案是:一种用于太阳能电池的管式扩散炉,包括炉管,炉管的尾部设有出口管,出口管内设有尾气管,所述出口管上设有进气孔,进气孔通过气管与气源连接。上文中,所 ...
【技术保护点】
一种用于太阳能电池的管式扩散炉,包括炉管(1),炉管的尾部设有出口管(2),出口管内设有尾气管(3),其特征在于:所述出口管上设有进气孔(4),进气孔通过气管(5)与气源连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能电池的管式扩散炉,包括炉管(1),炉管的尾部设有出口管(2),出口管内设有尾气管(3),其特征在于:所述出口管上设有进气孔(4),进气孔通过气管(5)与气源连接。
2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的管式扩散炉,其特征在于:所述气源为氮气气源。
3.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的管式扩散炉,其特征在于:所述气管上设有调节阀(6)。
4.根据权利要求1所述的用于太阳能...
【专利技术属性】
技术研发人员:王宏波,周华军,
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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