一种水冷真空翻板阀制造技术

本实用新型专利技术公开了一种水冷真空翻板阀，包括真空腔体、气缸、翻转轴、锁板，所述气缸固设在真空腔体上，气缸驱动连接有齿轮-齿条结构，所述齿轮固接在翻转轴上并带动翻转轴旋转，气缸的输出端固接有齿条，齿条与齿轮相啮合，所述翻转轴固接有压臂，压臂铰接于锁板，锁板上设有调节锁板与真空腔体贴合状态的调节机构，翻转轴通过压臂带动将真空腔体密封。本实用新型专利技术具有真空密封性好，重复密封可靠性高且结构简单的优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及阀门相关
，尤其涉及一种水冷真空翻板阀。
技术介绍
真空连续镀膜生产线一般由多个不同功能的模块构成，呈线例式拼装在一起，被镀基片从一端进入，经过整个镀膜生产线完成镀膜工艺，从另一端出片，满足真空镀膜正常运行需要首先在整个模块间形成一个非常洁净的环境，其次要满足不同模块间的不同真空度，形成从大气一镀膜工艺压力一大气的压力梯度，真空翻板阀是实现上述功能的核心部件，镀膜产品质量的优劣，镀膜连续线能否正常使用，翻板阀起到关键作用。目前，市场上的翻板阀主要有翻转轴、球头螺母、压紧板、锁板、密封圈、真空腔体等零部件组成，翻转轴固定于腔体外的摆动缸上，压紧板焊接到翻转轴上，通过球头螺母与螺柱将压紧板与锁板连接到一起；然而，此种翻板阀存在以下问题:1、真空密封不可靠，有窜气现象，靠翻板阀密封相邻模块压力变化时，此模块压力变化也很大。2、重复密封性不好，密封可靠性时好时坏。3、翻板阀密封板和腔体密封面之间，在接近贴合处，两个面不平行，造成搓胶圈，使密封性能下降，胶圈易损。4、密封锁板较厚，笨重，动作不够灵活。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种水冷真空翻板阀，具有真空密封性好，重复密封可靠性高且结构简单的优点。为达此目的，本技术采用以下技术方案:一种水冷真空翻板阀，包括真空腔体、气缸、翻转轴、锁板，所述气缸固设在真空腔体上，气缸驱动连接有齿轮-齿条结构，所述齿轮固接在翻转轴上并带动翻转轴旋转，气缸的输出端固接有齿条，齿条与齿轮相啮合，所述翻转轴固接有压臂，压臂铰接于锁板，锁板上设有调节锁板与真空腔体贴合状态的调节机构，翻转轴通过压臂带动锁板将真空腔体密封。优选的，所述锁板上固定有铰接座，所述压臂通过销轴连接于铰接座，锁板通过销轴相对于压臂旋转。优选的，所述调节机构包括连接板以及螺钉，连接板通过螺钉固定在锁板上，所述铰接座固定在连接板上，通过旋拧螺钉可对锁板进行角度的微调。优选的，所述齿轮为扇形齿轮。优选的，还包括限位机构，所述限位机构包括固设在真空腔体上的两个限位开关以及固接在齿条上的限位块，所述限位块随气缸的伸缩分别与两个限位开关接触，并控制气缸动作的停止。优选的，所述限位开关之间的距离与气缸的伸缩行程相同。优选的，还包括密封胶圈，设置在锁板与真空腔体的接触面上。优选的，所述锁板以及翻转轴上设置有冷却水管，锁板上固定连接有水冷接头，所述水冷接头与真空腔体相连。优选的，所述锁板和翻转轴由铝合金制成。本技术的有益效果:1、通过采用气缸带动齿轮-齿条结构，传动和控制更为精准，通过限位开关控制传动定位，使锁板的翻转、到位更为精准，密封效果更好。2、齿轮-齿条传动形式实现锁阀开闭的快速性，开闭时间< 3S，实用于高节拍连续生产线，齿轮-齿条传动形式定位准确可靠。3、锁板与压臂通过连接座铰接，有一定的回转角度，可通过调节机构进行调节，保证锁板与密封面贴合良好，从根本上解决了锁板和密封面间在宽度方向上的不平行而造成的泄漏，也同时解决了密封过程中的搓胶圈问题，延长了真空胶圈的使用寿命。4、锁板以及翻转轴上设置有冷却水管并通过水冷接头与真空腔体相连，使锁板密封面得到更好的冷却效果，更加适合在高温下工作。【附图说明】图1是本技术的整体结构示意图；图2是本技术气缸与翻转轴连接位置示意图；图3是本技术图1的A-A向剖视图；图4是本技术图1的B-B向剖视图。图中:1、真空腔体；2、气缸；3、翻转轴；4、锁板；5、齿轮；6、压臂；7、齿条；8、调节机构；9、限位开关；10、限位块；11、密封胶圈；12、铰接座；13、水冷却管；14、销轴；15、；连接板；16、螺钉。【具体实施方式】下面结合附图并通过具体实施例来进一步说明本技术的技术方案。如图1、2所示，本技术提供一种水冷真空翻板阀，包括真空腔体1、气缸2、翻转轴3、锁板4，其中气缸2固设在真空腔体I上，气缸2驱动连接有齿轮-齿条结构，齿轮5通过键固接在翻转轴3上并带动翻转轴3旋转，气缸2的输出端固接有齿条7，齿条7与齿轮5相啮合，通过气缸2驱动齿条7，与其啮合的齿轮5则被带动旋转，进而带动翻转轴3旋转；在翻转轴3上固接有压臂6，压臂6铰接于锁板4，起连接作用，压臂6可以是直接焊接在翻转轴3上也可以套装在翻转轴3上并通过键连接在一起，随翻转轴3 —起旋转，本实施例优选为套装在翻转轴3上并通过键连接，如图3所示；在锁板4上设有调节锁板4与真空腔体I贴合状态的调节机构8，锁板4通过密封胶圈11密封连接于真空腔体1，当需要翻转锁板4时，通过气缸2驱动动齿轮-齿条结构，进而带动翻转轴3旋转，之后由翻转轴3带动锁板4转动，由于翻转轴3和锁板4之间设有压臂6，因此锁板4可以有一定的回转角度，之后通过调节结构8对锁板4的位置进行调节，使锁板4平行的贴合于真空腔体I的密封面上。进一步的，锁板4上固定有铰接座12，所述压臂6通过销轴14连接于铰接座12，锁板4通过销轴14相对于压臂6旋转，如图3所示。本实施例中，如图4所示，调节机构8包括固定在锁板4上的连接板15以及4个螺钉16，铰接座12固定在连接板15上，当进行锁板4密封真空腔体I时，会出现锁板4密封不完全的情况，此时可以通过旋拧其中一个螺钉16对锁板4的角度进行微调，直至锁板4完全密封于真空腔体1，使其平行的贴合于真空腔体I的密封面上。齿轮5为扇形齿轮，由于主要用于带动翻转轴3翻转，因此无需使用完全的齿轮，而且由于受空间限制，只需齿轮5的齿数满足气缸2移动的行程即可。作为优选，本实施例还设置了限位机构，该限位机构包括固设在真空腔体I上的两个限位开关9以及固接在齿条7上的限位块10，其中限位块10随气缸2的伸缩分别与两个限位开关9接触，即当齿条7被气缸2带动向前走到一定位置后，限位块10与前端的限位开关9接触，进而通过控制系统将气缸2停止，防止过度推送；同样，当气缸2带着齿条7回缩一定距离的时候，限位块10与后端的限位开关9接触，此时控制系统将气缸2停止。本实施例中两个限位开关9之间的极限距离与气缸2的伸缩行程相同，当然也可以小于气缸2的行程，只要能够满足将锁板4翻转以及紧贴真空腔体I即可。为了提高锁板4与真空腔体I的密封效果，在锁板4与真空腔体I的接触面上设有一密封胶圈11，而通过调节机构8进行锁板4与真空腔体I接触面的调节，也能够防止密封过程中的搓胶圈问题。本实施例在锁板4以及翻转轴3上设置有冷却水管，锁板4上固定连接有水冷接头，该水冷接头与真空腔体I相连，使本技术的真空翻板阀的使用环境从室温增加至400摄氏度，满足了各种高温镀膜工艺的需求。为了更好的起到锁板4的回转效果，压臂6通过连接座12铰接于锁板4。本实施例中锁板4和翻转轴3由铝合金制成，在压臂6的作用下允许产生微量变形，即使存在加工、装配误差，也可以使锁板4的密封面紧密贴合。显然，本技术的上述实施例仅仅是为了清楚说明本技术所作的举例，而并非是对本技术的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术权利要求的保护本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水冷真空翻板阀，包括真空腔体(1)、气缸(2)、翻转轴(3)、锁板(4)，其特征在于，所述气缸(2)固设在真空腔体(1)上，气缸(2)驱动连接有齿轮‑齿条结构，所述齿轮(5)固接在翻转轴(3)上并带动翻转轴(3)旋转，气缸(2)的输出端固接有齿条(7)，齿条(7)与齿轮(5)相啮合，所述翻转轴(3)固接有压臂(6)，压臂(6)铰接于锁板(4)，锁板(4)上设有调节锁板(4)与真空腔体(1)贴合状态的调节机构(8)，翻转轴(3)通过压臂(6)带动锁板(4)将真空腔体(1)密封。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：任艳斌，张学星，王兴立，王建军，张彦清，袁志尧，
申请(专利权)人：承德新新机电设备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13